నేటి సెమీకండక్టర్ తయారీ పరిశ్రమలో, ప్లాస్మా ఎచర్ మరియు టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ రెండు ముఖ్యమైన సాంకేతికతలు.మైక్రోఎలక్ట్రానిక్ భాగాల తయారీలో ప్లాస్మా ఎచర్ అనేది ఒక ముఖ్యమైన సాధనం, అయితే టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ అధిక వాక్యూమ్ మరియు అధిక పంపింగ్ వేగం కోసం రూపొందించబడింది.ఈ వ్యాసంలో, ప్లాస్మా ఎచర్లలో టర్బోమోలిక్యులర్ పంపుల పాత్ర మరియు ప్రాముఖ్యతను మేము చర్చిస్తాము.
విషయము
1. ప్లాస్మా ఎచింగ్ మెషిన్ యొక్క పని సూత్రం
2. టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ యొక్క పని సూత్రం
3. ప్లాస్మా ఎచింగ్ మెషిన్‌లో టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ అప్లికేషన్
4. టర్బోమోలిక్యులర్ పంపుల ప్రయోజనాలు మరియు పరిమితులు
5. ముగింపు
1. ప్లాస్మా ఎచింగ్ మెషిన్ యొక్క పని సూత్రం:
ప్లాస్మా ఎచర్ అనేది వాక్యూమ్ చాంబర్‌లో ప్లాస్మాను ఉపయోగించడం ద్వారా పదార్థాలను ప్రాసెస్ చేయడానికి ఒక సాధనం.ప్లాస్మా అనేది గ్యాస్ అయనీకరణం ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడిన చార్జ్డ్ కణాల సమాహారం.ప్లాస్మా యొక్క సాంద్రత మరియు కదలిక దిశను అధిక-పౌనఃపున్య విద్యుత్ లేదా అయస్కాంత క్షేత్రాల ద్వారా నియంత్రించవచ్చు.ప్లాస్మా ఎచింగ్ సమయంలో, ప్లాస్మా పని చేసే పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై తాకుతుంది మరియు దానిని ఎత్తివేస్తుంది లేదా క్షీణిస్తుంది, కావలసిన నిర్మాణాన్ని సృష్టిస్తుంది.
అయినప్పటికీ, ప్లాస్మా ఎచింగ్ సమయంలో పెద్ద మొత్తంలో ఎగ్జాస్ట్ గ్యాస్ ఉత్పత్తి అవుతుంది.ఈ ఎగ్జాస్ట్ వాయువులు వాక్యూమ్ సిస్టమ్ ద్వారా విడుదల చేయవలసిన పని పదార్థాలు మరియు వాయువులోని మలినాలను మొదలైనవి కలిగి ఉంటాయి.అందువల్ల, ప్లాస్మా ఎచింగ్ మెషీన్‌కు ఎచింగ్ ప్రక్రియ యొక్క స్థిరత్వం మరియు ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి సమర్థవంతమైన వాక్యూమ్ సిస్టమ్ అవసరం.
2. టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ యొక్క పని సూత్రం:
వాక్యూమ్ సిస్టమ్‌లలో సాధారణంగా ఉపయోగించే అధిక పంపింగ్ స్పీడ్ పంపులలో టర్బోమోలిక్యులర్ పంపులు ఒకటి.ఇది వాక్యూమ్ చాంబర్ నుండి వాయువును పంప్ చేయడానికి మరియు వాతావరణంలోకి వాయువును బహిష్కరించడానికి హై-స్పీడ్ రొటేటింగ్ ఇంపెల్లర్ల సమితిని తిప్పడం ద్వారా పనిచేస్తుంది.టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్‌లో, గ్యాస్ మొదట బ్యాకింగ్ పంప్‌లోకి ప్రవేశిస్తుంది, అక్కడ అది టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్‌కు పంపబడే ముందు అధిక పీడన ప్రాంతంలోకి కుదించబడుతుంది.
టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్‌లో, వాయువు తిరిగే ఇంపెల్లర్ ద్వారా పంప్ చేయబడుతుంది, అయితే పరమాణు పంపులో వాయువు చిన్న అణువులుగా విభజించబడుతుంది.టర్బోమోలిక్యులర్ పంపులు అధిక వాక్యూమ్‌ను అందించగలవు మరియు వాటి పంపింగ్ వేగం 500~6000 L/sకి చేరుకుంటుంది.అధిక వాక్యూమ్ అవసరమయ్యే ప్లాస్మా ఎచింగ్ మెషీన్లకు, టర్బోమోలిక్యులర్ పంపులు అనివార్యమైన భాగం.
3. ప్లాస్మా ఎచింగ్ మెషిన్‌లో టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ అప్లికేషన్:
ప్లాస్మా ఎచింగ్ మెషీన్లలో టర్బోమోలిక్యులర్ పంపులు విస్తృతంగా ఉపయోగించబడతాయి.ప్లాస్మా ఎచింగ్ మెషిన్ యొక్క వాక్యూమ్ సిస్టమ్‌లో, అధిక శూన్యతను సాధించడంలో సహాయపడటానికి టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ సాధారణంగా ప్రధాన పంపుగా ఉపయోగించబడుతుంది.ప్లాస్మా ఉపరితలాన్ని తాకినప్పుడు, అది అవశేష ముడి పదార్థాలు మరియు రసాయన ప్రతిచర్య ఉత్పత్తులతో సహా పెద్ద మొత్తంలో ఎగ్జాస్ట్ వాయువును ఉత్పత్తి చేస్తుంది.ప్లాస్మా ఎచింగ్ ప్రక్రియ యొక్క స్థిరత్వం మరియు విశ్వసనీయతను నిర్ధారించడానికి ఈ ఎగ్జాస్ట్ వాయువులను వాక్యూమ్ చాంబర్ నుండి త్వరగా మరియు సమర్ధవంతంగా పంప్ చేయాలి.
టర్బోమోలిక్యులర్ పంపుల యొక్క అధిక పంపింగ్ వేగం మరియు అధిక వాక్యూమ్ వాటిని ఆదర్శ పంపులుగా చేస్తాయి.ప్లాస్మా ఎచర్‌లో, వాక్యూమ్ మరియు పీడనాన్ని సులభంగా నియంత్రించడానికి టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ సాధారణంగా ప్రత్యేక పంపు యూనిట్‌లో ఉంచబడుతుంది.అదే సమయంలో, టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్‌ను రక్షించడానికి, టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్‌కు అధిక పీడనం మరియు నష్టాన్ని నివారించడానికి టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ ముందు మెకానికల్ పంప్ యొక్క పొరను మరియు ఒత్తిడిని తగ్గించే వాల్వ్‌ను వ్యవస్థాపించడం అవసరం.
4. టర్బోమోలిక్యులర్ పంపుల ప్రయోజనాలు మరియు పరిమితులు:
టర్బోమోలిక్యులర్ పంపులు అధిక పంపింగ్ వేగం, అధిక వాక్యూమ్, తక్కువ శబ్దం మరియు అధిక విశ్వసనీయత వంటి అనేక ప్రయోజనాలను కలిగి ఉన్నాయి.టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ యొక్క అధిక పంపింగ్ వేగం వాక్యూమ్ డిగ్రీని పెంచుతుంది మరియు అదే సమయంలో పంపింగ్ సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది, తద్వారా ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని పెంచుతుంది.టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ యొక్క తక్కువ శబ్దం మరియు అధిక విశ్వసనీయత కూడా దాని ప్రయోజనాల్లో ఒకటి, అంటే టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ ఎక్కువ కాలం పాటు సమర్థవంతమైన ఆపరేషన్ను నిర్వహించగలదు, నిర్వహణ మరియు భర్తీ సంఖ్యను తగ్గిస్తుంది.
అయినప్పటికీ, టర్బోమోలిక్యులర్ పంపులు కూడా కొన్ని పరిమితులను కలిగి ఉంటాయి, కొన్ని వాయువులకు తక్కువ పంపింగ్ సామర్థ్యం వంటివి.ఉదాహరణకు, టర్బోమోలిక్యులర్ పంపులు హైడ్రోజన్ కోసం తక్కువ వెలికితీత సామర్థ్యాన్ని కలిగి ఉంటాయి మరియు టర్బోమోలిక్యులర్ పంపులు కూడా గ్యాస్ పీడనం మరియు ఉష్ణోగ్రత కోసం కొన్ని అవసరాలను కలిగి ఉంటాయి.అందువల్ల, ఆచరణాత్మక అనువర్తనాల్లో, దాని సాధారణ మరియు సమర్థవంతమైన ఆపరేషన్ను నిర్ధారించడానికి నిర్దిష్ట పరిస్థితికి అనుగుణంగా టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ యొక్క రకాన్ని మరియు పని పారామితులను ఎంచుకోవడం అవసరం.
5. ముగింపు:
సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో, ప్లాస్మా ఎచింగ్ మెషిన్ చాలా ముఖ్యమైన పరికరాలలో ఒకటి.ప్లాస్మా ఎచింగ్ మెషిన్ యొక్క వాక్యూమ్ సిస్టమ్‌లో, టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్, ప్రధాన పంపుగా, అధిక వాక్యూమ్ మరియు స్థిరమైన ప్లాస్మా ఎచింగ్ ప్రక్రియను సాధించడంలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది.టర్బోమోలిక్యులర్ పంపులు అధిక పంపింగ్ వేగం, అధిక వాక్యూమ్, తక్కువ శబ్దం మరియు అధిక సాంకేతిక అవసరాలను తీర్చడానికి ఆప్టిమైజేషన్ కలిగి ఉంటాయి.
సాధారణంగా చెప్పాలంటే, ప్లాస్మా ఎచింగ్ మెషిన్‌లో టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ పాత్ర భర్తీ చేయలేనిది.సెమీకండక్టర్ తయారీ పరిశ్రమలో, టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ అవసరమైన పరికరాలలో ఒకటిగా మారింది, ఇది ప్లాస్మా ఎచింగ్ మెషిన్ యొక్క పనితీరు మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడంలో ముఖ్యమైన పాత్ర పోషిస్తుంది.సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీ యొక్క నిరంతర అభివృద్ధి మరియు పురోగతితో, టర్బోమోలిక్యులర్ పంపుల వినియోగం యొక్క డిమాండ్ మరియు పరిధి విస్తరించడం కొనసాగుతుంది.అందువల్ల, అధిక పనితీరు మరియు మరింత స్థిరమైన పరికరాల కోసం సెమీకండక్టర్ తయారీ పరిశ్రమ యొక్క డిమాండ్‌ను తీర్చడానికి టర్బోమోలిక్యులర్ పంప్ తయారీదారులు ఉత్పత్తి పనితీరు మరియు నాణ్యతను నిరంతరం మెరుగుపరచాలి.
కాపీరైట్ నోటీసు:
GPM ఇంటెలిజెంట్ టెక్నాలజీ(Guangdong) Co., Ltd. మేధో సంపత్తి హక్కులను గౌరవించడం మరియు పరిరక్షించడం కోసం వాదిస్తుంది మరియు స్పష్టమైన మూలాధారాలతో కథనాల మూలాన్ని సూచిస్తుంది.ఈ వెబ్‌సైట్ కంటెంట్‌లో కాపీరైట్ లేదా ఇతర సమస్యలు ఉన్నాయని మీరు కనుగొంటే, దయచేసి దాన్ని పరిష్కరించేందుకు మమ్మల్ని సంప్రదించండి.సంప్రదింపు సమాచారం:marketing01@gpmcn.com
పోస్ట్ సమయం: అక్టోబర్-20-2023