Ing industri manufaktur semikonduktor saiki, echer plasma lan pompa turbomolekul minangka rong teknologi penting.Plasma etcher minangka alat sing penting kanggo nggawe komponen mikroelektronik, dene pompa turbomolekul dirancang kanggo vakum dhuwur lan kecepatan pompa sing dhuwur.Ing artikel iki, kita ngrembug peran lan pentinge pompa turbomolekul ing etchers plasma.
Isi
1. Prinsip kerja mesin etsa plasma
2. Prinsip kerja pompa turbomolekul
3. Aplikasi pompa turbomolekul ing mesin etsa plasma
4. Kaluwihan lan watesan saka pumps turbomolecular
5. Kesimpulan
1. Prinsip kerja mesin etsa plasma:
Plasma etcher minangka piranti kanggo ngolah bahan kanthi nggunakake plasma ing ruang vakum.Plasma minangka kumpulan partikel bermuatan sing diprodhuksi dening ionisasi gas.Kapadhetan lan arah gerakan plasma bisa dikontrol dening medan listrik utawa magnet frekuensi dhuwur.Sajrone etsa plasma, plasma nyerang permukaan materi sing digunakake lan ngangkat utawa ngrusak, nggawe struktur sing dikarepake.
Nanging, akeh gas buang sing diasilake sajrone etsa plasma.Gas exhaust iki kalebu bahan kerja lan impurities ing gas, lan sapiturute, sing kudu dibuwang liwat sistem vakum.Mulane, mesin etsa plasma mbutuhake sistem vakum sing efisien kanggo njamin stabilitas lan akurasi proses etsa.
2. Prinsip kerja pompa turbomolekul:
Pumps turbomolecular minangka salah sawijining pompa kecepatan pompa sing paling umum digunakake ing sistem vakum.Kerjane kanthi muter sakumpulan impeller puteran kanthi kacepetan dhuwur kanggo ngompa gas metu saka kamar vakum lan ngusir gas menyang atmosfer.Ing pompa turbomolekul, gas pisanan mlebu menyang pompa backing sing dikompres menyang wilayah tekanan dhuwur sadurunge dikirim menyang pompa turbomolekul.
Ing pump turbomolecular, gas dipompa liwat impeller puteran, nalika ing pump molekul gas dipérang dadi molekul cilik.Pumps Turbomolecular bisa nyedhiyakake vakum sing dhuwur, lan kecepatan pompa bisa tekan 500 ~ 6000 L / s.Kanggo mesin etsa plasma sing mbutuhake vakum dhuwur, pompa turbomolekul minangka bagean sing ora bisa dipisahake.
3. Aplikasi pompa turbomolekul ing mesin etsa plasma:
Pumps Turbomolecular digunakake ing mesin etsa plasma.Ing sistem vakum mesin etsa plasma, pompa turbomolekul biasane digunakake minangka pompa utama kanggo mbantu entuk vakum sing dhuwur.Nalika plasma tekan lumahing, mrodhuksi akeh gas exhaust, kalebu bahan mentahan ampas lan produk reaksi kimia.Gas exhaust iki kudu dipompa metu saka kamar vakum kanthi cepet lan efisien kanggo njamin stabilitas lan linuwih proses etsa plasma.
Kacepetan pumping dhuwur lan vakum dhuwur saka pumps turbomolecular nggawe pumps becik.Ing echer plasma, pompa turbomolekul biasane diselehake ing unit pompa sing kapisah kanggo ngontrol vakum lan tekanan sing gampang.Ing wektu sing padha, kanggo nglindhungi pompa turbomolekul, perlu nginstal lapisan pompa mekanik lan katup pengurangan tekanan ing ngarep pompa turbomolekul kanggo nyegah tekanan gedhe lan karusakan ing pompa turbomolekul.
4. Kaluwihan lan watesan saka pump turbomolecular:
Pumps Turbomolecular duwe akeh kaluwihan, kayata kacepetan pumping dhuwur, vakum dhuwur, gangguan kurang, lan linuwih dhuwur.Kacepetan pumping dhuwur saka pump turbomolecular bisa nambah jurusan vakum, lan ing wektu sing padha bisa ngurangi wektu pumping, mangkono nambah efficiency produksi.Kebisingan sing kurang lan linuwih saka pompa turbomolekul uga minangka salah sawijining kaluwihan, sing tegese pompa turbomolekul bisa njaga operasi sing efisien kanggo wektu sing luwih suwe, nyuda jumlah pangopènan lan panggantos.
Nanging, pompa turbomolekul uga duwe sawetara watesan, kayata efisiensi pompa sing kurang kanggo gas tartamtu.Contone, pompa turbomolekul duwe efisiensi ekstraksi sing kurang kanggo hidrogen, lan pompa turbomolekul uga duwe syarat tartamtu kanggo tekanan lan suhu gas.Mulane, ing aplikasi praktis, perlu milih jinis lan parameter kerja pompa turbomolekul miturut kahanan tartamtu kanggo njamin operasi normal lan efisien.
5. Kesimpulan:
Ing proses manufaktur semikonduktor, mesin etsa plasma minangka salah sawijining peralatan sing penting banget.Ing sistem vakum mesin etsa plasma, pompa turbomolekul, minangka pompa utama, nduweni peran penting kanggo nggayuh vakum dhuwur lan proses etsa plasma sing stabil.Pumps Turbomolecular duwe kacepetan pumping dhuwur, vakum dhuwur, gangguan kurang lan Optimization kanggo nyukupi syarat technical luwih.
Umumé, peran pompa turbomolekul ing mesin etsa plasma ora bisa diganti.Ing industri manufaktur semikonduktor, pompa turbomolekul wis dadi salah sawijining peralatan sing dibutuhake, sing nduwe peran penting kanggo njamin kinerja lan stabilitas mesin etsa plasma.Kanthi pangembangan lan kemajuan teknologi semikonduktor sing terus-terusan, panjaluk lan ruang lingkup panggunaan pompa turbomolekul bakal terus berkembang.Mula, produsen pompa turbomolekul kudu terus ningkatake kinerja lan kualitas produk kanggo nyukupi panjaluk industri manufaktur semikonduktor kanggo kinerja sing luwih dhuwur lan peralatan sing luwih stabil.
Kabar hak cipta:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. nganjurake ngurmati lan nglindhungi hak properti intelektual lan nuduhake sumber artikel kanthi sumber sing jelas.Yen sampeyan nemokake manawa ana hak cipta utawa masalah liyane ing isi situs web iki, hubungi kita kanggo ngatasi.Informasi kontak:marketing01@gpmcn.com
Wektu kirim: Oct-20-2023