பிளாஸ்மா பொறித்தல் இயந்திரங்களில் டர்போமாலிகுலர் பம்புகளின் பங்கு மற்றும் முக்கியத்துவம்

இன்றைய குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில், பிளாஸ்மா எச்சர் மற்றும் டர்போமோலிகுலர் பம்ப் இரண்டு முக்கிய தொழில்நுட்பங்கள்.பிளாஸ்மா எட்சர் என்பது மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக் கூறுகளை தயாரிப்பதில் ஒரு இன்றியமையாத கருவியாகும், அதே சமயம் டர்போமாலிகுலர் பம்ப் அதிக வெற்றிடத்திற்கும் அதிக உந்தி வேகத்திற்கும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.இந்த கட்டுரையில், பிளாஸ்மா எட்சர்களில் டர்போமாலிகுலர் பம்புகளின் பங்கு மற்றும் முக்கியத்துவத்தைப் பற்றி விவாதிக்கிறோம்.

உள்ளடக்கம்
1. பிளாஸ்மா எச்சிங் இயந்திரத்தின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை
2. டர்போமாலிகுலர் பம்பின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை
3. பிளாஸ்மா எச்சிங் இயந்திரத்தில் டர்போமாலிகுலர் பம்ப் பயன்பாடு
4. டர்போமாலிகுலர் பம்புகளின் நன்மைகள் மற்றும் வரம்புகள்
5. முடிவுரை

1. பிளாஸ்மா எச்சிங் இயந்திரத்தின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை:
பிளாஸ்மா எட்சர் என்பது வெற்றிட அறையில் பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தி பொருட்களை செயலாக்குவதற்கான ஒரு கருவியாகும்.பிளாஸ்மா என்பது வாயு அயனியாக்கம் மூலம் உற்பத்தி செய்யப்படும் சார்ஜ் செய்யப்பட்ட துகள்களின் தொகுப்பாகும்.பிளாஸ்மாவின் அடர்த்தி மற்றும் இயக்கத்தின் திசையை உயர் அதிர்வெண் மின்சாரம் அல்லது காந்தப்புலங்கள் மூலம் கட்டுப்படுத்தலாம்.பிளாஸ்மா பொறிப்பின் போது, ​​ஒரு பிளாஸ்மா வேலை செய்யும் பொருளின் மேற்பரப்பைத் தாக்கி, அதை தூக்கி அல்லது அரித்து, விரும்பிய கட்டமைப்பை உருவாக்குகிறது.

இருப்பினும், பிளாஸ்மா பொறிக்கும் போது அதிக அளவு வெளியேற்ற வாயு உருவாகிறது.இந்த வெளியேற்ற வாயுக்களில் வேலை செய்யும் பொருட்கள் மற்றும் வாயுவில் உள்ள அசுத்தங்கள் போன்றவை அடங்கும், அவை வெற்றிட அமைப்பின் மூலம் வெளியேற்றப்பட வேண்டும்.எனவே, பிளாஸ்மா பொறித்தல் இயந்திரத்திற்கு பொறித்தல் செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியத்தை உறுதி செய்ய திறமையான வெற்றிட அமைப்பு தேவை.

பிளாஸ்மா பொறித்தல் இயந்திரங்கள்

2. டர்போமாலிகுலர் பம்பின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை:
டர்போமோலிகுலர் பம்புகள் வெற்றிட அமைப்புகளில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் உயர் உந்தி வேக விசையியக்கக் குழாய்களில் ஒன்றாகும்.வெற்றிட அறையிலிருந்து வாயுவை வெளியேற்றுவதற்கும் வாயுவை வளிமண்டலத்தில் வெளியேற்றுவதற்கும் அதிவேக சுழலும் தூண்டுதல்களின் தொகுப்பை சுழற்றுவதன் மூலம் இது செயல்படுகிறது.ஒரு டர்போமாலிகுலர் பம்பில், வாயு முதலில் ஒரு பேக்கிங் பம்பிற்குள் நுழைகிறது, அங்கு அது டர்போமாலிகுலர் பம்பிற்கு அனுப்பப்படுவதற்கு முன்பு உயர் அழுத்த பகுதிக்குள் சுருக்கப்படுகிறது.

ஒரு டர்போமாலிகுலர் பம்பில், வாயு சுழலும் தூண்டுதலின் மூலம் செலுத்தப்படுகிறது, அதே நேரத்தில் ஒரு மூலக்கூறு பம்பில் வாயு சிறிய மூலக்கூறுகளாக உடைக்கப்படுகிறது.Turbomolecular குழாய்கள் அதிக வெற்றிடத்தை வழங்க முடியும், மேலும் அவற்றின் உந்தி வேகம் 500~6000 L/s ஐ எட்டும்.அதிக வெற்றிடம் தேவைப்படும் பிளாஸ்மா எச்சிங் இயந்திரங்களுக்கு, டர்போமாலிகுலர் பம்புகள் ஒரு தவிர்க்க முடியாத பகுதியாகும்.

குறைக்கடத்தி பாகங்கள்

3. பிளாஸ்மா எச்சிங் இயந்திரத்தில் டர்போமாலிகுலர் பம்ப் பயன்பாடு:
பிளாஸ்மா பொறித்தல் இயந்திரங்களில் டர்போமாலிகுலர் பம்புகள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.பிளாஸ்மா பொறித்தல் இயந்திரத்தின் வெற்றிட அமைப்பில், அதிக வெற்றிடத்தை அடைய உதவும் முக்கிய பம்பாக டர்போமாலிகுலர் பம்ப் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.பிளாஸ்மா மேற்பரப்பைத் தாக்கும் போது, ​​அது எஞ்சிய மூலப்பொருட்கள் மற்றும் இரசாயன எதிர்வினை பொருட்கள் உட்பட அதிக அளவு வெளியேற்ற வாயுவை உருவாக்குகிறது.பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த, இந்த வெளியேற்ற வாயுக்கள் வெற்றிட அறையிலிருந்து விரைவாகவும் திறமையாகவும் வெளியேற்றப்பட வேண்டும்.

டர்போமாலிகுலர் பம்புகளின் அதிக உந்தி வேகமும் அதிக வெற்றிடமும் அவற்றை சிறந்த பம்புகளாக ஆக்குகின்றன.பிளாஸ்மா எட்சரில், டர்போமாலிகுலர் பம்ப் பொதுவாக வெற்றிடத்தையும் அழுத்தத்தையும் எளிதாகக் கட்டுப்படுத்த தனி பம்ப் யூனிட்டில் வைக்கப்படுகிறது.அதே நேரத்தில், டர்போமாலிகுலர் பம்பைப் பாதுகாக்க, டர்போமாலிகுலர் பம்பிற்கு அதிக அழுத்தம் மற்றும் சேதத்தைத் தவிர்க்க, டர்போமாலிகுலர் பம்பின் முன் ஒரு மெக்கானிக்கல் பம்ப் மற்றும் அழுத்தத்தைக் குறைக்கும் வால்வை நிறுவ வேண்டியது அவசியம்.

4. டர்போமாலிகுலர் பம்புகளின் நன்மைகள் மற்றும் வரம்புகள்:
டர்போமாலிகுலர் பம்புகள் அதிக உந்தி வேகம், அதிக வெற்றிடம், குறைந்த சத்தம் மற்றும் அதிக நம்பகத்தன்மை போன்ற பல நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன.டர்போமாலிகுலர் பம்பின் அதிக உந்தி வேகம் வெற்றிட அளவை அதிகரிக்கலாம், அதே நேரத்தில் உந்தி நேரத்தை குறைக்கலாம், இதனால் உற்பத்தி திறன் அதிகரிக்கும்.டர்போமாலிகுலர் பம்பின் குறைந்த இரைச்சல் மற்றும் அதிக நம்பகத்தன்மையும் அதன் நன்மைகளில் ஒன்றாகும், அதாவது டர்போமாலிகுலர் பம்ப் நீண்ட காலத்திற்கு திறமையான செயல்பாட்டை பராமரிக்க முடியும், இது பராமரிப்பு மற்றும் மாற்றீட்டின் எண்ணிக்கையை குறைக்கிறது.

இருப்பினும், டர்போமாலிகுலர் பம்புகள் சில வாயுக்களுக்கான குறைந்த உந்தித் திறன் போன்ற சில வரம்புகளைக் கொண்டுள்ளன.எடுத்துக்காட்டாக, டர்போமாலிகுலர் பம்புகள் ஹைட்ரஜனுக்கான குறைந்த பிரித்தெடுத்தல் திறனைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் டர்போமாலிகுலர் பம்புகள் வாயு அழுத்தம் மற்றும் வெப்பநிலைக்கு சில தேவைகளைக் கொண்டுள்ளன.எனவே, நடைமுறை பயன்பாடுகளில், அதன் இயல்பான மற்றும் திறமையான செயல்பாட்டை உறுதிப்படுத்த குறிப்பிட்ட சூழ்நிலைக்கு ஏற்ப டர்போமாலிகுலர் பம்பின் வகை மற்றும் வேலை அளவுருக்களைத் தேர்ந்தெடுப்பது அவசியம்.

5. முடிவுரை:

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில், பிளாஸ்மா பொறித்தல் இயந்திரம் மிக முக்கியமான உபகரணங்களில் ஒன்றாகும்.பிளாஸ்மா பொறித்தல் இயந்திரத்தின் வெற்றிட அமைப்பில், டர்போமாலிகுலர் பம்ப், முக்கிய பம்பாக, அதிக வெற்றிடத்தையும் நிலையான பிளாஸ்மா பொறிப்பு செயல்முறையையும் அடைவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.டர்போமாலிகுலர் பம்புகள் அதிக உந்தி வேகம், அதிக வெற்றிடம், குறைந்த சத்தம் மற்றும் அதிக தொழில்நுட்ப தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய மேம்படுத்துதல் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளன.

பொதுவாக, பிளாஸ்மா பொறிக்கும் இயந்திரத்தில் டர்போமாலிகுலர் பம்பின் பங்கு ஈடுசெய்ய முடியாதது.குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில், டர்போமாலிகுலர் பம்ப் தேவையான உபகரணங்களில் ஒன்றாக மாறியுள்ளது, இது பிளாஸ்மா பொறித்தல் இயந்திரத்தின் செயல்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சி மற்றும் முன்னேற்றத்துடன், டர்போமாலிகுலர் பம்புகளின் தேவை மற்றும் பயன்பாட்டின் நோக்கம் தொடர்ந்து விரிவடையும்.எனவே, டர்போமாலிகுலர் பம்ப் உற்பத்தியாளர்கள் அதிக செயல்திறன் மற்றும் அதிக நிலையான உபகரணங்களுக்கான குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையின் தேவையை பூர்த்தி செய்ய தயாரிப்பு செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை தொடர்ந்து மேம்படுத்த வேண்டும்.

பதிப்புரிமை அறிவிப்பு:

GPM இன்டலிஜென்ட் டெக்னாலஜி(குவாங்டாங்) கோ., லிமிடெட் அறிவுசார் சொத்துரிமைகளுக்கு மரியாதை மற்றும் பாதுகாப்பை பரிந்துரைக்கிறது மற்றும் தெளிவான ஆதாரங்களுடன் கட்டுரைகளின் மூலத்தைக் குறிக்கிறது.இந்த வலைத்தளத்தின் உள்ளடக்கத்தில் பதிப்புரிமை அல்லது பிற சிக்கல்கள் இருப்பதை நீங்கள் கண்டால், அதைச் சமாளிக்க எங்களைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.தொடர்பு தகவல்:marketing01@gpmcn.com


இடுகை நேரம்: அக்டோபர்-20-2023