בתעשיית ייצור המוליכים למחצה של ימינו, חרט פלזמה ומשאבה טורבומולקולרית הן שתי טכנולוגיות מפתח חשובות.תחריט פלזמה הוא כלי חיוני בייצור רכיבים מיקרואלקטרוניים, בעוד משאבה טורבומולקולרית מיועדת לוואקום גבוה ולמהירות שאיבה גבוהה.במאמר זה, אנו דנים בתפקיד ובחשיבות של משאבות טורבומולקולריות בצריפי פלזמה.
תוֹכֶן
1. עקרון עבודה של מכונת תחריט פלזמה
2. עקרון עבודה של משאבה טורבומולקולרית
3. יישום משאבה טורבומולקולרית במכונת תחריט פלזמה
4. יתרונות ומגבלות של משאבות טורבומולקולריות
5. מסקנה
1. עקרון עבודה של מכונת תחריט פלזמה:
תחריט פלזמה הוא כלי לעיבוד חומרים באמצעות פלזמה בתא ואקום.פלזמה היא אוסף של חלקיקים טעונים המיוצרים על ידי יינון גז.ניתן לשלוט בצפיפות וכיוון התנועה של הפלזמה על ידי שדות חשמליים או מגנטיים בתדר גבוה.במהלך תחריט פלזמה, פלזמה פוגעת במשטח חומר העבודה ומרימה אותו או שוחקת אותו, ויוצרת את המבנה הרצוי.
עם זאת, כמות גדולה של גז פליטה נוצרת במהלך תחריט פלזמה.גזי פליטה אלו כוללים חומרי עבודה וזיהומים בגז וכו', אשר יש צורך לפרוק דרך מערכת הוואקום.לכן, מכונת תחריט הפלזמה זקוקה למערכת ואקום יעילה כדי להבטיח את היציבות והדיוק של תהליך התחריט.
2. עקרון עבודה של משאבה טורבומולקולרית:
משאבות טורבומולקולריות הן אחת המשאבות הנפוצות ביותר בשימוש במהירות שאיבה גבוהה במערכות ואקום.זה עובד על ידי סיבוב של קבוצה של אימפלרים מסתובבים במהירות גבוהה כדי לשאוב את הגז מתוך תא הוואקום ולשחרר את הגז לאטמוספירה.במשאבה טורבומולקולרית, גז נכנס תחילה למשאבת גיבוי שם הוא נדחס לאזור בלחץ גבוה לפני שהוא נשלח למשאבה הטורבומולקולרית.
במשאבה טורבומולקולרית הגז נשאב דרך אימפלר מסתובב ואילו במשאבה מולקולרית הגז מתפרק למולקולות קטנות יותר.משאבות טורבומולקולריות יכולות לספק ואקום גבוה, ומהירות השאיבה שלהן יכולה להגיע ל-500 ~ 6000 ליטר לשנייה.עבור מכונות תחריט פלזמה הדורשות ואקום גבוה, משאבות טורבומולקולריות הן חלק הכרחי.
3. יישום משאבת טורבומולקולרית במכונת תחריט פלזמה:
משאבות טורבומולקולריות נמצאות בשימוש נרחב במכונות תחריט פלזמה.במערכת הוואקום של מכונת תחריט פלזמה, משאבה טורבומולקולרית משמשת בדרך כלל כמשאבה הראשית כדי לסייע בהשגת ואקום גבוה.כאשר הפלזמה פוגעת במשטח, היא מייצרת כמות גדולה של גז פליטה, כולל שאריות חומרי גלם ומוצרי תגובה כימית.יש לשאוב את גזי הפליטה הללו מתא הוואקום במהירות וביעילות כדי להבטיח את היציבות והאמינות של תהליך תחריט הפלזמה.
מהירות השאיבה הגבוהה והוואקום הגבוה של משאבות טורבומולקולריות הופכות אותן למשאבות אידיאליות.בחרט פלזמה, המשאבה הטורבומולקולרית ממוקמת בדרך כלל ביחידת משאבה נפרדת לשליטה קלה על הוואקום והלחץ.במקביל, על מנת להגן על המשאבה הטורבומולקולרית, יש צורך להתקין שכבת משאבה מכנית ושסתום הפחתת לחץ מול המשאבה הטורבומולקולרית כדי למנוע לחץ יתר ופגיעה במשאבה הטורבומולקולרית.
4. יתרונות ומגבלות של משאבות טורבומולקולריות:
למשאבות טורבומולקולריות יתרונות רבים, כגון מהירות שאיבה גבוהה, ואקום גבוה, רעש נמוך ואמינות גבוהה.מהירות השאיבה הגבוהה של המשאבה הטורבומולקולרית יכולה להגביר את דרגת הוואקום, ובמקביל יכולה להפחית את זמן השאיבה, ובכך להגביר את יעילות הייצור.הרעש הנמוך והאמינות הגבוהה של המשאבה הטורבומולקולרית הם גם אחד היתרונות שלה, מה שאומר שהמשאבה הטורבומולקולרית יכולה לשמור על פעולה יעילה לאורך זמן רב יותר, ולהפחית את מספר התחזוקה וההחלפה.
עם זאת, למשאבות טורבומולקולריות יש גם מגבלות מסוימות, כגון יעילות שאיבה נמוכה עבור גזים מסוימים.לדוגמה, למשאבות טורבומולקולריות יש יעילות מיצוי נמוכה למימן, ולמשאבות טורבומולקולריות יש גם דרישות מסוימות ללחץ גז וטמפרטורה.לכן, ביישומים מעשיים, יש צורך לבחור את סוג ופרמטרי העבודה של המשאבה הטורבומולקולרית בהתאם למצב הספציפי כדי להבטיח את פעולתה הרגילה והיעילה.
5. מסקנה:
בתהליך ייצור המוליכים למחצה, מכונת תחריט הפלזמה היא אחד הציוד החשוב ביותר.במערכת הוואקום של מכונת תחריט הפלזמה, המשאבה הטורבומולקולרית, כמשאבה הראשית, ממלאת תפקיד חיוני בהשגת ואקום גבוה ותהליך תחריט פלזמה יציב.למשאבות טורבומולקולריות מהירות שאיבה גבוהה, ואקום גבוה, רעש נמוך ואופטימיזציה כדי לעמוד בדרישות טכניות גבוהות יותר.
באופן כללי, תפקידה של המשאבה הטורבומולקולרית במכונת תחריט הפלזמה אינו בר תחליף.בתעשיית ייצור המוליכים למחצה, המשאבה הטורבומולקולרית הפכה לאחד הציוד ההכרחי, אשר ממלא תפקיד חשוב בהבטחת הביצועים והיציבות של מכונת תחריט הפלזמה.עם הפיתוח וההתקדמות המתמשכת של טכנולוגיית המוליכים למחצה, הביקוש והיקף השימוש במשאבות טורבומולקולריות ימשיכו להתרחב.לכן, יצרני משאבות טורבומולקולריות צריכים לשפר ללא הרף את ביצועי ואיכות המוצר כדי לענות על הדרישה של תעשיית המוליכים למחצה לביצועים גבוהים יותר וציוד יציב יותר.
הודעת זכויות יוצרים:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. דוגלת בכיבוד והגנה על זכויות קניין רוחני ומציינת את מקור המאמרים עם מקורות ברורים.אם אתה מגלה שיש בעיות בזכויות יוצרים או אחרות בתוכן של אתר זה, אנא צור איתנו קשר כדי לטפל בזה.פרטי התקשרות:marketing01@gpmcn.com
זמן פרסום: 20 באוקטובר 2023