Dans l'industrie actuelle de la fabrication de semi-conducteurs, le graveur plasma et la pompe turbomoléculaire sont deux technologies clés importantes.Un graveur plasma est un outil essentiel dans la fabrication de composants microélectroniques, tandis qu'une pompe turbomoléculaire est conçue pour un vide poussé et une vitesse de pompage élevée.Dans cet article, nous discutons du rôle et de l’importance des pompes turbomoléculaires dans les graveurs plasma.
Contenu
1. Principe de fonctionnement de la machine de gravure au plasma
2. Principe de fonctionnement de la pompe turbomoléculaire
3. Application de la pompe turbomoléculaire dans la machine de gravure au plasma
4. Avantages et limites des pompes turbomoléculaires
5. Conclusion
1. Principe de fonctionnement de la machine de gravure au plasma :
Un graveur plasma est un outil permettant de traiter des matériaux en utilisant du plasma dans une chambre à vide.Le plasma est un ensemble de particules chargées produites par ionisation de gaz.La densité et la direction du mouvement du plasma peuvent être contrôlées par des champs électriques ou magnétiques à haute fréquence.Lors de la gravure au plasma, un plasma frappe la surface du matériau de travail et le soulève ou l'érode, créant ainsi la structure souhaitée.
Cependant, une grande quantité de gaz d’échappement est générée lors de la gravure au plasma.Ces gaz d'échappement comprennent des matériaux de travail et des impuretés présentes dans le gaz, etc., qui doivent être évacués par le système de vide.Par conséquent, la machine de gravure au plasma a besoin d’un système de vide efficace pour garantir la stabilité et la précision du processus de gravure.
2. Principe de fonctionnement de la pompe turbomoléculaire :
Les pompes turbomoléculaires sont l’une des pompes à vitesse de pompage élevée les plus couramment utilisées dans les systèmes à vide.Il fonctionne en faisant tourner un ensemble de turbines rotatives à grande vitesse pour pomper le gaz hors de la chambre à vide et l'expulser dans l'atmosphère.Dans une pompe turbomoléculaire, le gaz entre d'abord dans une pompe secondaire où il est comprimé dans une région à haute pression avant d'être envoyé vers la pompe turbomoléculaire.
Dans une pompe turbomoléculaire, le gaz est pompé à travers une turbine rotative, tandis que dans une pompe moléculaire, le gaz est décomposé en molécules plus petites.Les pompes turbomoléculaires peuvent fournir un vide poussé et leur vitesse de pompage peut atteindre 500 ~ 6 000 L/s.Pour les machines de gravure plasma qui nécessitent un vide poussé, les pompes turbomoléculaires sont un élément indispensable.
3. Application de la pompe turbomoléculaire dans la machine de gravure au plasma :
Les pompes turbomoléculaires sont largement utilisées dans les machines de gravure au plasma.Dans le système de vide d’une machine de gravure au plasma, une pompe turbomoléculaire est généralement utilisée comme pompe principale pour permettre d’obtenir un vide poussé.Lorsque le plasma atteint la surface, il produit une grande quantité de gaz d’échappement, notamment des matières premières résiduelles et des produits de réaction chimique.Ces gaz d'échappement doivent être pompés hors de la chambre à vide rapidement et efficacement pour garantir la stabilité et la fiabilité du processus de gravure au plasma.
La vitesse de pompage élevée et le vide poussé des pompes turbomoléculaires en font des pompes idéales.Dans un graveur plasma, la pompe turbomoléculaire est généralement placée dans une unité de pompe séparée pour un contrôle facile du vide et de la pression.Dans le même temps, afin de protéger la pompe turbomoléculaire, il est nécessaire d'installer une couche de pompe mécanique et un réducteur de pression devant la pompe turbomoléculaire pour éviter une pression excessive et des dommages à la pompe turbomoléculaire.
4. Avantages et limites des pompes turbomoléculaires :
Les pompes turbomoléculaires présentent de nombreux avantages, tels qu'une vitesse de pompage élevée, un vide poussé, un faible bruit et une grande fiabilité.La vitesse de pompage élevée de la pompe turbomoléculaire peut augmenter le degré de vide tout en réduisant le temps de pompage, augmentant ainsi l'efficacité de la production.Le faible bruit et la haute fiabilité de la pompe turbomoléculaire sont également l'un de ses avantages, ce qui signifie que la pompe turbomoléculaire peut maintenir un fonctionnement efficace pendant une période plus longue, réduisant ainsi le nombre d'entretien et de remplacement.
Cependant, les pompes turbomoléculaires présentent également certaines limites, comme une faible efficacité de pompage pour certains gaz.Par exemple, les pompes turbomoléculaires ont une faible efficacité d'extraction de l'hydrogène, et les pompes turbomoléculaires ont également certaines exigences en matière de pression et de température du gaz.Par conséquent, dans les applications pratiques, il est nécessaire de sélectionner le type et les paramètres de fonctionnement de la pompe turbomoléculaire en fonction de la situation spécifique pour garantir son fonctionnement normal et efficace.
5. Conclusion:
Dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, la machine de gravure au plasma est l’un des équipements les plus importants.Dans le système de vide de la machine de gravure au plasma, la pompe turbomoléculaire, en tant que pompe principale, joue un rôle essentiel dans la réalisation d'un vide poussé et d'un processus de gravure au plasma stable.Les pompes turbomoléculaires ont une vitesse de pompage élevée, un vide poussé, un faible bruit et une optimisation pour répondre à des exigences techniques plus élevées.
D’une manière générale, le rôle de la pompe turbomoléculaire dans la machine de gravure plasma est irremplaçable.Dans l'industrie de fabrication de semi-conducteurs, la pompe turbomoléculaire est devenue l'un des équipements nécessaires, qui joue un rôle important pour garantir les performances et la stabilité de la machine de gravure plasma.Avec le développement et les progrès continus de la technologie des semi-conducteurs, la demande et le champ d'utilisation des pompes turbomoléculaires continueront de croître.Par conséquent, les fabricants de pompes turbomoléculaires doivent améliorer continuellement les performances et la qualité de leurs produits pour répondre à la demande de l’industrie de fabrication de semi-conducteurs en matière de performances supérieures et d’équipements plus stables.
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Heure de publication : 20 octobre 2023