ଆଜିର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ଶିଳ୍ପରେ ପ୍ଲାଜମା ଇଥର ଏବଂ ଟର୍ବୋମୋଲୋକୁଲାର ପମ୍ପ ଦୁଇଟି ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା |ମାଇକ୍ରୋ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ନିର୍ମାଣରେ ଏକ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଇଚର୍ ଏକ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ ଉପକରଣ ହୋଇଥିବାବେଳେ ଏକ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର୍ ପମ୍ପ ଉଚ୍ଚ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ପମ୍ପିଂ ଗତି ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ ହୋଇଛି |ଏହି ଆର୍ଟିକିଲରେ, ଆମେ ପ୍ଲାଜମା ଇଚରରେ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକର ଭୂମିକା ଏବଂ ଗୁରୁତ୍ୱ ବିଷୟରେ ଆଲୋଚନା କରୁ |
ବିଷୟବସ୍ତୁ
1. ପ୍ଲାଜମା ଇଚିଂ ମେସିନର କାର୍ଯ୍ୟ ନୀତି |
2. ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପର କାର୍ଯ୍ୟ ନୀତି |
3. ପ୍ଲାଜମା ଇଚିଂ ମେସିନରେ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପର ପ୍ରୟୋଗ |
4. ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକର ସୁବିଧା ଏବଂ ସୀମିତତା |
5. ସିଦ୍ଧାନ୍ତ
1. ପ୍ଲାଜ୍ମା ଇଚିଂ ମେସିନର କାର୍ଯ୍ୟ ନୀତି:
ଏକ ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ ପ୍ଲାଜମା ବ୍ୟବହାର କରି ସାମଗ୍ରୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ ଏକ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଇଚର୍ |ପ୍ଲାଜ୍ମା ହେଉଛି ଗ୍ୟାସ୍ ଆୟନାଇଜେସନ୍ ଦ୍ୱାରା ଉତ୍ପାଦିତ ଚାର୍ଜଯୁକ୍ତ କଣିକାର ଏକ ସଂଗ୍ରହ |ପ୍ଲାଜାର ଗତିର ଘନତା ଏବଂ ଦିଗ ଉଚ୍ଚ-ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କିମ୍ବା ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ଦ୍ୱାରା ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହୋଇପାରିବ |ପ୍ଲାଜ୍ମା ଇଚିଂ ସମୟରେ, ଏକ ପ୍ଲାଜ୍ମା କାର୍ଯ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀର ପୃଷ୍ଠକୁ ଆଘାତ କରେ ଏବଂ ଏହାକୁ ଉଠାଇ ଦିଏ କିମ୍ବା ନଷ୍ଟ କରିଦିଏ, ଯାହା ଇଚ୍ଛାକୃତ ଗଠନ ସୃଷ୍ଟି କରେ |
ଅବଶ୍ୟ, ପ୍ଲାଜମା ଇଚିଂ ସମୟରେ ବହୁ ପରିମାଣର ନିଷ୍କାସିତ ଗ୍ୟାସ୍ ଉତ୍ପନ୍ନ ହୁଏ |ଏହି ନିଷ୍କାସିତ ଗ୍ୟାସରେ କାର୍ଯ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଗ୍ୟାସରେ ଥିବା ଅପରିଷ୍କାର ଇତ୍ୟାଦି ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ, ଯାହା ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ମାଧ୍ୟମରେ ନିର୍ଗତ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ |ତେଣୁ, ପ୍ଲାଜ୍ ଇଚିଂ ମେସିନ୍ ଇଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ସଠିକତାକୁ ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଦକ୍ଷ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଆବଶ୍ୟକ କରେ |
2. ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପର କାର୍ଯ୍ୟ ନୀତି:
ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ସିଷ୍ଟମରେ ସାଧାରଣତ used ବ୍ୟବହୃତ ହାଇ ପମ୍ପିଂ ସ୍ପିଡ୍ ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରୁ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର୍ ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକ |ଭ୍ୟାକ୍ଅମ୍ ଚାମ୍ବରରୁ ଗ୍ୟାସ୍ ପମ୍ପ କରିବା ଏବଂ ବାୟୁମଣ୍ଡଳକୁ ଗ୍ୟାସ୍ ବାହାର କରିବା ପାଇଁ ଏହା ଏକ ହାଇ ସ୍ପିଡ୍ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ ଇମ୍ପେଲର୍ସର ଏକ ସେଟ୍ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ କରି କାର୍ଯ୍ୟ କରେ |ଏକ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପରେ, ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରଥମେ ଏକ ବ୍ୟାକିଂ ପମ୍ପରେ ପ୍ରବେଶ କରେ ଯେଉଁଠାରେ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପକୁ ପଠାଯିବା ପୂର୍ବରୁ ଏହା ଏକ ଉଚ୍ଚ ଚାପର ଅଞ୍ଚଳରେ ସଙ୍କୁଚିତ ହୋଇଥାଏ |
ଏକ ଟର୍ବୋମୋଲୋକୁଲାର ପମ୍ପରେ, ଗ୍ୟାସ ଏକ ଘୂର୍ଣ୍ଣନକାରୀ ଇମ୍ପେଲର୍ ମାଧ୍ୟମରେ ପମ୍ପ ହୋଇଥିବାବେଳେ ଏକ ମଲିକୁଲାର ପମ୍ପରେ ଗ୍ୟାସ୍ ଛୋଟ ଅଣୁରେ ଭାଙ୍ଗିଯାଏ |ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପଗୁଡିକ ଉଚ୍ଚ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ ଏବଂ ସେମାନଙ୍କର ପମ୍ପିଂ ବେଗ 500 ~ 6000 L / s ରେ ପହଞ୍ଚିପାରେ |ପ୍ଲାଜମା ଏଚିଂ ମେସିନ୍ ପାଇଁ ଯାହା ଉଚ୍ଚ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଆବଶ୍ୟକ କରେ, ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର୍ ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକ ଏକ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ ଅଂଶ |
3. ପ୍ଲାଜମା ଇଚିଂ ମେସିନରେ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପର ପ୍ରୟୋଗ:
ପ୍ଲାଜମା ଇଚିଂ ମେସିନରେ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |ଏକ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଇଚିଂ ମେସିନର ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ସିଷ୍ଟମରେ, ଉଚ୍ଚ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ହାସଲ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଟର୍ବୋମୋଲୋକୁଲାର ପମ୍ପ ସାଧାରଣତ main ମୁଖ୍ୟ ପମ୍ପ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |ଯେତେବେଳେ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଭୂପୃଷ୍ଠକୁ ଆସେ, ଏହା ଅବଶିଷ୍ଟ କଞ୍ଚାମାଲ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଉତ୍ପାଦ ସହିତ ବହୁ ପରିମାଣର ନିଷ୍କାସିତ ଗ୍ୟାସ୍ ଉତ୍ପାଦନ କରେ |ପ୍ଲାଜମା ଇଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାକୁ ଏହି ନିଷ୍କାସିତ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକୁ ଶୀଘ୍ର ଏବଂ ଦକ୍ଷତାର ସହିତ ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରୁ ପମ୍ପ କରାଯିବା ଆବଶ୍ୟକ |
ଉଚ୍ଚ ପମ୍ପିଂ ଗତି ଏବଂ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକର ଉଚ୍ଚ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ସେମାନଙ୍କୁ ଆଦର୍ଶ ପମ୍ପ କରିଥାଏ |ଏକ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଇଚରରେ, ଟର୍ବୋମୋଲୋକୁଲାର ପମ୍ପ ସାଧାରଣତ vacu ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଏବଂ ଚାପର ସହଜ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପାଇଁ ଏକ ପୃଥକ ପମ୍ପ ୟୁନିଟରେ ରଖାଯାଇଥାଏ |ଏଥି ସହିତ, ଟର୍ବୋମୋଲୋକୁଲାର ପମ୍ପକୁ ସୁରକ୍ଷା ଦେବା ପାଇଁ, ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପରେ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପମ୍ପର ଏକ ସ୍ତର ଏବଂ ଚାପ ହ୍ରାସ କରୁଥିବା ଭଲଭ ସ୍ଥାପନ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ |
4. ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକର ସୁବିଧା ଏବଂ ସୀମାବଦ୍ଧତା:
ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକର ଅନେକ ସୁବିଧା ଅଛି, ଯେପରିକି ଉଚ୍ଚ ପମ୍ପିଂ ସ୍ପିଡ୍, ଉଚ୍ଚ ଭାକ୍ୟୁମ୍, କମ୍ ଶବ୍ଦ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା |ଟର୍ବୋମୋଲୋକୁଲାର ପମ୍ପର ଉଚ୍ଚ ପମ୍ପିଂ ଗତି ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଡିଗ୍ରୀ ବ increase ାଇପାରେ ଏବଂ ସେହି ସମୟରେ ପମ୍ପିଂ ସମୟକୁ ହ୍ରାସ କରିପାରେ, ଯାହାଦ୍ୱାରା ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତା ବୃଦ୍ଧି ପାଇଥାଏ |ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପର ନିମ୍ନ ଶବ୍ଦ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ବିଶ୍ୱସନୀୟତା ମଧ୍ୟ ଏହାର ଅନ୍ୟତମ ସୁବିଧା, ଯାହାର ଅର୍ଥ ହେଉଛି ଯେ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ଧରି କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ କାର୍ଯ୍ୟ ବଜାୟ ରଖିପାରିବ, ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ଏବଂ ବଦଳ ସଂଖ୍ୟା ହ୍ରାସ କରିବ |
ତଥାପି, ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକର ମଧ୍ୟ କିଛି ସୀମା ଅଛି, ଯେପରିକି କିଛି ଗ୍ୟାସ୍ ପାଇଁ କମ୍ ପମ୍ପିଂ ଦକ୍ଷତା |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ହାଇଡ୍ରୋଜେନ ପାଇଁ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକରେ କମ୍ ନିଷ୍କାସନ ଦକ୍ଷତା ଅଛି, ଏବଂ ଗ୍ୟାସ ଚାପ ଏବଂ ତାପମାତ୍ରା ପାଇଁ ଟର୍ବୋମୋଲୋକୁଲାର ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକରେ ମଧ୍ୟ କିଛି ଆବଶ୍ୟକତା ଅଛି |ତେଣୁ, ବ୍ୟବହାରିକ ପ୍ରୟୋଗରେ, ଏହାର ସାଧାରଣ ଏବଂ ଦକ୍ଷ କାର୍ଯ୍ୟକୁ ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପରିସ୍ଥିତି ଅନୁଯାୟୀ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପର ପ୍ରକାର ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ ବାଛିବା ଆବଶ୍ୟକ |
5. ସିଦ୍ଧାନ୍ତ:
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ପ୍ଲାଜ୍ମା ଇଚିଂ ମେସିନ୍ ହେଉଛି ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଉପକରଣ |ପ୍ଲାଜ୍ମା ଇଚିଂ ମେସିନର ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ସିଷ୍ଟମରେ, ଟର୍ବୋମୋଲୋକୁଲାର ପମ୍ପ, ମୁଖ୍ୟ ପମ୍ପ ଭାବରେ, ଉଚ୍ଚ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଏବଂ ସ୍ଥିର ପ୍ଲାଜମା ଇଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ହାସଲ କରିବାରେ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଥାଏ |ଉଚ୍ଚ ବ technical ଷୟିକ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକରେ ଉଚ୍ଚ ପମ୍ପିଂ ସ୍ପିଡ୍, ଉଚ୍ଚ ଭାକ୍ୟୁମ୍, କମ୍ ଶବ୍ଦ ଏବଂ ଅପ୍ଟିମାଇଜେସନ୍ ଅଛି |
ସାଧାରଣତ speaking କହିବାକୁ ଗଲେ, ପ୍ଲାଜମା ଇଚିଂ ମେସିନରେ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପର ଭୂମିକା ଅପୂରଣୀୟ |ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ଶିଳ୍ପରେ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପ ଏକ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଉପକରଣ ହୋଇପାରିଛି, ଯାହା ପ୍ଲାଜମା ଇଚିଂ ମେସିନର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତା ନିଶ୍ଚିତ କରିବାରେ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଥାଏ |ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଟେକ୍ନୋଲୋଜିର କ୍ରମାଗତ ବିକାଶ ଏବଂ ଅଗ୍ରଗତି ସହିତ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପଗୁଡ଼ିକର ଚାହିଦା ଏବଂ ପରିସର ବିସ୍ତାର ହେବ |ତେଣୁ, ଉଚ୍ଚ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ଅଧିକ ସ୍ଥିର ଯନ୍ତ୍ରପାତି ପାଇଁ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ଶିଳ୍ପର ଚାହିଦା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ଟର୍ବୋମୋଲ୍ୟୁକୁଲାର ପମ୍ପ ନିର୍ମାତାମାନେ କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ ଉତ୍ପାଦର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ଗୁଣରେ ଉନ୍ନତି ଆଣିବା ଆବଶ୍ୟକ କରନ୍ତି |
କପିରାଇଟ୍ ବିଜ୍ notice ପ୍ତି:
ଜିପିଏମ୍ ଇଣ୍ଟେଲିଜେଣ୍ଟ୍ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି (ଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ୍) କୋ।, ଲିମିଟେଡ୍ ବ intellectual ଦ୍ଧିକ ସମ୍ପତ୍ତି ଅଧିକାରର ସମ୍ମାନ ଏବଂ ସୁରକ୍ଷାକୁ ସମର୍ଥନ କରେ ଏବଂ ସ୍ୱଚ୍ଛ ଉତ୍ସ ସହିତ ପ୍ରବନ୍ଧର ଉତ୍ସକୁ ସୂଚିତ କରେ |ଯଦି ଆପଣ ଜାଣନ୍ତି ଯେ ଏହି ୱେବସାଇଟ୍ ର ବିଷୟବସ୍ତୁରେ କପିରାଇଟ୍ କିମ୍ବା ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ସମସ୍ୟା ଅଛି, ଦୟାକରି ଏହାର ମୁକାବିଲା କରିବାକୁ ଆମ ସହିତ ଯୋଗାଯୋଗ କରନ୍ତୁ |ଯୋଗାଯୋଗ ସୁଚନା:marketing01@gpmcn.com
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଅକ୍ଟୋବର -20-2023 |