आजच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उद्योगात, प्लाझ्मा एचर आणि टर्बोमॉलिक्युलर पंप हे दोन महत्त्वाचे तंत्रज्ञान आहेत.मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक घटकांच्या निर्मितीमध्ये प्लाझ्मा एचर हे एक आवश्यक साधन आहे, तर टर्बोमॉलिक्युलर पंप उच्च व्हॅक्यूम आणि उच्च पंपिंग गतीसाठी डिझाइन केलेले आहे.या लेखात, आम्ही प्लाझ्मा एचरमध्ये टर्बोमॉलिक्युलर पंपांची भूमिका आणि महत्त्व यावर चर्चा करू.
सामग्री
1. प्लाझ्मा एचिंग मशीनचे कार्य तत्त्व
2. टर्बोमॉलिक्युलर पंपचे कार्य तत्त्व
3. प्लाझ्मा एचिंग मशीनमध्ये टर्बोमॉलिक्युलर पंपचा वापर
4. टर्बोमॉलिक्युलर पंपचे फायदे आणि मर्यादा
5. निष्कर्ष
1. प्लाझ्मा एचिंग मशीनचे कार्य तत्त्व:
प्लाझ्मा एचर हे व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये प्लाझ्मा वापरून सामग्रीवर प्रक्रिया करण्याचे साधन आहे.प्लाझ्मा हा गॅस आयनीकरणाद्वारे तयार केलेल्या चार्ज केलेल्या कणांचा संग्रह आहे.प्लाझ्माच्या गतीची घनता आणि दिशा उच्च-फ्रिक्वेंसी इलेक्ट्रिक किंवा चुंबकीय क्षेत्राद्वारे नियंत्रित केली जाऊ शकते.प्लाझ्मा एचिंग दरम्यान, प्लाझ्मा कार्यरत सामग्रीच्या पृष्ठभागावर आदळतो आणि तो उचलतो किंवा तो खोडतो, ज्यामुळे इच्छित रचना तयार होते.
तथापि, प्लाझ्मा एचिंग दरम्यान मोठ्या प्रमाणात एक्झॉस्ट गॅस तयार होतो.या एक्झॉस्ट वायूंमध्ये कार्यरत साहित्य आणि वायूमधील अशुद्धता इत्यादींचा समावेश होतो, जे व्हॅक्यूम प्रणालीद्वारे सोडले जाणे आवश्यक आहे.म्हणून, प्लाझ्मा एचिंग मशीनला एचिंग प्रक्रियेची स्थिरता आणि अचूकता सुनिश्चित करण्यासाठी एक कार्यक्षम व्हॅक्यूम सिस्टम आवश्यक आहे.
2. टर्बोमॉलिक्युलर पंपचे कार्य तत्त्व:
टर्बोमॉलिक्युलर पंप हे व्हॅक्यूम सिस्टीममध्ये सर्वाधिक वापरले जाणारे उच्च पंपिंग स्पीड पंप आहेत.हे व्हॅक्यूम चेंबरमधून वायू बाहेर पंप करण्यासाठी आणि वातावरणात वायू बाहेर टाकण्यासाठी हाय-स्पीड रोटेटिंग इम्पेलर्सचा संच फिरवून कार्य करते.टर्बोमॉलेक्युलर पंपमध्ये, गॅस प्रथम बॅकिंग पंपमध्ये प्रवेश करतो जिथे तो टर्बोमॉलिक्युलर पंपवर पाठवण्यापूर्वी उच्च-दाब प्रदेशात संकुचित केला जातो.
टर्बोमॉलेक्युलर पंपमध्ये, वायू फिरत्या इंपेलरद्वारे पंप केला जातो, तर आण्विक पंपमध्ये गॅस लहान रेणूंमध्ये मोडला जातो.टर्बोमॉलिक्युलर पंप उच्च व्हॅक्यूम प्रदान करू शकतात आणि त्यांचा पंपिंग वेग 500~6000 L/s पर्यंत पोहोचू शकतो.उच्च व्हॅक्यूम आवश्यक असलेल्या प्लाझ्मा एचिंग मशीनसाठी, टर्बोमॉलिक्युलर पंप हा एक अपरिहार्य भाग आहे.
3. प्लाझ्मा एचिंग मशीनमध्ये टर्बोमॉलिक्युलर पंप वापरणे:
प्लाझ्मा एचिंग मशीनमध्ये टर्बोमॉलिक्युलर पंप मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात.प्लाझ्मा एचिंग मशीनच्या व्हॅक्यूम सिस्टममध्ये, उच्च व्हॅक्यूम प्राप्त करण्यात मदत करण्यासाठी टर्बोमॉलिक्युलर पंप सामान्यत: मुख्य पंप म्हणून वापरला जातो.जेव्हा प्लाझ्मा पृष्ठभागावर आदळतो तेव्हा ते अवशिष्ट कच्चा माल आणि रासायनिक प्रतिक्रिया उत्पादनांसह मोठ्या प्रमाणात एक्झॉस्ट गॅस तयार करते.प्लाझ्मा एचिंग प्रक्रियेची स्थिरता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करण्यासाठी या एक्झॉस्ट वायूंना व्हॅक्यूम चेंबरमधून जलद आणि कार्यक्षमतेने पंप करणे आवश्यक आहे.
उच्च पंपिंग गती आणि टर्बोमॉलिक्युलर पंपांचे उच्च व्हॅक्यूम त्यांना आदर्श पंप बनवतात.प्लाझ्मा एचरमध्ये, व्हॅक्यूम आणि दाब यांच्या सहज नियंत्रणासाठी टर्बोमॉलिक्युलर पंप एका वेगळ्या पंप युनिटमध्ये ठेवला जातो.त्याच वेळी, टर्बोमॉलेक्युलर पंपचे संरक्षण करण्यासाठी, टर्बोमॉलेक्युलर पंपला जास्त दबाव आणि नुकसान टाळण्यासाठी टर्बोमॉलिक्युलर पंपच्या समोर यांत्रिक पंपचा एक थर आणि दबाव कमी करणारा वाल्व स्थापित करणे आवश्यक आहे.
4. टर्बोमॉलिक्युलर पंपांचे फायदे आणि मर्यादा:
टर्बोमॉलिक्युलर पंपांचे अनेक फायदे आहेत, जसे की उच्च पंपिंग गती, उच्च व्हॅक्यूम, कमी आवाज आणि उच्च विश्वासार्हता.टर्बोमॉलिक्युलर पंपची उच्च पंपिंग गती व्हॅक्यूम डिग्री वाढवू शकते आणि त्याच वेळी पंपिंग वेळ कमी करू शकते, ज्यामुळे उत्पादन कार्यक्षमता वाढते.टर्बोमॉलेक्युलर पंपचा कमी आवाज आणि उच्च विश्वासार्हता हे देखील त्याच्या फायद्यांपैकी एक आहे, याचा अर्थ असा आहे की टर्बोमॉलिक्युलर पंप दीर्घ कालावधीसाठी कार्यक्षम ऑपरेशन राखू शकतो, देखभाल आणि बदलण्याची संख्या कमी करतो.
तथापि, टर्बोमॉलिक्युलर पंपांना देखील काही मर्यादा आहेत, जसे की विशिष्ट वायूंसाठी कमी पंपिंग कार्यक्षमता.उदाहरणार्थ, टर्बोमॉलेक्युलर पंप्समध्ये हायड्रोजनसाठी कमी निष्कर्षण कार्यक्षमता असते आणि टर्बोमॉलेक्युलर पंपांना देखील गॅस दाब आणि तापमानासाठी काही विशिष्ट आवश्यकता असतात.म्हणून, व्यावहारिक अनुप्रयोगांमध्ये, टर्बोमॉलिक्युलर पंपचे सामान्य आणि कार्यक्षम ऑपरेशन सुनिश्चित करण्यासाठी विशिष्ट परिस्थितीनुसार त्याचे प्रकार आणि कार्यरत पॅरामीटर्स निवडणे आवश्यक आहे.
5. निष्कर्ष:
सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत, प्लाझ्मा एचिंग मशीन हे एक अतिशय महत्त्वाचे उपकरण आहे.प्लाझ्मा एचिंग मशीनच्या व्हॅक्यूम सिस्टममध्ये, टर्बोमॉलिक्युलर पंप, मुख्य पंप म्हणून, उच्च व्हॅक्यूम आणि स्थिर प्लाझ्मा एचिंग प्रक्रिया साध्य करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते.टर्बोमॉलिक्युलर पंपमध्ये उच्च पंपिंग गती, उच्च व्हॅक्यूम, कमी आवाज आणि उच्च तांत्रिक आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी ऑप्टिमायझेशन असते.
सर्वसाधारणपणे, प्लाझ्मा एचिंग मशीनमध्ये टर्बोमॉलिक्युलर पंपची भूमिका न भरून येणारी आहे.सेमीकंडक्टर उत्पादन उद्योगात, टर्बोमॉलिक्युलर पंप हे आवश्यक उपकरणांपैकी एक बनले आहे, जे प्लाझ्मा एचिंग मशीनची कार्यक्षमता आणि स्थिरता सुनिश्चित करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते.सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानाच्या सतत विकास आणि प्रगतीसह, टर्बोमॉलिक्युलर पंपांच्या वापराची मागणी आणि व्याप्ती विस्तारत राहील.म्हणून, टर्बोमॉलेक्युलर पंप उत्पादकांना उच्च कार्यक्षमता आणि अधिक स्थिर उपकरणांसाठी सेमीकंडक्टर उत्पादन उद्योगाची मागणी पूर्ण करण्यासाठी उत्पादनाची कार्यक्षमता आणि गुणवत्ता सतत सुधारणे आवश्यक आहे.
कॉपीराइट सूचना:
GPM इंटेलिजेंट टेक्नॉलॉजी(Guangdong) Co., Ltd. बौद्धिक संपदा अधिकारांचा आदर आणि संरक्षण करण्याचे समर्थन करते आणि स्पष्ट स्त्रोतांसह लेखांचे स्रोत सूचित करते.या वेबसाइटच्या सामग्रीमध्ये कॉपीराइट किंवा इतर समस्या असल्याचे आपल्याला आढळल्यास, कृपया त्यास सामोरे जाण्यासाठी आमच्याशी संपर्क साधा.संपर्क माहिती:marketing01@gpmcn.com
पोस्ट वेळ: ऑक्टोबर-20-2023