I dagens halvlederindustri er plasmaetser og turbomolekylær pumpe to viktige nøkkelteknologier.En plasmaetser er et viktig verktøy ved fremstilling av mikroelektroniske komponenter, mens en turbomolekylær pumpe er designet for høyt vakuum og høy pumpehastighet.I denne artikkelen diskuterer vi rollen og betydningen av turbomolekylære pumper i plasmaetsere.
Innhold
1. Arbeidsprinsipp for plasma-etsemaskin
2. Arbeidsprinsipp for turbomolekylær pumpe
3. Påføring av turbomolekylær pumpe i plasma-etsemaskin
4. Fordeler og begrensninger ved turbomolekylære pumper
5. Konklusjon
1. Arbeidsprinsipp for plasmaetsemaskin:
En plasmaetser er et verktøy for å behandle materialer ved å bruke plasma i et vakuumkammer.Plasma er en samling av ladede partikler produsert ved gassionisering.Tettheten og bevegelsesretningen til plasma kan kontrolleres av høyfrekvente elektriske eller magnetiske felt.Under plasmaetsing treffer et plasma overflaten av arbeidsmaterialet og løfter det av eller eroderer det, og skaper den ønskede strukturen.
Imidlertid genereres en stor mengde avgass under plasmaetsing.Disse avgassene inkluderer arbeidsmaterialer og urenheter i gassen, etc., som må slippes ut gjennom vakuumsystemet.Derfor trenger plasmaetsemaskinen et effektivt vakuumsystem for å sikre stabiliteten og nøyaktigheten til etseprosessen.
2. Arbeidsprinsipp for turbomolekylær pumpe:
Turbomolekylære pumper er en av de mest brukte høypumpehastighetspumpene i vakuumsystemer.Den fungerer ved å snurre et sett med høyhastighets roterende impellere for å pumpe gassen ut av vakuumkammeret og drive gassen ut i atmosfæren.I en turbomolekylær pumpe kommer gass først inn i en støttepumpe hvor den komprimeres til et høytrykksområde før den sendes til turbomolekylærpumpen.
I en turbomolekylær pumpe pumpes gassen gjennom et roterende impeller, mens i en molekylær pumpe brytes gassen ned til mindre molekyler.Turbomolekylære pumper kan gi høyt vakuum, og deres pumpehastighet kan nå 500 ~ 6000 L/s.For plasmaetsemaskiner som krever høyt vakuum, er turbomolekylære pumper en uunnværlig del.
3. Bruk av turbomolekylær pumpe i plasma-etsemaskin:
Turbomolekylære pumper er mye brukt i plasma-etsemaskiner.I vakuumsystemet til en plasmaetsemaskin brukes vanligvis en turbomolekylær pumpe som hovedpumpe for å bidra til å oppnå høyt vakuum.Når plasmaet treffer overflaten, produserer det en stor mengde avgass, inkludert restråmaterialer og kjemiske reaksjonsprodukter.Disse avgassene må pumpes ut av vakuumkammeret raskt og effektivt for å sikre stabiliteten og påliteligheten til plasmaetseprosessen.
Den høye pumpehastigheten og det høye vakuumet til turbomolekylære pumper gjør dem til ideelle pumper.I en plasmaetser er turbomolekylærpumpen vanligvis plassert i en separat pumpeenhet for enkel kontroll av vakuum og trykk.Samtidig, for å beskytte den turbomolekylære pumpen, er det nødvendig å installere et lag med mekanisk pumpe og en trykkreduksjonsventil foran turbomolekylærpumpen for å unngå for høyt trykk og skade på turbomolekylærpumpen.
4. Fordeler og begrensninger med turbomolekylære pumper:
Turbomolekylære pumper har mange fordeler, som høy pumpehastighet, høyt vakuum, lavt støynivå og høy pålitelighet.Den høye pumpehastigheten til turbomolekylærpumpen kan øke vakuumgraden, og kan samtidig redusere pumpetiden, og dermed øke produksjonseffektiviteten.Den lave støyen og høye påliteligheten til turbomolekylærpumpen er også en av dens fordeler, noe som betyr at turbomolekylærpumpen kan opprettholde effektiv drift over lengre tid, noe som reduserer antall vedlikehold og utskifting.
Turbomolekylære pumper har imidlertid også noen begrensninger, for eksempel lav pumpeeffektivitet for visse gasser.For eksempel har turbomolekylære pumper lav utvinningseffektivitet for hydrogen, og turbomolekylære pumper har også visse krav til gasstrykk og temperatur.Derfor, i praktiske applikasjoner, er det nødvendig å velge type og arbeidsparametre for turbomolekylær pumpe i henhold til den spesifikke situasjonen for å sikre normal og effektiv drift.
5. Konklusjon:
I halvlederproduksjonsprosessen er plasmaetsemaskinen et av de svært viktige utstyret.I vakuumsystemet til plasmaetsemaskinen spiller turbomolekylærpumpen, som hovedpumpe, en viktig rolle for å oppnå høyvakuum og stabil plasmaetseprosess.Turbomolekylære pumper har høy pumpehastighet, høyt vakuum, lavt støynivå og optimalisering for å møte høyere tekniske krav.
Generelt sett er rollen til den turbomolekylære pumpen i plasmaetsemaskinen uerstattelig.I halvlederproduksjonsindustrien har turbomolekylærpumpen blitt et av de nødvendige utstyret, som spiller en viktig rolle for å sikre ytelsen og stabiliteten til plasmaetsemaskinen.Med den kontinuerlige utviklingen og fremgangen av halvlederteknologi, vil etterspørselen og bruksomfanget av turbomolekylære pumper fortsette å utvide seg.Derfor må produsenter av turbomolekylære pumper kontinuerlig forbedre produktytelsen og kvaliteten for å møte halvlederindustriens krav om høyere ytelse og mer stabilt utstyr.
Opphavsrettserklæring:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. tar til orde for respekt og beskyttelse av immaterielle rettigheter og angir kilden til artikler med klare kilder.Hvis du finner ut at det er opphavsrettslige eller andre problemer i innholdet på denne nettsiden, vennligst kontakt oss for å håndtere det.Kontaktinformasjon:marketing01@gpmcn.com
Innleggstid: 20. oktober 2023