Nykypäivän puolijohdeteollisuudessa plasmaetcher ja turbomolekyylipumppu ovat kaksi tärkeää avainteknologiaa.Plasmaetseri on olennainen työkalu mikroelektronisten komponenttien valmistuksessa, kun taas turbomolekyylipumppu on suunniteltu korkeaan tyhjiöön ja suureen pumppausnopeuteen.Tässä artikkelissa keskustelemme turbomolekyylipumppujen roolista ja merkityksestä plasmaetchereissa.
Sisältö
1. Plasmaetsauskoneen toimintaperiaate
2. Turbomolekyylipumpun toimintaperiaate
3. Turbomolekyylipumpun käyttö plasmaetsauskoneessa
4. Turbomolekyylipumppujen edut ja rajoitukset
5. Päätelmät
1. Plasmasyövytyskoneen toimintaperiaate:
Plasmaetcher on työkalu materiaalien käsittelyyn käyttämällä plasmaa tyhjiökammiossa.Plasma on kokoelma varautuneita hiukkasia, joita syntyy kaasuionisaatiolla.Plasman tiheyttä ja liikkeen suuntaa voidaan ohjata suurtaajuisilla sähkö- tai magneettikentillä.Plasmasyövytyksen aikana plasma iskee työstettävän materiaalin pintaan ja nostaa sen pois tai syövyttää sen muodostaen halutun rakenteen.
Plasmasyövytyksen aikana syntyy kuitenkin suuri määrä pakokaasua.Nämä pakokaasut sisältävät työmateriaaleja ja kaasussa olevia epäpuhtauksia jne., jotka on poistettava tyhjiöjärjestelmän kautta.Siksi plasmaetsauskone tarvitsee tehokkaan tyhjiöjärjestelmän etsausprosessin vakauden ja tarkkuuden varmistamiseksi.
2. Turbomolekyylipumpun toimintaperiaate:
Turbomolekyylipumput ovat yksi yleisimmin käytetyistä suuren pumppausnopeuden pumpuista tyhjiöjärjestelmissä.Se toimii pyörittämällä joukkoa nopeita pyöriviä juoksupyöriä, jotka pumppaavat kaasun ulos tyhjiökammiosta ja poistavat kaasun ilmakehään.Turbomolekyylipumpussa kaasu menee ensin tukipumppuun, jossa se puristetaan korkeapainealueelle ennen kuin se lähetetään turbomolekyyliseen pumppuun.
Turbomolekyylipumpussa kaasu pumpataan pyörivän juoksupyörän läpi, kun taas molekyylipumpussa kaasu hajotetaan pienemmiksi molekyyleiksi.Turbomolekyylipumput voivat tarjota korkean tyhjiön, ja niiden pumppausnopeus voi olla 500–6000 l/s.Plasmaetsauskoneissa, jotka vaativat suurta tyhjiötä, turbomolekyylipumput ovat välttämätön osa.
3. Turbomolekyylipumpun käyttö plasmaetsauskoneessa:
Turbomolekulaarisia pumppuja käytetään laajalti plasmaetsauskoneissa.Plasmasyövytyskoneen tyhjiöjärjestelmässä turbomolekyylipumppua käytetään yleensä pääpumppuna korkean tyhjiön saavuttamiseksi.Kun plasma osuu pintaan, se tuottaa suuren määrän pakokaasua, mukaan lukien jäännösraaka-aineet ja kemialliset reaktiotuotteet.Nämä pakokaasut on pumpattava tyhjökammiosta nopeasti ja tehokkaasti plasmaetsausprosessin vakauden ja luotettavuuden varmistamiseksi.
Turbomolekyylipumppujen suuri pumppausnopeus ja suuri tyhjiö tekevät niistä ihanteellisia pumppuja.Plasmaetcherissä turbomolekulaarinen pumppu sijoitetaan yleensä erilliseen pumppuyksikköön tyhjiön ja paineen helpottamiseksi.Samaan aikaan turbomolekyylipumpun suojaamiseksi on tarpeen asentaa mekaanisen pumpun kerros ja paineenalennusventtiili turbomolekyylipumpun eteen liiallisen paineen ja turbomolekyylipumpun vaurioitumisen välttämiseksi.
4. Turbomolekyylipumppujen edut ja rajoitukset:
Turbomolekyylipumpuilla on monia etuja, kuten suuri pumppausnopeus, suuri tyhjiö, alhainen melu ja korkea luotettavuus.Turbomolekyylipumpun korkea pumppausnopeus voi lisätä tyhjiöastetta ja samalla lyhentää pumppausaikaa, mikä lisää tuotannon tehokkuutta.Turbomolekyylipumpun alhainen melutaso ja korkea luotettavuus on myös yksi sen eduista, mikä tarkoittaa, että turbomolekyylipumppu pystyy ylläpitämään tehokkaan toiminnan pidemmän aikaa, mikä vähentää huolto- ja vaihtokertoja.
Turbomolekyylipumpuilla on kuitenkin myös joitain rajoituksia, kuten tiettyjen kaasujen alhainen pumppaustehokkuus.Esimerkiksi turbomolekyylipumpuilla on alhainen vedyn poistotehokkuus, ja turbomolekyylipumpuilla on myös tietyt vaatimukset kaasun paineelle ja lämpötilalle.Siksi käytännön sovelluksissa on tarpeen valita turbomolekyylipumpun tyyppi ja toimintaparametrit tilanteen mukaan sen normaalin ja tehokkaan toiminnan varmistamiseksi.
5. Päätelmät:
Puolijohteiden valmistusprosessissa plasmaetsauskone on yksi erittäin tärkeistä laitteista.Plasmasyövytyskoneen tyhjiöjärjestelmässä turbomolekyylipumpulla on pääpumppuna tärkeä rooli korkean tyhjiön ja vakaan plasmaetsausprosessin saavuttamisessa.Turbomolekyylipumpuilla on korkea pumppausnopeus, suuri tyhjiö, alhainen melu ja optimointi korkeampien teknisten vaatimusten täyttämiseksi.
Yleisesti ottaen turbomolekyylipumpun rooli plasmaetsauskoneessa on korvaamaton.Puolijohdeteollisuudessa turbomolekyylipumpusta on tullut yksi välttämättömistä laitteista, jolla on tärkeä rooli plasmaetsauskoneen suorituskyvyn ja vakauden varmistamisessa.Puolijohdeteknologian jatkuvan kehityksen ja edistymisen myötä turbomolekyylipumppujen kysyntä ja käyttöalue kasvavat edelleen.Siksi turbomolekyylipumppujen valmistajien on jatkuvasti parannettava tuotteiden suorituskykyä ja laatua vastatakseen puolijohdeteollisuuden vaatimuksiin tehokkaammista ja vakaammista laitteista.
Tekijänoikeushuomautus:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. kannattaa teollis- ja tekijänoikeuksien kunnioittamista ja suojaa ja ilmoittaa artikkelien lähteet selkein lähtein.Jos huomaat, että tämän sivuston sisällössä on tekijänoikeus- tai muita ongelmia, ota meihin yhteyttä asian ratkaisemiseksi.Yhteystiedot:marketing01@gpmcn.com
Postitusaika: 20.10.2023