Nyob rau hauv niaj hnub kev lag luam semiconductor manufacturing, plasma etcher thiab turbomolecular twj tso kua mis yog ob qho tseem ceeb technologies.Lub plasma etcher yog ib qho cuab yeej tseem ceeb hauv kev tsim cov khoom siv hluav taws xob microelectronic, thaum lub twj tso kua mis turbomolecular yog tsim los rau lub tshuab nqus tsev siab thiab siab twj tso kua mis.Hauv tsab xov xwm no, peb tham txog lub luag haujlwm thiab qhov tseem ceeb ntawm cov twj turbomolecular hauv plasma etchers.
Cov ntsiab lus
1. Lub hauv paus ntsiab lus ua haujlwm ntawm plasma etching tshuab
2. Lub hauv paus ntsiab lus ua haujlwm ntawm turbomolecular twj tso kua mis
3. Daim ntawv thov ntawm turbomolecular twj tso kua mis hauv plasma etching tshuab
4. Qhov zoo thiab kev txwv ntawm cov twj turbomolecular
5. Cov lus xaus
1. Ua hauj lwm hauv paus ntsiab lus ntawm plasma etching tshuab:
Lub plasma etcher yog ib qho cuab yeej rau kev ua cov ntaub ntawv los ntawm kev siv cov ntshav hauv lub tshuab nqus tsev.Plasma yog ib qho kev sib sau ntawm cov khoom siv hluav taws xob uas tsim los ntawm cov roj ionization.Qhov ceev thiab kev taw qhia ntawm kev txav ntawm plasma tuaj yeem tswj tau los ntawm high-frequency hluav taws xob lossis magnetic teb.Thaum lub sij hawm plasma etching, ib tug plasma ntaus nto ntawm cov khoom ua hauj lwm thiab nqa nws tawm los yog erodes nws, tsim kom muaj cov qauv.
Txawm li cas los xij, cov pa roj ntau ntau yog tsim thaum lub sij hawm plasma etching.Cov pa tso pa tawm no suav nrog cov khoom siv ua haujlwm thiab impurities hauv cov pa roj, thiab lwm yam, uas yuav tsum tau tso tawm los ntawm lub tshuab nqus tsev.Yog li ntawd, lub tshuab plasma etching xav tau lub tshuab nqus tsev ua haujlwm kom muaj kev ruaj ntseg thiab raug ntawm cov txheej txheem etching.
2. Lub hauv paus ntsiab lus ntawm turbomolecular twj tso kua mis:
Turbomolecular twj tso kua mis yog ib qho ntawm feem ntau siv cov twj tso kua mis ceev ceev hauv lub tshuab nqus tsev.Nws ua haujlwm los ntawm spinning ib txheej ntawm high-speed rotating impellers kom tso cov pa tawm ntawm lub tshuab nqus tsev chamber thiab tshem tawm cov pa mus rau hauv qhov chaw.Nyob rau hauv lub twj tso kua mis turbomolecular, roj thawj zaug nkag mus rau hauv lub twj tso kua mis rov qab uas nws tau compressed rau hauv ib cheeb tsam siab ua ntej xa mus rau lub twj tso kua mis turbomolecular.
Nyob rau hauv lub twj tso kua mis turbomolecular, cov pa roj yog pumped los ntawm lub impeller rotating, thaum nyob rau hauv ib lub twj tso kua mis molecular cov pa roj yog tawg mus rau hauv me me molecules.Turbomolecular twj tuaj yeem muab lub tshuab nqus tsev siab, thiab lawv cov twj tso kua mis tuaj yeem ncav cuag 500 ~ 6000 L / s.Rau cov tshuab plasma etching uas xav tau lub tshuab nqus tsev siab, cov twj turbomolecular yog ib feem tseem ceeb.
3. Daim ntawv thov ntawm turbomolecular twj tso kua mis hauv plasma etching tshuab:
Turbomolecular twj yog siv dav hauv cov tshuab plasma etching.Hauv lub tshuab nqus tsev ntawm lub tshuab plasma etching, lub twj tso kua mis turbomolecular feem ntau yog siv los ua lub twj tso kua mis loj los pab ua kom lub tshuab nqus tsev siab.Thaum lub plasma tsoo rau saum npoo, nws tsim cov pa roj ntau ntau, suav nrog cov khoom siv raw thiab cov khoom siv tshuaj lom neeg.Cov pa hluav taws xob no yuav tsum tau muab tso tawm ntawm lub tshuab nqus tsev kom sai thiab ua tau zoo los xyuas kom meej qhov ruaj khov thiab kev ntseeg siab ntawm cov txheej txheem plasma etching.
Cov twj tso kua mis siab ceev thiab lub tshuab nqus tsev siab ntawm cov twj turbomolecular ua rau lawv cov twj zoo tagnrho.Hauv plasma etcher, lub twj tso kua mis turbomolecular feem ntau yog muab tso rau hauv ib lub twj tso kua mis cais kom yooj yim tswj lub tshuab nqus tsev thiab siab.Nyob rau tib lub sijhawm, txhawm rau tiv thaiv lub twj tso kua mis turbomolecular, nws yog ib qho tsim nyog yuav tsum tau nruab ib txheej ntawm cov twj tso kua mis thiab lub siab txo valve nyob rau hauv pem hauv ntej ntawm lub twj tso kua mis turbomolecular kom tsis txhob muaj siab dhau thiab kev puas tsuaj rau lub twj tso kua mis turbomolecular.
4. Qhov zoo thiab kev txwv ntawm cov twj turbomolecular:
Turbomolecular twj tso kua mis muaj ntau yam zoo, xws li kev siv siab ceev, lub tshuab nqus tsev siab, tsis tshua muaj suab nrov, thiab muaj kev ntseeg siab.Lub tshuab nqus tsev siab ceev ntawm lub twj tso kua mis turbomolecular tuaj yeem ua kom lub tshuab nqus tsev kawm ntawv qib siab, thiab tib lub sijhawm tuaj yeem txo lub sijhawm siv, yog li ua kom cov khoom ua tau zoo.Lub suab nrov qis thiab muaj kev ntseeg siab ntawm lub twj tso kua mis turbomolecular kuj yog ib qho ntawm nws qhov zoo, uas txhais tau hais tias lub twj tso kua mis turbomolecular tuaj yeem tswj xyuas kev ua haujlwm tau zoo rau lub sijhawm ntev, txo tus naj npawb ntawm kev saib xyuas thiab hloov.
Txawm li cas los xij, cov twj turbomolecular kuj muaj qee qhov kev txwv, xws li kev siv hluav taws xob tsawg rau qee yam roj.Piv txwv li, turbomolecular cov twj tso kua mis muaj qhov ua haujlwm qis rau hydrogen, thiab cov twj turbomolecular kuj tseem muaj qee yam yuav tsum tau ua rau roj siab thiab kub.Yog li ntawd, hauv kev siv tswv yim, nws yog ib qho tsim nyog los xaiv hom thiab kev ua haujlwm ntawm lub twj tso kua mis turbomolecular raws li qhov xwm txheej tshwj xeeb kom ntseeg tau tias nws ua haujlwm zoo thiab ua haujlwm zoo.
5. Cov lus xaus:
Hauv cov txheej txheem tsim khoom semiconductor, plasma etching tshuab yog ib qho khoom siv tseem ceeb heev.Hauv lub tshuab nqus tsev ntawm lub tshuab plasma etching, lub twj tso kua mis turbomolecular, uas yog lub twj tso kua mis loj, ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev ua tiav lub tshuab nqus tsev siab thiab ruaj khov plasma etching txheej txheem.Turbomolecular twj tso kua mis muaj cov twj tso kua mis siab, lub tshuab nqus tsev siab, lub suab qis thiab kev ua kom zoo kom tau raws li cov kev xav tau siab dua.
Feem ntau hais lus, lub luag haujlwm ntawm lub twj tso kua mis turbomolecular hauv lub tshuab plasma etching yog irreplaceable.Hauv kev lag luam semiconductor kev lag luam, lub twj tso kua mis turbomolecular tau dhau los ua ib qho ntawm cov khoom tsim nyog, uas ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev ua kom muaj kev ua tau zoo thiab ruaj khov ntawm lub tshuab plasma etching.Nrog rau kev txhim kho txuas ntxiv thiab kev nce qib ntawm cov tshuab semiconductor, qhov kev thov thiab kev siv cov twj turbomolecular yuav txuas ntxiv mus.Yog li ntawd, turbomolecular twj tso kua mis manufacturers yuav tsum tsis tu ncua txhim kho cov khoom ua tau zoo thiab zoo kom tau raws li cov semiconductor manufacturing kev lag luam qhov kev thov rau kev ua tau zoo dua thiab ruaj khov khoom.
Daim ntawv ceeb toom Copyright:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. txhawb nqa kev hwm thiab kev tiv thaiv cov cai ntawm kev txawj ntse thiab qhia txog lub hauv paus ntawm cov khoom nrog cov ntsiab lus meej.Yog tias koj pom tias muaj kev cai lij choj lossis lwm yam teeb meem hauv cov ntsiab lus ntawm lub vev xaib no, thov hu rau peb los daws nws.Cov ntaub ntawv tiv tauj:marketing01@gpmcn.com
Post lub sij hawm: Oct-20-2023