U današnjoj industriji proizvodnje poluvodiča, plazma nagrizanje i turbomolekularna pumpa su dvije važne ključne tehnologije.Plazma nagrizač je bitan alat u proizvodnji mikroelektronskih komponenti, dok je turbomolekularna pumpa dizajnirana za visoki vakuum i veliku brzinu pumpanja.U ovom članku raspravljamo o ulozi i važnosti turbomolekularnih pumpi u plazma nagrizanjima.
Sadržaj
1. Princip rada plazma mašine za jetkanje
2. Princip rada turbomolekularne pumpe
3. Primjena turbomolekularne pumpe u mašini za plazma jetkanje
4. Prednosti i ograničenja turbomolekularnih pumpi
5. Zaključak
1. Princip rada plazma mašine za graviranje:
Plazma nagrizač je alat za obradu materijala upotrebom plazme u vakuumskoj komori.Plazma je skup naelektrisanih čestica proizvedenih jonizacijom gasa.Gustoća i smjer kretanja plazme mogu se kontrolirati visokofrekventnim električnim ili magnetskim poljima.Tokom plazma jetkanja, plazma udara o površinu radnog materijala i podiže je ili erodira, stvarajući željenu strukturu.
Međutim, velika količina izduvnih gasova se stvara tokom plazma jetkanja.Ovi izduvni gasovi uključuju radne materijale i nečistoće u gasu itd., koje je potrebno izbaciti kroz vakuum sistem.Stoga je mašini za plazma nagrizanje potreban efikasan vakuumski sistem kako bi se osigurala stabilnost i tačnost procesa jetkanja.
2. Princip rada turbomolekularne pumpe:
Turbomolekularne pumpe su jedne od najčešće korišćenih pumpi velike brzine pumpanja u vakuum sistemima.Radi tako što vrti skup rotirajućih impelera velike brzine za ispumpavanje plina iz vakuumske komore i izbacivanje plina u atmosferu.U turbomolekularnoj pumpi, plin prvo ulazi u pomoćnu pumpu gdje se komprimira u područje visokog pritiska prije nego što se pošalje u turbomolekularnu pumpu.
U turbomolekularnoj pumpi gas se pumpa kroz rotirajuće impeler, dok se u molekularnoj pumpi gas razlaže na manje molekule.Turbomolekularne pumpe mogu osigurati visok vakuum, a njihova brzina pumpanja može doseći 500~6000 L/s.Za mašine za plazma nagrizanje koje zahtevaju visok vakuum, turbomolekularne pumpe su nezaobilazan deo.
3. Primjena turbomolekularne pumpe u mašini za plazma graviranje:
Turbomolekularne pumpe se široko koriste u mašinama za plazma jetkanje.U vakuumskom sistemu plazma mašine za jetkanje, turbomolekularna pumpa se obično koristi kao glavna pumpa za postizanje visokog vakuuma.Kada plazma udari u površinu, proizvodi veliku količinu ispušnih plinova, uključujući zaostale sirovine i produkte kemijske reakcije.Ovi izduvni gasovi se moraju brzo i efikasno ispumpati iz vakuumske komore kako bi se osigurala stabilnost i pouzdanost procesa plazma nagrizanja.
Velika brzina pumpanja i visok vakuum turbomolekularnih pumpi čine ih idealnim pumpama.U plazma bakraču, turbomolekularna pumpa se obično postavlja u zasebnu pumpnu jedinicu radi lakše kontrole vakuuma i pritiska.Istovremeno, radi zaštite turbomolekularne pumpe potrebno je ugraditi sloj mehaničke pumpe i ventil za redukciju tlaka ispred turbomolekularne pumpe kako bi se izbjegao preveliki pritisak i oštećenje turbomolekularne pumpe.
4. Prednosti i ograničenja turbomolekularnih pumpi:
Turbomolekularne pumpe imaju mnoge prednosti, poput velike brzine pumpanja, visokog vakuuma, niske buke i visoke pouzdanosti.Velika brzina pumpanja turbomolekularne pumpe može povećati stepen vakuuma, a u isto vrijeme može smanjiti vrijeme pumpanja, čime se povećava efikasnost proizvodnje.Nizak nivo buke i visoka pouzdanost turbomolekularne pumpe je takođe jedna od njenih prednosti, što znači da turbomolekularna pumpa može da održava efikasan rad tokom dužeg vremenskog perioda, smanjujući broj održavanja i zamene.
Međutim, turbomolekularne pumpe imaju i neka ograničenja, kao što je niska efikasnost pumpanja za određene plinove.Na primjer, turbomolekularne pumpe imaju nisku efikasnost ekstrakcije vodonika, a turbomolekularne pumpe također imaju određene zahtjeve za tlakom i temperaturom plina.Stoga je u praktičnim primjenama potrebno odabrati tip i radne parametre turbomolekularne pumpe prema specifičnoj situaciji kako bi se osigurao njen normalan i efikasan rad.
5. Zaključak:
U procesu proizvodnje poluvodiča, mašina za plazma jetkanje je jedna od veoma važnih opreme.U vakuumskom sistemu mašine za plazma jetkanje, turbomolekularna pumpa, kao glavna pumpa, igra vitalnu ulogu u postizanju visokog vakuuma i stabilnog procesa plazma jetkanja.Turbomolekularne pumpe imaju veliku brzinu pumpanja, visok vakuum, nisku razinu buke i optimizaciju za ispunjavanje viših tehničkih zahtjeva.
Uopšteno govoreći, uloga turbomolekularne pumpe u mašini za plazma jetkanje je nezamjenjiva.U industriji proizvodnje poluvodiča, turbomolekularna pumpa je postala jedna od neophodnih opreme, koja igra važnu ulogu u osiguravanju performansi i stabilnosti mašine za plazma jetkanje.Uz kontinuirani razvoj i napredak tehnologije poluvodiča, potražnja i obim upotrebe turbomolekularnih pumpi nastavit će se širiti.Stoga proizvođači turbomolekularnih pumpi moraju kontinuirano poboljšavati performanse i kvalitet proizvoda kako bi zadovoljili zahtjeve industrije proizvodnje poluvodiča za boljim performansama i stabilnijom opremom.
Obavijest o autorskim pravima:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. zagovara poštovanje i zaštitu prava intelektualne svojine i ukazuje na izvor članaka sa jasnim izvorima.Ako ustanovite da postoje problemi sa autorskim pravima ili drugi problemi u sadržaju ove web stranice, kontaktirajte nas kako bismo ih riješili.Kontakt informacije:marketing01@gpmcn.com
Vrijeme objave: 20.10.2023