Ann an gnìomhachas saothrachaidh semiconductor an latha an-diugh, tha plasma etcher agus pumpa turbomolecular nan dà phrìomh theicneòlas cudromach.Tha etcher plasma na inneal riatanach ann a bhith a’ dèanamh cho-phàirtean microelectronic, fhad ‘s a tha pumpa turbomolecular air a dhealbhadh airson falamh àrd agus astar pumpaidh àrd.Anns an aiste seo, bidh sinn a 'bruidhinn air an àite agus cudromachd turbomolecular pumpaichean ann plasma etchers.
Susbaint
1. Prionnsabal obrach inneal sgudail plasma
2. Prionnsabal obrach pumpa turbomolecular
3. Cur a-steach pumpa turbomolecular ann an inneal sgudail plasma
4. Buannachdan agus crìochan pumpaichean turbomolecular
5. Co-dhùnadh
1. Prionnsabal obrach inneal sgudail plasma:
Is e inneal a th’ ann an etcher plasma airson stuthan a ghiullachd le bhith a’ cleachdadh plasma ann an seòmar falamh.Tha plasma na chruinneachadh de ghràineanan air an toirt gu buil le ionization gas.Faodar smachd a chumail air dùmhlachd agus stiùireadh gluasad plasma le raointean dealain no magnetach àrd-tricead.Nuair a bhios e a ’lasadh plasma, bidh plasma a’ bualadh uachdar an stuth obrach agus ga thogail dheth no ga bhleith, a ’cruthachadh an structar a tha thu ag iarraidh.
Ach, thathas a’ gineadh tòrr gas fuasglaidh nuair a thathar a’ rùsgadh plasma.Tha na gasaichean fuadain sin a’ toirt a-steach stuthan obrach agus neo-chunbhalachd anns a’ ghas, msaa, a dh’ fheumar a sgaoileadh tron t-siostam falamh.Mar sin, feumaidh an inneal sgudail plasma siostam falamh èifeachdach gus dèanamh cinnteach à seasmhachd agus neo-mhearachdachd a’ phròiseas sìolachaidh.
2. Prionnsabal obrach pumpa turbomolecular:
Is e pumpaichean turbomolecular aon de na pumpaichean astar pumpaidh àrd as cumanta ann an siostaman falamh.Bidh e ag obair le bhith a’ snìomh seata de impellers rothlach àrd-astar gus an gas a phumpadh a-mach às an t-seòmar falamh agus an gas a chuir a-mach don àile.Ann am pumpa turbomolecular, bidh gas an-toiseach a’ dol a-steach do phump taic far a bheil e air a dhlùthadh a-steach do sgìre le cuideam àrd mus tèid a chuir chun phump turbomolecular.
Ann am pumpa turbomolecular, tha an gas air a phumpadh tro impeller rothlach, agus ann am pumpa moileciuil tha an gas air a bhriseadh sìos gu bhith na mholacilean nas lugha.Faodaidh pumpaichean Turbomolecular falamh àrd a thoirt seachad, agus faodaidh an astar pumpaidh aca ruighinn 500 ~ 6000 L / s.Airson innealan sgudail plasma a dh ’fheumas falamh àrd, tha pumpaichean turbomolecular nam pàirt riatanach.
3. Cur a-steach pumpa turbomolecular ann an inneal sgudail plasma:
Tha pumpaichean turbomolecular air an cleachdadh gu farsaing ann an innealan sgudail plasma.Anns an t-siostam falamh de inneal sìolachaidh plasma, mar as trice bidh pumpa turbomolecular air a chleachdadh mar phrìomh phump gus cuideachadh le bhith a ’coileanadh falamh àrd.Nuair a bhuaileas am plasma an uachdar, bidh e a’ toirt a-mach tòrr gas fuasglaidh, a’ toirt a-steach stuthan amh air fhàgail agus toraidhean ath-bhualadh ceimigeach.Feumar na gasaichean fuadain sin a phumpadh a-mach às an t-seòmar falamh gu sgiobalta agus gu h-èifeachdach gus dèanamh cinnteach à seasmhachd agus earbsachd a’ phròiseas sìolachaidh plasma.
Tha astar àrd pumpaidh agus falamh àrd de phumpaichean turbomolecular gan dèanamh nam pumpaichean air leth freagarrach.Ann an etcher plasma, mar as trice bidh am pumpa turbomolecular air a chuir ann an aonad pumpa air leth airson smachd furasta fhaighinn air falamh agus cuideam.Aig an aon àm, gus am pumpa turbomolecular a dhìon, feumar còmhdach de phump meacanaigeach agus bhalbhaichean lughdachadh cuideam a chuir air beulaibh a ’phump turbomolecular gus cus cuideam agus milleadh air a’ phump turbomolecular a sheachnadh.
4. Buannachdan agus crìochan pumpaichean turbomolecular:
Tha mòran bhuannachdan aig pumpaichean turbomolecular, leithid astar pumpaidh àrd, falamh àrd, fuaim ìosal, agus earbsachd àrd.Faodaidh astar pumpaidh àrd a ’phump turbomolecular àrdachadh air an ìre falamh, agus aig an aon àm faodaidh e an ùine pumpaidh a lughdachadh, agus mar sin a’ meudachadh èifeachdas toraidh.Tha fuaim ìosal agus earbsachd àrd a ’phump turbomolecular cuideachd mar aon de na buannachdan aige, a tha a’ ciallachadh gum faod am pumpa turbomolecular obrachadh èifeachdach a chumail airson ùine nas fhaide, a ’lughdachadh an àireamh de chumail suas agus ath-nuadhachadh.
Ach, tha cuid de chuingealachaidhean aig pumpaichean turbomolecular, leithid èifeachdas pumpaidh ìosal airson cuid de ghasaichean.Mar eisimpleir, tha èifeachdas às-tharraing ìosal aig pumpaichean turbomolecular airson hydrogen, agus tha riatanasan sònraichte aig pumpaichean turbomolecular airson cuideam gas agus teòthachd.Mar sin, ann an tagraidhean practaigeach, feumar seòrsa agus crìochan obrach a ’phump turbomolecular a thaghadh a rèir an t-suidheachaidh shònraichte gus dèanamh cinnteach gu bheil e ag obair àbhaisteach agus èifeachdach.
5.Conclusion:
Anns a ’phròiseas saothrachaidh semiconductor, is e an inneal sìolachaidh plasma aon de na h-innealan fìor chudromach.Ann an siostam falamh an inneal sìolachaidh plasma, tha pàirt deatamach aig a ’phump turbomolecular, mar am prìomh phump, ann a bhith a’ coileanadh pròiseas sìolachaidh plasma falamh àrd agus seasmhach.Tha astar pumpaidh àrd, falamh àrd, fuaim ìosal agus optimization aig pumpaichean Turbomolecular gus coinneachadh ri riatanasan teicnigeach nas àirde.
San fharsaingeachd, chan urrainnear àite a’ phump turbomolecular anns an inneal sìolachaidh plasma atharrachadh.Anns a ’ghnìomhachas saothrachaidh semiconductor, tha am pumpa turbomolecular air a thighinn gu bhith mar aon de na h-innealan riatanach, aig a bheil pàirt cudromach ann a bhith a’ dèanamh cinnteach à coileanadh agus seasmhachd an inneal sìolachaidh plasma.Le leasachadh leantainneach agus adhartas teicneòlas semiconductor, leanaidh iarrtas agus farsaingeachd cleachdadh phumpaichean turbomolecular a’ leudachadh.Mar sin, feumaidh luchd-saothrachaidh pumpa turbomolecular leasachadh leantainneach a dhèanamh air coileanadh agus càileachd toraidh gus coinneachadh ri iarrtas gnìomhachas saothrachaidh semiconductor airson coileanadh nas àirde agus uidheamachd nas seasmhaiche.
Sanas dlighe-sgrìobhaidh:
Tha GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Earranta a’ tagradh spèis agus dìon chòraichean seilbh inntleachdail agus a’ comharrachadh tùs artaigilean le stòran soilleir.Ma lorgas tu gu bheil dlighe-sgrìobhaidh no duilgheadasan eile ann an susbaint na làraich-lìn seo, nach cuir thu fios thugainn gus dèiligeadh ris.Fiosrachadh conaltraidh:marketing01@gpmcn.com
Ùine puist: Dàmhair-20-2023