En la hodiaŭa industrio de semikonduktaĵo, plasmogravurilo kaj turbomolekula pumpilo estas du gravaj ŝlosilaj teknologioj.Plasma gravurilo estas esenca ilo en la fabrikado de mikroelektronikaj komponentoj, dum turbomolekula pumpilo estas dizajnita por alta vakuo kaj alta pumpadrapideco.En ĉi tiu artikolo, ni diskutas la rolon kaj gravecon de turbomolekulaj pumpiloj en plasmogravuriloj.
Enhavo
1. Laboranta principo de plasma akvaforta maŝino
2. Funkcia principo de turbomolekula pumpilo
3. Apliko de turbomolekula pumpilo en plasma akvaforta maŝino
4. Avantaĝoj kaj limigoj de turbomolekulaj pumpiloj
5. Konkludo
1. Funkcia principo de plasma akvaforta maŝino:
Plasma gravurilo estas ilo por prilaborado de materialoj uzante plasmon en vakuoĉambro.Plasmo estas kolekto de ŝarĝitaj partikloj produktitaj per gasjonigo.La denseco kaj direkto de moviĝo de plasmo povas esti kontrolitaj per altfrekvencaj elektraj aŭ magnetaj kampoj.Dum plasma akvaforto, plasmo frapas la surfacon de la labormaterialo kaj levas ĝin aŭ erozias ĝin, kreante la deziratan strukturon.
Tamen, granda kvanto de ellasgaso estas generita dum plasma akvaforto.Ĉi tiuj ellasaj gasoj inkluzivas laborajn materialojn kaj malpuraĵojn en la gaso, ktp., kiuj devas esti eligitaj per la vakua sistemo.Sekve, la plasma akvaforta maŝino bezonas efikan vakuan sistemon por certigi la stabilecon kaj precizecon de la akvaforta procezo.
2. Funkcia principo de turbomolekula pumpilo:
Turbomolekulaj pumpiloj estas unu el la plej ofte uzataj altpumpa rapidecaj pumpiloj en vakusistemoj.Ĝi funkcias turnante aron da altrapidaj rotaciaj impulsiloj por pumpi la gason el la vakua ĉambro kaj forpeli la gason en la atmosferon.En turbomolekula pumpilo, gaso unue eniras apogpumpilon kie ĝi estas kunpremita en altpreman regionon antaŭ esti sendita al la turbomolekula pumpilo.
En turbomolekula pumpilo, la gaso estas pumpita tra rotacianta impulsilo, dum en molekula pumpilo la gaso estas rompita en pli malgrandajn molekulojn.Turbomolekulaj pumpiloj povas provizi altan vakuon, kaj ilia pumpada rapideco povas atingi 500~6000 L/s.Por plasma akvafortaj maŝinoj, kiuj postulas altan vakuon, turbomolekulaj pumpiloj estas nemalhavebla parto.
3. Apliko de turbomolekula pumpilo en plasma akvafortmaŝino:
Turbomolekulaj pumpiloj estas vaste uzitaj en plasma akvafortmaŝinoj.En la vakusistemo de plasma akvafortmaŝino, turbomolekula pumpilo estas kutime uzata kiel la ĉefa pumpilo por helpi atingi altan vakuon.Kiam la plasmo trafas la surfacon, ĝi produktas grandan kvanton da ellasgaso, inkluzive de restaj krudaĵoj kaj kemiaj reakciaj produktoj.Ĉi tiuj ellasgasoj devas esti pumpitaj el la vakua ĉambro rapide kaj efike por certigi la stabilecon kaj fidindecon de la plasma akvaforta procezo.
La alta pumpadrapideco kaj alta vakuo de turbomolekulaj pumpiloj igas ilin idealaj pumpiloj.En plasmogravurilo, la turbomolekula pumpilo estas kutime metita en apartan pumpunuon por facila kontrolo de vakuo kaj premo.Samtempe, por protekti la turbomolekulan pumpilon, necesas instali tavolon de mekanika pumpilo kaj premon reduktantan valvon antaŭ la turbomolekula pumpilo por eviti troan premon kaj damaĝon al la turbomolekula pumpilo.
4. Avantaĝoj kaj limigoj de turbomolekulaj pumpiloj:
Turbomolekulaj pumpiloj havas multajn avantaĝojn, kiel altan pumpan rapidon, altan vakuon, malaltan bruon kaj altan fidindecon.La alta pumpa rapido de la turbomolekula pumpilo povas pliigi la malplenan gradon, kaj samtempe povas redukti la pumpan tempon, tiel pliigante la produktan efikecon.La malalta bruo kaj alta fidindeco de la turbomolekula pumpilo ankaŭ estas unu el ĝiaj avantaĝoj, kio signifas, ke la turbomolekula pumpilo povas konservi efikan funkciadon dum pli longa tempo, reduktante la nombron de bontenado kaj anstataŭaĵo.
Tamen, turbomolekulaj pumpiloj ankaŭ havas kelkajn limigojn, kiel ekzemple malalta pumpefikeco por certaj gasoj.Ekzemple, turbomolekulaj pumpiloj havas malaltan ekstraktan efikecon por hidrogeno, kaj turbomolekulaj pumpiloj ankaŭ havas certajn postulojn por gaspremo kaj temperaturo.Tial, en praktikaj aplikoj, necesas elekti la tipon kaj laborajn parametrojn de la turbomolekula pumpilo laŭ la specifa situacio por certigi ĝian normalan kaj efikan funkciadon.
5.Konkludo:
En la procezo de fabrikado de semikonduktaĵoj, la plasma akvaforta maŝino estas unu el la tre gravaj ekipaĵoj.En la vakua sistemo de la plasma akvaforta maŝino, la turbomolekula pumpilo, kiel la ĉefa pumpilo, ludas esencan rolon por atingi altan vakuon kaj stabilan plasman akvafortan procezon.Turbomolekulaj pumpiloj havas altan pumpan rapidon, altan vakuon, malaltan bruon kaj optimumigon por plenumi pli altajn teknikajn postulojn.
Ĝenerale, la rolo de la turbomolekula pumpilo en la plasma akvafortmaŝino estas neanstataŭebla.En la industrio de semikonduktaĵo, la turbomolekula pumpilo fariĝis unu el la necesaj ekipaĵoj, kiu ludas gravan rolon por certigi la agadon kaj stabilecon de la plasma akvaforta maŝino.Kun la kontinua evoluo kaj progreso de duonkondukta teknologio, la postulo kaj amplekso de uzo de turbomolekulaj pumpiloj daŭre vastiĝos.Sekve, fabrikantoj de turbomolekulaj pumpiloj devas kontinue plibonigi produktan rendimenton kaj kvaliton por renkonti la postulon de la industrio de semikonduktaĵo pri pli alta rendimento kaj pli stabila ekipaĵo.
Avizo pri kopirajto:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. rekomendas respekton kaj protekton de rajtoj de intelekta proprieto kaj indikas la fonton de artikoloj kun klaraj fontoj.Se vi trovas ke estas kopirajto aŭ aliaj problemoj en la enhavo de ĉi tiu retejo, bonvolu kontakti nin por trakti ĝin.Kontakt-informoj:marketing01@gpmcn.com
Afiŝtempo: Oct-20-2023