Στη σημερινή βιομηχανία κατασκευής ημιαγωγών, η χάραξη πλάσματος και η στροβιλομοριακή αντλία είναι δύο σημαντικές βασικές τεχνολογίες.Η χάραξη πλάσματος είναι ένα απαραίτητο εργαλείο για την κατασκευή μικροηλεκτρονικών εξαρτημάτων, ενώ μια στροβιλομοριακή αντλία έχει σχεδιαστεί για υψηλό κενό και υψηλή ταχύτητα άντλησης.Σε αυτό το άρθρο, συζητάμε τον ρόλο και τη σημασία των στροβιλομοριακών αντλιών στους χαρακτήρες πλάσματος.
Περιεχόμενο
1. Αρχή λειτουργίας της μηχανής χάραξης πλάσματος
2. Αρχή λειτουργίας στροβιλομοριακής αντλίας
3. Εφαρμογή στροβιλομοριακής αντλίας σε μηχανή χάραξης πλάσματος
4. Πλεονεκτήματα και περιορισμοί των στροβιλομοριακών αντλιών
5. Συμπέρασμα
1. Αρχή λειτουργίας της μηχανής χάραξης πλάσματος:
Η χάραξη πλάσματος είναι ένα εργαλείο για την επεξεργασία υλικών με τη χρήση πλάσματος σε θάλαμο κενού.Το πλάσμα είναι μια συλλογή φορτισμένων σωματιδίων που παράγονται από ιονισμό αερίου.Η πυκνότητα και η κατεύθυνση της κίνησης του πλάσματος μπορούν να ελεγχθούν από ηλεκτρικά ή μαγνητικά πεδία υψηλής συχνότητας.Κατά τη χάραξη με πλάσμα, ένα πλάσμα χτυπά την επιφάνεια του υλικού εργασίας και το ανασηκώνει ή το διαβρώνει, δημιουργώντας την επιθυμητή δομή.
Ωστόσο, μια μεγάλη ποσότητα καυσαερίων παράγεται κατά τη χάραξη πλάσματος.Αυτά τα καυσαέρια περιλαμβάνουν υλικά εργασίας και ακαθαρσίες στο αέριο κ.λπ., τα οποία πρέπει να εκκενωθούν μέσω του συστήματος κενού.Επομένως, η μηχανή χάραξης πλάσματος χρειάζεται ένα αποτελεσματικό σύστημα κενού για να εξασφαλίσει τη σταθερότητα και την ακρίβεια της διαδικασίας χάραξης.
2. Αρχή λειτουργίας της στροβιλομοριακής αντλίας:
Οι στροβιλομοριακές αντλίες είναι μία από τις πιο συχνά χρησιμοποιούμενες αντλίες υψηλής ταχύτητας άντλησης σε συστήματα κενού.Λειτουργεί περιστρέφοντας ένα σετ περιστρεφόμενων φτερών υψηλής ταχύτητας για να αντλεί το αέριο έξω από τον θάλαμο κενού και να αποβάλλει το αέριο στην ατμόσφαιρα.Σε μια στροβιλομοριακή αντλία, το αέριο εισέρχεται πρώτα σε μια αντλία υποστήριξης όπου συμπιέζεται σε μια περιοχή υψηλής πίεσης πριν σταλεί στην στροβιλομοριακή αντλία.
Σε μια στροβιλομοριακή αντλία, το αέριο αντλείται μέσω μιας περιστρεφόμενης πτερωτής, ενώ σε μια μοριακή αντλία το αέριο διασπάται σε μικρότερα μόρια.Οι στροβιλομοριακές αντλίες μπορούν να παρέχουν υψηλό κενό και η ταχύτητα άντλησής τους μπορεί να φτάσει τα 500~6000 L/s.Για μηχανές χάραξης πλάσματος που απαιτούν υψηλό κενό, οι στροβιλομοριακές αντλίες είναι απαραίτητο μέρος.
3. Εφαρμογή της στροβιλομοριακής αντλίας στη μηχανή χάραξης πλάσματος:
Οι στροβιλομοριακές αντλίες χρησιμοποιούνται ευρέως σε μηχανές χάραξης πλάσματος.Στο σύστημα κενού μιας μηχανής χάραξης πλάσματος, μια στροβιλομοριακή αντλία χρησιμοποιείται συνήθως ως κύρια αντλία για να βοηθήσει στην επίτευξη υψηλού κενού.Όταν το πλάσμα χτυπά την επιφάνεια, παράγει μεγάλη ποσότητα καυσαερίων, συμπεριλαμβανομένων υπολειμματικών πρώτων υλών και προϊόντων χημικής αντίδρασης.Αυτά τα καυσαέρια πρέπει να αντληθούν γρήγορα και αποτελεσματικά από το θάλαμο κενού για να διασφαλιστεί η σταθερότητα και η αξιοπιστία της διαδικασίας χάραξης πλάσματος.
Η υψηλή ταχύτητα άντλησης και το υψηλό κενό των στροβιλομοριακών αντλιών τις καθιστούν ιδανικές αντλίες.Σε μια εγχάρακτη πλάσματος, η στροβιλομοριακή αντλία τοποθετείται συνήθως σε ξεχωριστή μονάδα αντλίας για εύκολο έλεγχο του κενού και της πίεσης.Ταυτόχρονα, για την προστασία της στροβιλομοριακής αντλίας, είναι απαραίτητο να τοποθετηθεί ένα στρώμα μηχανικής αντλίας και μια βαλβίδα μείωσης πίεσης μπροστά από την στροβιλομοριακή αντλία για να αποφευχθεί η υπερβολική πίεση και η ζημιά στην στροβιλομοριακή αντλία.
4. Πλεονεκτήματα και περιορισμοί των στροβιλομοριακών αντλιών:
Οι στροβιλομοριακές αντλίες έχουν πολλά πλεονεκτήματα, όπως υψηλή ταχύτητα άντλησης, υψηλό κενό, χαμηλό θόρυβο και υψηλή αξιοπιστία.Η υψηλή ταχύτητα άντλησης της στροβιλομοριακής αντλίας μπορεί να αυξήσει τον βαθμό κενού και ταυτόχρονα μπορεί να μειώσει τον χρόνο άντλησης, αυξάνοντας έτσι την απόδοση παραγωγής.Ο χαμηλός θόρυβος και η υψηλή αξιοπιστία της στροβιλομοριακής αντλίας είναι επίσης ένα από τα πλεονεκτήματά της, πράγμα που σημαίνει ότι η στροβιλομοριακή αντλία μπορεί να διατηρήσει αποτελεσματική λειτουργία για μεγαλύτερο χρονικό διάστημα, μειώνοντας τον αριθμό των εργασιών συντήρησης και αντικατάστασης.
Ωστόσο, οι στροβιλομοριακές αντλίες έχουν επίσης ορισμένους περιορισμούς, όπως χαμηλή απόδοση άντλησης για ορισμένα αέρια.Για παράδειγμα, οι στροβιλομοριακές αντλίες έχουν χαμηλή απόδοση εξαγωγής για το υδρογόνο και οι στροβιλομοριακές αντλίες έχουν επίσης ορισμένες απαιτήσεις για την πίεση και τη θερμοκρασία του αερίου.Ως εκ τούτου, σε πρακτικές εφαρμογές, είναι απαραίτητο να επιλέγουμε τον τύπο και τις παραμέτρους λειτουργίας της στροβιλομοριακής αντλίας σύμφωνα με τη συγκεκριμένη κατάσταση για να εξασφαλιστεί η κανονική και αποτελεσματική λειτουργία της.
5. Συμπέρασμα:
Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, η μηχανή χάραξης πλάσματος είναι ένας από τους πολύ σημαντικό εξοπλισμό.Στο σύστημα κενού της μηχανής χάραξης πλάσματος, η στροβιλομοριακή αντλία, ως κύρια αντλία, παίζει ζωτικό ρόλο στην επίτευξη υψηλού κενού και σταθερής διαδικασίας χάραξης πλάσματος.Οι στροβιλομοριακές αντλίες έχουν υψηλή ταχύτητα άντλησης, υψηλό κενό, χαμηλό θόρυβο και βελτιστοποίηση για την κάλυψη υψηλότερων τεχνικών απαιτήσεων.
Σε γενικές γραμμές, ο ρόλος της στροβιλομοριακής αντλίας στη μηχανή χάραξης πλάσματος είναι αναντικατάστατος.Στη βιομηχανία κατασκευής ημιαγωγών, η στροβιλομοριακή αντλία έχει γίνει ένας από τους απαραίτητους εξοπλισμούς, ο οποίος παίζει σημαντικό ρόλο στη διασφάλιση της απόδοσης και της σταθερότητας της μηχανής χάραξης πλάσματος.Με τη συνεχή ανάπτυξη και πρόοδο της τεχνολογίας ημιαγωγών, η ζήτηση και το εύρος χρήσης των στροβιλομοριακών αντλιών θα συνεχίσει να επεκτείνεται.Ως εκ τούτου, οι κατασκευαστές στροβιλομοριακών αντλιών πρέπει να βελτιώνουν συνεχώς την απόδοση και την ποιότητα των προϊόντων για να ικανοποιήσουν τη ζήτηση της βιομηχανίας ημιαγωγών για υψηλότερη απόδοση και πιο σταθερό εξοπλισμό.
Σημείωση πνευματικών δικαιωμάτων:
Η GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. υποστηρίζει το σεβασμό και την προστασία των δικαιωμάτων πνευματικής ιδιοκτησίας και υποδεικνύει την πηγή των άρθρων με σαφείς πηγές.Εάν διαπιστώσετε ότι υπάρχουν προβλήματα πνευματικών δικαιωμάτων ή άλλα προβλήματα στο περιεχόμενο αυτού του ιστότοπου, επικοινωνήστε μαζί μας για να το αντιμετωπίσουμε.Στοιχεία επικοινωνίας:marketing01@gpmcn.com
Ώρα δημοσίευσης: Οκτ-20-2023