Sa industriya sa paghimo sa semiconductor karon, ang plasma etcher ug turbomolecular pump duha ka hinungdanon nga yawe nga teknolohiya.Ang usa ka plasma etcher usa ka hinungdanon nga himan sa paghimo sa mga microelectronic nga sangkap, samtang ang usa ka turbomolecular pump gidisenyo alang sa taas nga vacuum ug taas nga katulin sa pumping.Niini nga artikulo, atong hisgotan ang papel ug importansya sa turbomolecular pumps sa plasma etchers.
Kontento
1. Prinsipyo sa pagtrabaho sa plasma etching machine
2. Prinsipyo sa pagtrabaho sa turbomolecular pump
3. Paggamit sa turbomolecular pump sa plasma etching machine
4. Mga bentaha ug mga limitasyon sa turbomolecular pump
5. Panapos
1. Prinsipyo sa pagtrabaho sa plasma etching machine:
Ang plasma etcher usa ka himan alang sa pagproseso sa mga materyales pinaagi sa paggamit sa plasma sa usa ka vacuum chamber.Ang plasma usa ka koleksyon sa mga gikargahan nga mga partikulo nga gihimo sa gas ionization.Ang densidad ug direksyon sa paglihok sa plasma mahimong makontrol sa high-frequency nga electric o magnetic field.Atol sa pag-ukit sa plasma, ang usa ka plasma mohapak sa nawong sa nagtrabaho nga materyal ug motangtang niini o moguba niini, nga makamugna sa gitinguha nga istruktura.
Bisan pa, daghang kantidad sa tambutso nga gas ang namugna sa panahon sa pag-ukit sa plasma.Kini nga mga tambutso nga gas naglakip sa nagtrabaho nga mga materyales ug mga hugaw sa gas, ug uban pa, nga kinahanglan nga i-discharge pinaagi sa vacuum system.Busa, ang plasma etching machine nanginahanglan usa ka episyente nga vacuum system aron masiguro ang kalig-on ug katukma sa proseso sa pag-ukit.
2. Prinsipyo sa pagtrabaho sa turbomolecular pump:
Ang Turbomolecular nga mga bomba mao ang usa sa labing kasagarang gigamit nga high pumping speed pump sa mga vacuum system.Naglihok kini pinaagi sa pagtuyok sa usa ka hugpong sa mga high-speed rotating impeller aron ibomba ang gas gikan sa vacuum chamber ug ipagawas ang gas ngadto sa atmospera.Sa usa ka turbomolecular pump, ang gas una nga mosulod sa usa ka backing pump diin kini gi-compress ngadto sa usa ka high-pressure nga rehiyon sa wala pa ipadala ngadto sa turbomolecular pump.
Sa usa ka turbomolecular pump, ang gas gibomba pinaagi sa usa ka rotating impeller, samtang sa usa ka molecular pump ang gas gibuak ngadto sa mas gagmay nga mga molekula.Ang turbomolecular nga mga bomba makahatag og taas nga vacuum, ug ang ilang pumping speed mahimong moabot sa 500 ~ 6000 L / s.Para sa plasma etching machines nga nanginahanglan ug taas nga vacuum, ang turbomolecular pump usa ka kinahanglanon nga bahin.
3. Paggamit sa turbomolecular pump sa plasma etching machine:
Ang turbomolecular pump kay kaylap nga gigamit sa plasma etching machines.Sa vacuum system sa usa ka plasma etching machine, ang usa ka turbomolecular pump kasagarang gigamit isip main pump aron makatabang sa pagkab-ot sa taas nga vacuum.Kung ang plasma naigo sa ibabaw, kini nagpatunghag daghang kantidad sa tambutso nga gas, lakip ang nahabilin nga hilaw nga materyales ug mga produkto sa reaksyon sa kemikal.Kini nga mga tambutso nga gas kinahanglan nga ibomba gikan sa vacuum chamber nga dali ug episyente aron masiguro ang kalig-on ug kasaligan sa proseso sa pag-ukit sa plasma.
Ang taas nga pumping speed ug taas nga vacuum sa turbomolecular nga mga bomba naghimo kanila nga maayo nga mga bomba.Sa usa ka plasma etcher, ang turbomolecular pump kasagarang gibutang sa usa ka separado nga pump unit para dali nga makontrol ang vacuum ug pressure.Sa samang higayon, aron mapanalipdan ang turbomolecular pump, gikinahanglan ang pag-instalar sa usa ka layer sa mechanical pump ug usa ka pressure nga pagkunhod sa balbula sa atubangan sa turbomolecular pump aron malikayan ang sobra nga presyur ug kadaot sa turbomolecular pump.
4. Mga bentaha ug mga limitasyon sa turbomolecular pump:
Ang turbomolecular nga mga bomba adunay daghang mga bentaha, sama sa taas nga pumping speed, taas nga vacuum, ubos nga kasaba, ug taas nga kasaligan.Ang taas nga pumping speed sa turbomolecular pump makadugang sa vacuum degree, ug sa samang higayon makapakunhod sa oras sa pumping, sa ingon nagdugang sa produksyon nga kahusayan.Ang ubos nga kasaba ug taas nga kasaligan sa turbomolecular pump usa usab sa mga bentaha niini, nga nagpasabot nga ang turbomolecular pump makapadayon sa episyente nga operasyon sa mas taas nga panahon, nga makunhuran ang gidaghanon sa pagmentinar ug pag-ilis.
Bisan pa, ang mga turbomolecular nga bomba usab adunay pipila ka mga limitasyon, sama sa ubos nga pumping efficiency alang sa pipila ka mga gas.Pananglitan, ang mga turbomolecular nga bomba adunay ubos nga kahusayan sa pagkuha alang sa hydrogen, ug ang mga turbomolecular nga bomba usab adunay piho nga mga kinahanglanon alang sa presyur sa gas ug temperatura.Busa, sa praktikal nga mga aplikasyon, gikinahanglan ang pagpili sa tipo ug pagtrabaho nga mga parameter sa turbomolecular pump sumala sa piho nga sitwasyon aron maseguro ang normal ug episyente nga operasyon niini.
5. Panapos:
Sa proseso sa paghimo sa semiconductor, ang plasma etching machine usa sa labing hinungdanon nga kagamitan.Sa vacuum nga sistema sa plasma etching machine, ang turbomolecular pump, isip nag-unang bomba, adunay importante nga papel sa pagkab-ot sa taas nga vacuum ug stable nga plasma etching nga proseso.Ang mga turbomolecular pump adunay taas nga pumping speed, taas nga vacuum, ubos nga kasaba ug pag-optimize aron matubag ang mas taas nga teknikal nga mga kinahanglanon.
Sa kinatibuk-an, ang papel sa turbomolecular pump sa plasma etching machine dili mapulihan.Sa industriya sa paghimo sa semiconductor, ang turbomolecular pump nahimong usa sa mga kinahanglanon nga kagamitan, nga adunay hinungdanon nga papel sa pagsiguro sa pasundayag ug kalig-on sa plasma etching machine.Sa padayon nga pag-uswag ug pag-uswag sa teknolohiya sa semiconductor, ang panginahanglan ug kasangkaran sa paggamit sa mga turbomolecular pump magpadayon sa pagpalapad.Busa, ang mga tiggama sa turbomolecular pump kinahanglan nga padayon nga mapauswag ang performance ug kalidad sa produkto aron matubag ang panginahanglan sa industriya sa semiconductor alang sa mas taas nga performance ug mas lig-on nga kagamitan.
Pahibalo sa copyright:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. nagpasiugda sa pagtahod ug pagpanalipod sa mga katungod sa intelektwal nga kabtangan ug nagpakita sa tinubdan sa mga artikulo nga adunay klaro nga mga tinubdan.Kung nahibal-an nimo nga adunay copyright o uban pang mga problema sa sulud sa kini nga website, palihug kontaka kami aron masulbad kini.Impormasyon sa kontak:marketing01@gpmcn.com
Oras sa pag-post: Okt-20-2023