Di pîşesaziya hilberîna nîvconductorê ya îroyîn de, pîvaza plazmayê û pompeya turbomolecular du teknolojiyên girîng ên girîng in.Etcher plasma di çêkirina hêmanên mîkroelektronîkî de amûrek bingehîn e, dema ku pompek turbomolecular ji bo valahiya bilind û leza pompkirina bilind hatî çêkirin.Di vê gotarê de, em li ser rol û girîngiya pompeyên turbomolekulî di etterên plazmayê de nîqaş dikin.
Dilşad
1. Prensîba xebatê ya makîneya etching plasma
2. Prensîba xebatê ya pompeya turbomolecular
3. Serîlêdana pompeya turbomolecular di makîneya etching plasma de
4. Awantaj û sînorên pompeyên turbomolecular
5. Encam
1. Prensîba xebatê ya makîneya etching plasma:
Etcher plasma amûrek e ji bo hilberandina materyalan bi karanîna plazmayê di jûreyek valahiya de.Plasma berhevoka pariyên barkirî ye ku bi îyonîzasyona gazê têne hilberandin.Zêdebûn û rêça tevgera plazmayê dikare ji hêla qadên elektrîkî an magnetîkî yên frekansa bilind ve were kontrol kirin.Di dema pîskirina plazmayê de, plazmayek li ser rûbera materyalê kar dike û wê hildiweşîne an jî dişewitîne, avahiyek xwestî diafirîne.
Lêbelê, di dema pîvazkirina plazmayê de rêjeyek mezin gaza derzê çêdibe.Di nav van gazên eksê de materyalên xebatê û nepaqijiyên di gazê de, û hwd., ku hewce ne ku bi pergala valahiya ve werin derxistin hene.Ji ber vê yekê, makîneya etching ya plazmayê pêdivî bi pergalek valahiya bikêr heye da ku aramî û rastbûna pêvajoya eçkirinê peyda bike.
2. Prensîba xebatê ya pompeya turbomolecular:
Pompeyên turbomolekular yek ji wan pompeyên bilez ên pompkirina bilind ên ku di pergalên valahiya herî gelemperî de têne bikar anîn in.Ew bi zivirîna komek pêlên zivirî yên bi lez û bez kar dike da ku gazê ji odeya valahiyê derxe û gazê derxe atmosferê.Di pompek turbomolekular de, gaz pêşî dikeve nav pompek piştgiriyê ku li deverek tansiyona bilind tê pêçan berî ku were şandin bo pompeya turbomolekular.
Di pompek turbomolekular de, gaz di nav pêleka zivirî de tê pompekirin, lê di pompek molekular de gaz di molekulên piçûktir de tê perçe kirin.Pompeyên turbomolekular dikarin valahiya bilind peyda bikin, û leza pompkirina wan dikare bigihîje 500 ~ 6000 L / s.Ji bo makîneyên etching plasma yên ku hewceyê valahiya zêde hewce dikin, pompeyên turbomolecular parçeyek domdar in.
3. Serîlêdana pompeya turbomolecular di makîneya etching plasma de:
Pompeyên turbomolekulî bi berfirehî di makîneyên etching plasma de têne bikar anîn.Di pergala valahiya makîneyek etching a plazmayê de, pompek turbomolekular bi gelemperî wekî pompeya sereke tê bikar anîn da ku bibe alîkar ku bigihîje valahiya bilind.Dema ku plazma li rûxê dikeve, ew mîqdarek mezin gaza eksozê hildiberîne, tevî madeyên xav ên mayî û hilberên reaksiyona kîmyewî.Pêdivî ye ku ev gazên eksê bi lez û bez ji jûreya valahiya were derxistin da ku aramî û pêbaweriya pêvajoya pîvazkirina plazmayê misoger bike.
Leza pompkirina bilind û valahiya zêde ya pompeyên turbomolekular wan pompeyên îdeal dike.Di eçerek plazmayê de, pompeya turbomolekular bi gelemperî di yekîneyek pompek cihêreng de ji bo kontrolkirina hêsan a valahiya û zextê tê danîn.Di heman demê de, ji bo parastina pompeya turbomolekulî, pêdivî ye ku li ber pompeya turbomolekular qatek pompeya mekanîkî û valvek kêmkirina zextê were saz kirin da ku ji zexta zêde û zirarê li pompeya turbomolekular dûr nekevin.
4. Awantaj û sînorên pompeyên turbomolecular:
Pompeyên turbomolekular gelek avantajên xwe hene, wek leza pompkirina bilind, valahiya bilind, deng kêm, û pêbaweriya bilind.Leza pompkirina bilind a pompeya turbomolekuler dikare pileya valahiya zêde bike, û di heman demê de dikare dema pompkirinê kêm bike, bi vî rengî berbi hilberînê zêde bike.Dengê kêm û pêbaweriya bilind a pompeya turbomolekular jî yek ji avantajên wê ye, ku tê vê wateyê ku pompeya turbomolekuler dikare ji bo demek dirêjtir xebata bikêr bidomîne, hejmara lênihêrîn û veguheztinê kêm bike.
Lêbelê, pompeyên turbomolecular jî hin sînor hene, wek mînak ji bo hin gazan karbidestiya pompkirina kêm.Mînakî, pompeyên turbomolekulî ji bo hîdrojenê karbidestiya derxistina hindik e, û pompeyên turbomolekular jî ji bo zext û germahiya gazê hin hewcedariyên wan hene.Ji ber vê yekê, di serîlêdanên pratîkî de, pêdivî ye ku celeb û pîvanên xebatê yên pompeya turbomolecular li gorî rewşa taybetî hilbijêrin da ku xebata wê ya normal û bikêr were misoger kirin.
5. Encam:
Di pêvajoya çêkirina nîvconductor de, makîneya etching plasma yek ji alavên pir girîng e.Di pergala valahiya makîneya pîskirina plazmayê de, pompeya turbomolecular, wekî pompeya sereke, di bidestxistina valahiya bilind û pêvajoyek pêvekirina plazmayê ya domdar de rolek girîng dilîze.Pompeyên turbomolecular xwedan leza pompkirina bilind, valahiya bilind, deng kêm û xweşbîn e ku daxwazên teknîkî yên bilind bicîh bîne.
Bi gelemperî, rola pompeya turbomolecular di makîneya pîvazkirina plazmayê de neguherbar e.Di pîşesaziya hilberîna nîv-conductor de, pompeya turbomolecular bûye yek ji alavên pêwîst, ku di dabînkirina performans û aramiya makîneya etchinga plazmayê de rolek girîng dilîze.Bi pêşkeftin û pêşkeftina domdar a teknolojiya nîvconductor re, dê daxwaz û qada karanîna pompeyên turbomolecular berfireh bibe.Ji ber vê yekê, hilberînerên pompeya turbomolecular pêdivî ye ku bi domdarî performansa hilber û kalîteyê baştir bikin da ku daxwaziya pîşesaziya hilberîna nîvconductor ya ji bo performansa bilindtir û alavên aramtir bicîh bînin.
Daxuyaniya mafê mafnasiyê:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. rêzgirtin û parastina mafên milkiyeta rewşenbîrî diparêze û çavkaniya gotaran bi çavkaniyên zelal destnîşan dike.Heke hûn dibînin ku di naveroka vê malperê de mafên copyright an pirsgirêkên din hene, ji kerema xwe bi me re têkilî daynin da ku bi wê re mijûl bibin.Agahiyên têkiliyê:marketing01@gpmcn.com
Dema şandinê: Oct-20-2023