Šiandieninėje puslaidininkių gamybos pramonėje plazminis ėsdinimo įrenginys ir turbomolekulinis siurblys yra dvi svarbios technologijos.Plazminis ėsdinimo aparatas yra būtinas įrankis gaminant mikroelektroninius komponentus, o turbomolekulinis siurblys yra skirtas dideliam vakuumui ir dideliam siurbimo greičiui.Šiame straipsnyje aptariame turbomolekulinių siurblių vaidmenį ir svarbą plazmos ėsdintuvuose.
Turinys
1. Plazminio ėsdinimo mašinos veikimo principas
2. Turbomolekulinio siurblio veikimo principas
3. Turbomolekulinio siurblio taikymas plazminio ėsdinimo mašinoje
4. Turbomolekulinių siurblių privalumai ir apribojimai
5. Išvada
1. Plazminio ėsdinimo mašinos veikimo principas:
Plazminis ėsdinimo aparatas yra įrankis, skirtas medžiagoms apdoroti naudojant plazmą vakuuminėje kameroje.Plazma yra įkrautų dalelių, susidarančių dujų jonizacijos būdu, rinkinys.Plazmos tankį ir judėjimo kryptį galima valdyti aukšto dažnio elektriniais arba magnetiniais laukais.Plazminio ėsdinimo metu plazma atsitrenkia į darbinės medžiagos paviršių ir ją pakelia arba ardo, sukurdama norimą struktūrą.
Tačiau plazminio ėsdinimo metu susidaro daug išmetamųjų dujų.Šios išmetamosios dujos apima darbines medžiagas ir dujose esančias priemaišas ir kt., kurias reikia išleisti per vakuuminę sistemą.Todėl, norint užtikrinti ėsdinimo proceso stabilumą ir tikslumą, plazminiam ėsdinimo aparatui reikalinga efektyvi vakuuminė sistema.
2. Turbomolekulinio siurblio veikimo principas:
Turbomolekuliniai siurbliai yra vieni dažniausiai vakuuminėse sistemose naudojamų didelio siurbimo greičio siurblių.Jis veikia sukdamas dideliu greičiu besisukančių sparnuočių rinkinį, kad išpumpuotų dujas iš vakuuminės kameros ir išstumtų dujas į atmosferą.Turbomolekuliniame siurblyje dujos pirmiausia patenka į atraminį siurblį, kur suspaudžiamos į aukšto slėgio sritį, o po to siunčiamos į turbomolekulinį siurblį.
Turbomolekuliniame siurblyje dujos pumpuojamos per besisukantį sparnuotės ratą, o molekuliniame siurblyje dujos suskaidomos į mažesnes molekules.Turbomolekuliniai siurbliai gali užtikrinti didelį vakuumą, o jų siurbimo greitis gali siekti 500–6000 l/s.Plazminio ėsdinimo mašinose, kurioms reikalingas didelis vakuumas, turbomolekuliniai siurbliai yra nepakeičiama dalis.
3. Turbomolekulinio siurblio taikymas plazminio ėsdinimo mašinoje:
Turbomolekuliniai siurbliai plačiai naudojami plazminio ėsdinimo mašinose.Plazminio ėsdinimo mašinos vakuuminėje sistemoje turbomolekulinis siurblys paprastai naudojamas kaip pagrindinis siurblys, padedantis pasiekti aukštą vakuumą.Kai plazma patenka į paviršių, ji išskiria didelį kiekį išmetamųjų dujų, įskaitant žaliavų likučius ir cheminių reakcijų produktus.Norint užtikrinti plazminio ėsdinimo proceso stabilumą ir patikimumą, šias išmetamąsias dujas reikia greitai ir efektyviai išpumpuoti iš vakuuminės kameros.
Dėl didelio siurbimo greičio ir didelio vakuumo turbomolekuliniai siurbliai yra idealūs siurbliai.Plazminiame ėsdintuve turbomolekulinis siurblys paprastai dedamas į atskirą siurblio bloką, kad būtų lengva valdyti vakuumą ir slėgį.Tuo pačiu, siekiant apsaugoti turbomolekulinį siurblį, prieš turbomolekulinį siurblį būtina sumontuoti mechaninio siurblio sluoksnį ir slėgio mažinimo vožtuvą, kad būtų išvengta per didelio slėgio ir turbomolekulinio siurblio pažeidimo.
4. Turbomolekulinių siurblių privalumai ir apribojimai:
Turbomolekuliniai siurbliai turi daug privalumų, tokių kaip didelis siurbimo greitis, didelis vakuumas, mažas triukšmas ir didelis patikimumas.Didelis turbomolekulinio siurblio siurbimo greitis gali padidinti vakuumo laipsnį ir tuo pačiu sumažinti siurbimo laiką, taip padidindamas gamybos efektyvumą.Mažas turbomolekulinio siurblio triukšmas ir didelis patikimumas taip pat yra vienas iš jo privalumų, o tai reiškia, kad turbomolekulinis siurblys gali išlaikyti efektyvų veikimą ilgesnį laiką, sumažinant priežiūros ir keitimo skaičių.
Tačiau turbomolekuliniai siurbliai taip pat turi tam tikrų apribojimų, pavyzdžiui, mažas tam tikrų dujų siurbimo efektyvumas.Pavyzdžiui, turbomolekuliniai siurbliai turi žemą vandenilio ištraukimo efektyvumą, o turbomolekuliniams siurbliams taip pat keliami tam tikri dujų slėgio ir temperatūros reikalavimai.Todėl praktikoje turbomolekulinio siurblio tipą ir darbo parametrus būtina parinkti pagal konkrečią situaciją, kad būtų užtikrintas normalus ir efektyvus jo veikimas.
5. Išvada:
Puslaidininkių gamybos procese plazminė ėsdinimo mašina yra viena iš labai svarbių įrenginių.Plazminio ėsdinimo mašinos vakuuminėje sistemoje turbomolekulinis siurblys, kaip pagrindinis siurblys, atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį siekiant didelio vakuumo ir stabilaus plazminio ėsdinimo proceso.Turbomolekuliniai siurbliai pasižymi dideliu siurbimo greičiu, dideliu vakuumu, mažu triukšmu ir optimizavimu, kad atitiktų aukštesnius techninius reikalavimus.
Paprastai tariant, turbomolekulinio siurblio vaidmuo plazminio ėsdinimo mašinoje yra nepakeičiamas.Puslaidininkių gamybos pramonėje turbomolekulinis siurblys tapo viena iš būtinų įrenginių, kurie atlieka svarbų vaidmenį užtikrinant plazminio ėsdinimo mašinos veikimą ir stabilumą.Nuolat tobulėjant ir tobulėjant puslaidininkių technologijoms, turbomolekulinių siurblių paklausa ir panaudojimo mastas ir toliau didės.Todėl turbomolekulinių siurblių gamintojai turi nuolat gerinti gaminio našumą ir kokybę, kad atitiktų puslaidininkių gamybos pramonės poreikius dėl didesnio našumo ir stabilesnės įrangos.
Autorių teisių pranešimas:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. pasisako už pagarbą intelektinės nuosavybės teisėms ir jų apsaugą bei nurodo straipsnių šaltinį su aiškiais šaltiniais.Jei pastebėsite, kad šios svetainės turinyje yra autorių teisių ar kitų problemų, susisiekite su mumis, kad tai išspręstume.Kontaktinė informacija:marketing01@gpmcn.com
Paskelbimo laikas: 2023-10-20