În industria de astăzi a producției de semiconductori, gravatorul cu plasmă și pompa turbomoleculară sunt două tehnologii cheie importante.Un gravator cu plasmă este un instrument esențial în fabricarea componentelor microelectronice, în timp ce o pompă turbomoleculară este proiectată pentru vid ridicat și viteză mare de pompare.În acest articol, discutăm despre rolul și importanța pompelor turbomoleculare în gravatoarele cu plasmă.
Conţinut
1. Principiul de funcționare al mașinii de gravare cu plasmă
2. Principiul de funcționare al pompei turbomoleculare
3. Aplicarea pompei turbomoleculare în mașina de gravare cu plasmă
4. Avantajele și limitările pompelor turbomoleculare
5. Concluzie
1. Principiul de funcționare al mașinii de gravare cu plasmă:
Un gravator cu plasmă este un instrument pentru prelucrarea materialelor prin utilizarea plasmei într-o cameră cu vid.Plasma este o colecție de particule încărcate produse prin ionizarea gazului.Densitatea și direcția de mișcare a plasmei pot fi controlate de câmpuri electrice sau magnetice de înaltă frecvență.În timpul gravării cu plasmă, o plasmă lovește suprafața materialului de lucru și o ridică sau o erodează, creând structura dorită.
Cu toate acestea, o cantitate mare de gaze de evacuare este generată în timpul gravării cu plasmă.Aceste gaze de evacuare includ materiale de lucru și impurități din gaz etc., care trebuie evacuate prin sistemul de vid.Prin urmare, mașina de gravare cu plasmă are nevoie de un sistem eficient de vid pentru a asigura stabilitatea și acuratețea procesului de gravare.
2. Principiul de funcționare al pompei turbomoleculare:
Pompele turbomoleculare sunt una dintre cele mai frecvent utilizate pompe cu viteză mare de pompare în sistemele de vid.Funcționează prin rotirea unui set de rotoare rotative de mare viteză pentru a pompa gazul din camera de vid și a expulza gazul în atmosferă.Într-o pompă turbomoleculară, gazul intră mai întâi într-o pompă de rezervă unde este comprimat într-o regiune de înaltă presiune înainte de a fi trimis la pompa turbomoleculară.
Într-o pompă turbomoleculară, gazul este pompat printr-un rotor rotativ, în timp ce într-o pompă moleculară gazul este descompus în molecule mai mici.Pompele turbomoleculare pot oferi vid ridicat, iar viteza lor de pompare poate atinge 500~6000 L/s.Pentru mașinile de gravat cu plasmă care necesită vid înalt, pompele turbomoleculare sunt o parte indispensabilă.
3. Aplicarea pompei turbomoleculare în mașina de gravat cu plasmă:
Pompele turbomoleculare sunt utilizate pe scară largă în mașinile de gravat cu plasmă.În sistemul de vid al unei mașini de gravat cu plasmă, o pompă turbomoleculară este de obicei utilizată ca pompă principală pentru a ajuta la obținerea vidului înalt.Când plasma atinge suprafața, produce o cantitate mare de gaze de eșapament, inclusiv materii prime reziduale și produse de reacție chimică.Aceste gaze de evacuare trebuie să fie pompate din camera de vid rapid și eficient pentru a asigura stabilitatea și fiabilitatea procesului de gravare cu plasmă.
Viteza mare de pompare și vidul mare ale pompelor turbomoleculare le fac pompe ideale.Într-un gravator cu plasmă, pompa turbomoleculară este de obicei plasată într-o unitate de pompă separată pentru un control ușor al vidului și presiunii.În același timp, pentru a proteja pompa turbomoleculară, este necesar să instalați un strat de pompă mecanică și o supapă de reducere a presiunii în fața pompei turbomoleculare pentru a evita presiunea excesivă și deteriorarea pompei turbomoleculare.
4. Avantajele și limitările pompelor turbomoleculare:
Pompele turbomoleculare au multe avantaje, cum ar fi viteza mare de pompare, vid ridicat, zgomot redus și fiabilitate ridicată.Viteza mare de pompare a pompei turbomoleculare poate crește gradul de vid și, în același timp, poate reduce timpul de pompare, crescând astfel eficiența producției.Zgomotul redus și fiabilitatea ridicată a pompei turbomoleculare este, de asemenea, unul dintre avantajele acesteia, ceea ce înseamnă că pompa turbomoleculară poate menține funcționarea eficientă pentru o perioadă mai lungă de timp, reducând numărul de întreținere și înlocuire.
Cu toate acestea, pompele turbomoleculare au și unele limitări, cum ar fi eficiența scăzută de pompare pentru anumite gaze.De exemplu, pompele turbomoleculare au o eficiență scăzută de extracție a hidrogenului, iar pompele turbomoleculare au și anumite cerințe pentru presiunea și temperatura gazului.Prin urmare, în aplicațiile practice, este necesar să se selecteze tipul și parametrii de lucru ai pompei turbomoleculare în funcție de situația specifică pentru a asigura funcționarea ei normală și eficientă.
5. Concluzie:
În procesul de fabricație a semiconductorilor, mașina de gravat cu plasmă este unul dintre echipamentele foarte importante.În sistemul de vid al mașinii de gravare cu plasmă, pompa turbomoleculară, ca pompă principală, joacă un rol vital în realizarea unui vid ridicat și a unui proces stabil de gravare cu plasmă.Pompele turbomoleculare au viteză mare de pompare, vid ridicat, zgomot redus și optimizare pentru a îndeplini cerințele tehnice mai ridicate.
În general, rolul pompei turbomoleculare în mașina de gravat cu plasmă este de neînlocuit.În industria producției de semiconductori, pompa turbomoleculară a devenit unul dintre echipamentele necesare, care joacă un rol important în asigurarea performanței și stabilității mașinii de gravare cu plasmă.Odată cu dezvoltarea continuă și progresul tehnologiei semiconductoarelor, cererea și domeniul de utilizare a pompelor turbomoleculare vor continua să se extindă.Prin urmare, producătorii de pompe turbomoleculare trebuie să îmbunătățească continuu performanța și calitatea produsului pentru a satisface cererea industriei producătoare de semiconductori pentru performanțe mai mari și echipamente mai stabile.
Notificare privind drepturile de autor:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. pledează pentru respectarea și protecția drepturilor de proprietate intelectuală și indică sursa articolelor cu surse clare.Dacă descoperiți că există drepturi de autor sau alte probleme în conținutul acestui site web, vă rugăm să ne contactați pentru a le rezolva.Informații de contact:marketing01@gpmcn.com
Ora postării: Oct-20-2023