आज के सेमीकंडक्टर विनिर्माण उद्योग में, प्लाज्मा एचर और टर्बोमोलेक्यूलर पंप दो महत्वपूर्ण प्रमुख प्रौद्योगिकियां हैं।प्लाज़्मा एचर माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक घटकों के निर्माण में एक आवश्यक उपकरण है, जबकि एक टर्बोमोलेक्यूलर पंप उच्च वैक्यूम और उच्च पंपिंग गति के लिए डिज़ाइन किया गया है।इस लेख में, हम प्लाज्मा एचर्स में टर्बोमोलेक्यूलर पंपों की भूमिका और महत्व पर चर्चा करते हैं।
सामग्री
1. प्लाज्मा नक़्क़ाशी मशीन का कार्य सिद्धांत
2. टर्बोमोलेक्यूलर पंप का कार्य सिद्धांत
3. प्लाज्मा नक़्क़ाशी मशीन में टर्बोमोलेक्यूलर पंप का अनुप्रयोग
4. टर्बोमोलेक्यूलर पंप के फायदे और सीमाएं
5। उपसंहार
1. प्लाज्मा नक़्क़ाशी मशीन का कार्य सिद्धांत:
प्लाज़्मा एचर निर्वात कक्ष में प्लाज़्मा का उपयोग करके सामग्री के प्रसंस्करण के लिए एक उपकरण है।प्लाज्मा गैस आयनीकरण द्वारा उत्पन्न आवेशित कणों का एक संग्रह है।प्लाज्मा के घनत्व और गति की दिशा को उच्च आवृत्ति वाले विद्युत या चुंबकीय क्षेत्रों द्वारा नियंत्रित किया जा सकता है।प्लाज़्मा नक़्क़ाशी के दौरान, एक प्लाज़्मा कार्यशील सामग्री की सतह से टकराता है और उसे ऊपर उठा देता है या उसे नष्ट कर देता है, जिससे वांछित संरचना बन जाती है।
हालाँकि, प्लाज्मा नक़्क़ाशी के दौरान बड़ी मात्रा में निकास गैस उत्पन्न होती है।इन निकास गैसों में कार्यशील सामग्री और गैस में अशुद्धियाँ आदि शामिल हैं, जिन्हें वैक्यूम सिस्टम के माध्यम से छुट्टी देने की आवश्यकता होती है।इसलिए, नक़्क़ाशी प्रक्रिया की स्थिरता और सटीकता सुनिश्चित करने के लिए प्लाज्मा नक़्क़ाशी मशीन को एक कुशल वैक्यूम प्रणाली की आवश्यकता होती है।
2. टर्बोमोलेक्यूलर पंप का कार्य सिद्धांत:
टर्बोमोलेक्यूलर पंप वैक्यूम सिस्टम में सबसे अधिक इस्तेमाल किए जाने वाले उच्च पंपिंग स्पीड पंपों में से एक हैं।यह निर्वात कक्ष से गैस को पंप करने और वायुमंडल में गैस को बाहर निकालने के लिए उच्च गति वाले घूर्णन प्ररित करने वालों के एक सेट को घुमाकर काम करता है।टर्बोमोलेक्यूलर पंप में, गैस सबसे पहले एक बैकिंग पंप में प्रवेश करती है जहां टर्बोमोलेक्यूलर पंप में भेजे जाने से पहले इसे उच्च दबाव वाले क्षेत्र में संपीड़ित किया जाता है।
टर्बोमोलेक्यूलर पंप में, गैस को घूमने वाले प्ररित करनेवाला के माध्यम से पंप किया जाता है, जबकि आणविक पंप में गैस छोटे अणुओं में टूट जाती है।टर्बोमोलेक्यूलर पंप उच्च वैक्यूम प्रदान कर सकते हैं, और उनकी पंपिंग गति 500~6000 L/s तक पहुंच सकती है।प्लाज्मा नक़्क़ाशी मशीनों के लिए जिन्हें उच्च वैक्यूम की आवश्यकता होती है, टर्बोमोलेक्यूलर पंप एक अनिवार्य हिस्सा हैं।
3. प्लाज्मा नक़्क़ाशी मशीन में टर्बोमोलेक्यूलर पंप का अनुप्रयोग:
प्लाज्मा नक़्क़ाशी मशीनों में टर्बोमोलेक्यूलर पंपों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।प्लाज्मा नक़्क़ाशी मशीन के वैक्यूम सिस्टम में, उच्च वैक्यूम प्राप्त करने में मदद के लिए आमतौर पर एक टर्बोमोलेक्यूलर पंप का उपयोग मुख्य पंप के रूप में किया जाता है।जब प्लाज्मा सतह से टकराता है, तो यह बड़ी मात्रा में निकास गैस पैदा करता है, जिसमें अवशिष्ट कच्चे माल और रासायनिक प्रतिक्रिया उत्पाद शामिल हैं।प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रक्रिया की स्थिरता और विश्वसनीयता सुनिश्चित करने के लिए इन निकास गैसों को निर्वात कक्ष से जल्दी और कुशलता से पंप करने की आवश्यकता होती है।
टर्बोमोलेक्यूलर पंपों की उच्च पंपिंग गति और उच्च वैक्यूम उन्हें आदर्श पंप बनाते हैं।प्लाज़्मा एचर में, वैक्यूम और दबाव के आसान नियंत्रण के लिए टर्बोमोलेक्यूलर पंप को आमतौर पर एक अलग पंप इकाई में रखा जाता है।साथ ही, टर्बोमोलेक्यूलर पंप की सुरक्षा के लिए टर्बोमोलेक्यूलर पंप के सामने मैकेनिकल पंप की एक परत और दबाव कम करने वाले वाल्व को स्थापित करना आवश्यक है ताकि टर्बोमोलेक्यूलर पंप पर अत्यधिक दबाव और क्षति से बचा जा सके।
4. टर्बोमोलेक्यूलर पंप के फायदे और सीमाएं:
टर्बोमोलेक्यूलर पंप के कई फायदे हैं, जैसे उच्च पंपिंग गति, उच्च वैक्यूम, कम शोर और उच्च विश्वसनीयता।टर्बोमोलेक्यूलर पंप की उच्च पंपिंग गति वैक्यूम डिग्री को बढ़ा सकती है, और साथ ही पंपिंग समय को कम कर सकती है, जिससे उत्पादन क्षमता बढ़ सकती है।टर्बोमोलेक्यूलर पंप का कम शोर और उच्च विश्वसनीयता भी इसके फायदों में से एक है, जिसका अर्थ है कि टर्बोमोलेक्यूलर पंप लंबे समय तक कुशल संचालन बनाए रख सकता है, जिससे रखरखाव और प्रतिस्थापन की संख्या कम हो जाती है।
हालाँकि, टर्बोमोलेक्यूलर पंपों की भी कुछ सीमाएँ हैं, जैसे कि कुछ गैसों के लिए कम पंपिंग दक्षता।उदाहरण के लिए, टर्बोमोलेक्यूलर पंपों में हाइड्रोजन के लिए कम निष्कर्षण दक्षता होती है, और टर्बोमोलेक्यूलर पंपों में गैस के दबाव और तापमान के लिए भी कुछ आवश्यकताएं होती हैं।इसलिए, व्यावहारिक अनुप्रयोगों में, इसके सामान्य और कुशल संचालन को सुनिश्चित करने के लिए विशिष्ट स्थिति के अनुसार टर्बोमोलेक्यूलर पंप के प्रकार और कार्य मापदंडों का चयन करना आवश्यक है।
5। उपसंहार:
सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में, प्लाज्मा नक़्क़ाशी मशीन बहुत महत्वपूर्ण उपकरणों में से एक है।प्लाज्मा नक़्क़ाशी मशीन के वैक्यूम सिस्टम में, टर्बोमोलेक्यूलर पंप, मुख्य पंप के रूप में, उच्च वैक्यूम और स्थिर प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रक्रिया को प्राप्त करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है।टर्बोमोलेक्यूलर पंपों में उच्च पंपिंग गति, उच्च वैक्यूम, कम शोर और उच्च तकनीकी आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलन होता है।
सामान्यतया, प्लाज्मा नक़्क़ाशी मशीन में टर्बोमोलेक्यूलर पंप की भूमिका अपूरणीय है।सेमीकंडक्टर विनिर्माण उद्योग में, टर्बोमोलेक्यूलर पंप आवश्यक उपकरणों में से एक बन गया है, जो प्लाज्मा नक़्क़ाशी मशीन के प्रदर्शन और स्थिरता को सुनिश्चित करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है।सेमीकंडक्टर प्रौद्योगिकी के निरंतर विकास और प्रगति के साथ, टर्बोमोलेक्यूलर पंपों की मांग और उपयोग का दायरा बढ़ता रहेगा।इसलिए, टर्बोमोलेक्यूलर पंप निर्माताओं को सेमीकंडक्टर विनिर्माण उद्योग की उच्च प्रदर्शन और अधिक स्थिर उपकरणों की मांग को पूरा करने के लिए उत्पाद प्रदर्शन और गुणवत्ता में लगातार सुधार करने की आवश्यकता है।
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पोस्ट करने का समय: अक्टूबर-20-2023