Í hálfleiðaraframleiðsluiðnaði nútímans eru plasmaæting og túrbósameindadæla tvö mikilvæg lykiltækni.Plasma ætari er ómissandi tæki við framleiðslu á örrafrænum íhlutum, en túrbósameindadæla er hönnuð fyrir mikið lofttæmi og mikinn dæluhraða.Í þessari grein ræðum við hlutverk og mikilvægi túrbósameindadælna í plasmaætum.
Efni
1. Vinnureglur um plasma ætingarvél
2. Vinnureglur turbomolecular dælu
3. Notkun turbomolecular dælu í plasma ets vél
4. Kostir og takmarkanir túrbósameindadælna
5. Niðurstaða
1. Vinnureglur plasma ætingarvélar:
Plasma etcher er tæki til að vinna úr efni með því að nota plasma í lofttæmishólfinu.Plasma er safn hlaðna agna sem myndast við gasjónun.Þéttleika og hreyfistefnu plasma er hægt að stjórna með hátíðni raf- eða segulsviðum.Við plasmaætingu lendir plasma á yfirborði vinnuefnisins og lyftir því af eða eyðir því og skapar þá uppbyggingu sem óskað er eftir.
Hins vegar myndast mikið magn af útblásturslofti við plasmaætingu.Þessar útblásturslofttegundir innihalda vinnuefni og óhreinindi í gasinu o.s.frv., sem þarf að losa í gegnum lofttæmiskerfið.Þess vegna þarf plasma ætingarvélin skilvirkt tómarúmskerfi til að tryggja stöðugleika og nákvæmni ætingarferlisins.
2. Vinnureglur túrbósameindadælu:
Turbomolecular dælur eru ein af algengustu hádælu dælunum í lofttæmiskerfum.Það virkar með því að snúa setti af háhraða snúningshjólum til að dæla gasinu út úr lofttæmishólfinu og reka gasið út í andrúmsloftið.Í túrbósameindælu fer gas fyrst inn í bakdælu þar sem því er þjappað inn í háþrýstisvæði áður en það er sent í túrbósameindælu.
Í túrbósameindælu er gasinu dælt í gegnum snúningshjól, en í sameindadælu er gasinu brotið niður í smærri sameindir.Turbomolecular dælur geta veitt mikið lofttæmi og dæluhraði þeirra getur náð 500 ~ 6000 L / s.Fyrir plasma ætingarvélar sem krefjast mikils lofttæmis eru túrbósameindadælur ómissandi hluti.
3. Notkun túrbósameindadælu í plasma ætingarvél:
Turbomolecular dælur eru mikið notaðar í plasma ætingarvélum.Í tómarúmskerfi plasmaætingarvélar er túrbósameindadæla venjulega notuð sem aðaldæla til að hjálpa til við að ná háu lofttæmi.Þegar plasma lendir á yfirborðinu framleiðir það mikið magn af útblásturslofti, þar með talið hráefnisleifar og efnahvarfaafurðir.Þessum útblástursloftum þarf að dæla út úr lofttæmishólfinu hratt og á skilvirkan hátt til að tryggja stöðugleika og áreiðanleika plasma ætingarferlisins.
Hár dæluhraði og mikið lofttæmi túrbósameindadælna gera þær að kjörnum dælum.Í plasma etcher er túrbósameindadælan venjulega sett í sérstaka dælueiningu til að auðvelda stjórn á lofttæmi og þrýstingi.Á sama tíma, til að vernda túrbósameindælu dæluna, er nauðsynlegt að setja lag af vélrænni dælu og þrýstingslækkandi loki fyrir framan túrbósameindælu dæluna til að forðast of mikinn þrýsting og skemmdir á túrbósameindadælunni.
4. Kostir og takmarkanir túrbósameindadælna:
Turbomolecular dælur hafa marga kosti, svo sem háan dæluhraða, mikið lofttæmi, lítill hávaði og hár áreiðanleiki.Hár dæluhraði túrbósameindadælunnar getur aukið lofttæmisstigið og á sama tíma getur dregið úr dælutímanum og þannig aukið framleiðslu skilvirkni.Lítill hávaði og mikill áreiðanleiki túrbósameindadælunnar er einnig einn af kostum hennar, sem þýðir að túrbósameindadælan getur viðhaldið skilvirkum rekstri í lengri tíma og fækkað viðhaldi og endurnýjun.
Hins vegar hafa túrbósameindadælur einnig nokkrar takmarkanir, svo sem lítil dæluvirkni fyrir ákveðnar lofttegundir.Til dæmis hafa túrbósameindadælur litla útdráttarskilvirkni fyrir vetni og túrbósameindadælur hafa einnig ákveðnar kröfur um gasþrýsting og hitastig.Þess vegna, í hagnýtum forritum, er nauðsynlegt að velja gerð og vinnubreytur túrbósameindadælunnar í samræmi við sérstakar aðstæður til að tryggja eðlilega og skilvirka virkni hennar.
5. Niðurstaða:
Í hálfleiðara framleiðsluferlinu er plasma ætingarvélin einn af mjög mikilvægum búnaði.Í tómarúmskerfi plasma ætingarvélarinnar gegnir túrbósameindadælan, sem aðaldælan, mikilvægu hlutverki við að ná háu lofttæmi og stöðugu plasma ætingarferli.Turbomolecular dælur hafa mikinn dæluhraða, mikið lofttæmi, lágan hávaða og hagræðingu til að uppfylla hærri tæknilegar kröfur.
Almennt séð er hlutverk túrbósameindadælunnar í plasmaætingarvélinni óbætanlegt.Í hálfleiðaraframleiðsluiðnaðinum hefur túrbósameindadælan orðið einn af nauðsynlegum búnaði, sem gegnir mikilvægu hlutverki við að tryggja frammistöðu og stöðugleika plasma ætingarvélarinnar.Með stöðugri þróun og framþróun hálfleiðaratækni mun eftirspurn og umfang notkunar túrbósameindadæla halda áfram að stækka.Þess vegna þurfa framleiðendur túrbósameinda dælu stöðugt að bæta afköst vöru og gæði til að mæta eftirspurn hálfleiðaraframleiðsluiðnaðarins um meiri afköst og stöðugri búnað.
Höfundarréttartilkynning:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. hvetur til virðingar og verndar hugverkaréttinda og gefur til kynna uppruna greina með skýrum heimildum.Ef þú kemst að því að það eru höfundarréttar eða önnur vandamál í efni þessarar vefsíðu, vinsamlegast hafðu samband við okkur til að takast á við það.Samskiptaupplýsingar:marketing01@gpmcn.com
Birtingartími: 20. október 2023