We współczesnym przemyśle produkcji półprzewodników dwie ważne, kluczowe technologie to wytrawianie plazmowe i pompa turbomolekularna.Wytrawiacz plazmowy jest niezbędnym narzędziem w produkcji elementów mikroelektronicznych, natomiast pompa turbomolekularna została zaprojektowana z myślą o wysokiej próżni i dużej prędkości pompowania.W tym artykule omawiamy rolę i znaczenie pomp turbomolekularnych w wytrawiaczach plazmowych.
Treść
1. Zasada działania maszyny do trawienia plazmowego
2. Zasada działania pompy turbomolekularnej
3. Zastosowanie pompy turbomolekularnej w maszynie do trawienia plazmowego
4. Zalety i ograniczenia pomp turbomolekularnych
5. Wniosek
1. Zasada działania maszyny do trawienia plazmowego:
Wytrawiacz plazmowy to narzędzie do obróbki materiałów przy użyciu plazmy w komorze próżniowej.Plazma to zbiór naładowanych cząstek wytwarzanych w wyniku jonizacji gazu.Gęstość i kierunek ruchu plazmy można kontrolować za pomocą pól elektrycznych lub magnetycznych o wysokiej częstotliwości.Podczas trawienia plazmowego plazma uderza w powierzchnię materiału roboczego i unosi ją lub powoduje erozję, tworząc pożądaną strukturę.
Jednakże podczas trawienia plazmowego generowana jest duża ilość gazów spalinowych.Te gazy spalinowe obejmują materiały robocze i zanieczyszczenia zawarte w gazie itp., które należy usunąć przez układ próżniowy.Dlatego maszyna do trawienia plazmowego potrzebuje wydajnego systemu próżniowego, aby zapewnić stabilność i dokładność procesu trawienia.
2. Zasada działania pompy turbomolekularnej:
Pompy turbomolekularne są jednymi z najczęściej stosowanych pomp o dużej prędkości pompowania w układach próżniowych.Działa poprzez wirowanie zestawu szybko obracających się wirników w celu wypompowania gazu z komory próżniowej i wyrzucenia go do atmosfery.W pompie turbomolekularnej gaz najpierw dostaje się do pompy pomocniczej, gdzie jest sprężany do obszaru wysokiego ciśnienia, a następnie przesyłany do pompy turbomolekularnej.
W pompie turbomolekularnej gaz jest pompowany przez obracający się wirnik, natomiast w pompie molekularnej gaz jest rozkładany na mniejsze cząsteczki.Pompy turbomolekularne mogą zapewnić wysoką próżnię, a ich prędkość pompowania może osiągnąć 500 ~ 6000 L/s.W przypadku maszyn do trawienia plazmowego, które wymagają wysokiej próżni, pompy turbomolekularne są niezbędną częścią.
3. Zastosowanie pompy turbomolekularnej w maszynie do trawienia plazmowego:
Pompy turbomolekularne są szeroko stosowane w maszynach do trawienia plazmowego.W układzie próżniowym maszyny do trawienia plazmowego zwykle stosuje się pompę turbomolekularną jako pompę główną, aby pomóc w osiągnięciu wysokiej próżni.Kiedy plazma uderza w powierzchnię, wytwarza dużą ilość gazów spalinowych, w tym resztkowe surowce i produkty reakcji chemicznych.Aby zapewnić stabilność i niezawodność procesu trawienia plazmowego, te gazy spalinowe należy szybko i skutecznie wypompować z komory próżniowej.
Wysoka prędkość pompowania i wysoka próżnia pomp turbomolekularnych czynią je idealnymi pompami.W wytrawiaczu plazmowym pompa turbomolekularna jest zwykle umieszczana w oddzielnym zespole pompy, aby ułatwić kontrolę podciśnienia i ciśnienia.Jednocześnie w celu zabezpieczenia pompy turbomolekularnej należy przed pompą turbomolekularną zainstalować warstwę pompy mechanicznej oraz zawór redukcyjny ciśnienia, aby zapobiec nadmiernemu ciśnieniu i uszkodzeniu pompy turbomolekularnej.
4. Zalety i ograniczenia pomp turbomolekularnych:
Pompy turbomolekularne mają wiele zalet, takich jak duża prędkość pompowania, wysoka próżnia, niski poziom hałasu i wysoka niezawodność.Wysoka prędkość pompowania pompy turbomolekularnej może zwiększyć stopień próżni, a jednocześnie skrócić czas pompowania, zwiększając w ten sposób wydajność produkcji.Do jej zalet zalicza się także niski poziom hałasu i wysoka niezawodność pompy turbomolekularnej, co oznacza, że pompa turbomolekularna może zapewnić wydajną pracę przez dłuższy okres czasu, ograniczając konieczność konserwacji i wymian.
Jednakże pompy turbomolekularne mają również pewne ograniczenia, takie jak niska wydajność pompowania niektórych gazów.Na przykład pompy turbomolekularne mają niską wydajność ekstrakcji wodoru, a pompy turbomolekularne mają również pewne wymagania dotyczące ciśnienia i temperatury gazu.Dlatego w zastosowaniach praktycznych konieczne jest dobranie rodzaju i parametrów pracy pompy turbomolekularnej do konkretnej sytuacji, aby zapewnić jej normalną i wydajną pracę.
5. Wniosek:
W procesie produkcji półprzewodników jednym z bardzo ważnych urządzeń jest maszyna do trawienia plazmowego.W układzie próżniowym maszyny do trawienia plazmowego pompa turbomolekularna, jako pompa główna, odgrywa istotną rolę w uzyskaniu wysokiej próżni i stabilnego procesu trawienia plazmowego.Pompy turbomolekularne charakteryzują się dużą prędkością pompowania, wysoką próżnią, niskim poziomem hałasu i optymalizacją w celu spełnienia wyższych wymagań technicznych.
Ogólnie rzecz biorąc, rola pompy turbomolekularnej w maszynie do trawienia plazmowego jest niezastąpiona.W przemyśle produkcji półprzewodników pompa turbomolekularna stała się jednym z niezbędnych urządzeń, które odgrywają ważną rolę w zapewnieniu wydajności i stabilności maszyny do trawienia plazmowego.Wraz z ciągłym rozwojem i postępem technologii półprzewodników zapotrzebowanie i zakres zastosowań pomp turbomolekularnych będzie stale rosnąć.Dlatego producenci pomp turbomolekularnych muszą stale ulepszać wydajność i jakość produktów, aby sprostać zapotrzebowaniu przemysłu produkującego półprzewodniki na wyższą wydajność i bardziej stabilny sprzęt.
Informacja o prawach autorskich:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. opowiada się za poszanowaniem i ochroną praw własności intelektualnej oraz wskazuje źródło artykułów z jasnymi źródłami.Jeśli stwierdzisz, że w treści tej witryny występują problemy związane z prawami autorskimi lub inne, skontaktuj się z nami, abyśmy mogli sobie z tym poradzić.Informacje kontaktowe:marketing01@gpmcn.com
Czas publikacji: 20 października 2023 r