Napjaink félvezetőgyártó iparában a plazmamarató és a turbomolekuláris szivattyú két fontos kulcstechnológia.A plazmamarás elengedhetetlen eszköz a mikroelektronikai alkatrészek gyártásához, míg a turbomolekuláris szivattyút nagy vákuumra és nagy szivattyúzási sebességre tervezték.Ebben a cikkben a turbomolekuláris szivattyúk szerepét és fontosságát tárgyaljuk a plazmamaratókban.
Tartalom
1. A plazma maratógép működési elve
2. A turbomolekuláris szivattyú működési elve
3. Turbomolekuláris pumpa alkalmazása plazmamarató gépben
4. A turbomolekuláris szivattyúk előnyei és korlátai
5. Következtetés
1. A plazma maratógép működési elve:
A plazmamarás egy olyan eszköz, amellyel anyagokat dolgoznak fel plazma vákuumkamrában történő felhasználásával.A plazma gázionizációval előállított töltött részecskék gyűjteménye.A plazma sűrűsége és mozgási iránya nagyfrekvenciás elektromos vagy mágneses mezőkkel szabályozható.A plazmamarás során a plazma a munkaanyag felületére csapódik és azt leemeli vagy erodálja, létrehozva a kívánt szerkezetet.
A plazmamaratás során azonban nagy mennyiségű kipufogógáz keletkezik.Ezek a kipufogógázok magukban foglalják a munkaanyagokat és a gázban lévő szennyeződéseket stb., amelyeket a vákuumrendszeren keresztül kell elvezetni.Ezért a plazma maratógépnek hatékony vákuumrendszerre van szüksége a maratási folyamat stabilitásának és pontosságának biztosítása érdekében.
2. A turbomolekuláris szivattyú működési elve:
A turbomolekuláris szivattyúk az egyik leggyakrabban használt nagy sebességű szivattyúk a vákuumrendszerekben.Úgy működik, hogy egy sor nagy sebességű forgó járókereket megpörget, hogy kiszivattyúzza a gázt a vákuumkamrából, és kivezesse a gázt a légkörbe.A turbomolekuláris szivattyúban a gáz először egy hátoldali szivattyúba kerül, ahol nagynyomású tartományba sűrítik, mielőtt a turbomolekuláris szivattyúhoz továbbítják.
A turbomolekuláris szivattyúban a gázt egy forgó járókeréken keresztül pumpálják, míg a molekuláris szivattyúban a gázt kisebb molekulákra bontják.A turbomolekuláris szivattyúk nagy vákuumot biztosítanak, és szivattyúzási sebességük elérheti az 500-6000 L/s-ot.A nagy vákuumot igénylő plazmamarató gépeknél a turbomolekuláris szivattyúk nélkülözhetetlen alkatrészei.
3. A turbomolekuláris szivattyú alkalmazása plazmamarató gépben:
A turbomolekuláris szivattyúkat széles körben használják a plazmamarató gépekben.A plazma maratógép vákuumrendszerében általában turbomolekuláris szivattyút használnak fő szivattyúként a nagy vákuum elérésében.Amikor a plazma a felszínhez ér, nagy mennyiségű kipufogógázt termel, beleértve a maradék nyersanyagokat és kémiai reakciótermékeket.Ezeket a kipufogógázokat gyorsan és hatékonyan kell kiszivattyúzni a vákuumkamrából, hogy biztosítsuk a plazmamaratási folyamat stabilitását és megbízhatóságát.
A turbomolekuláris szivattyúk nagy szivattyúzási sebessége és nagy vákuumja ideális szivattyúvá teszi őket.A plazmamaratóban a turbomolekuláris szivattyút általában egy külön szivattyúegységbe helyezik a vákuum és a nyomás egyszerű szabályozása érdekében.Ugyanakkor a turbomolekuláris szivattyú védelme érdekében egy mechanikus szivattyú réteget és egy nyomáscsökkentő szelepet kell felszerelni a turbomolekuláris szivattyú elé, hogy elkerüljük a túlzott nyomást és a turbomolekuláris szivattyú károsodását.
4. A turbomolekuláris szivattyúk előnyei és korlátai:
A turbomolekuláris szivattyúk számos előnnyel rendelkeznek, mint például a nagy szivattyúzási sebesség, a nagy vákuum, az alacsony zajszint és a nagy megbízhatóság.A turbomolekuláris szivattyú nagy szivattyúzási sebessége növelheti a vákuum mértékét, ugyanakkor csökkentheti a szivattyúzási időt, ezáltal növelve a termelés hatékonyságát.A turbomolekuláris szivattyú alacsony zajszintje és nagy megbízhatósága is az egyik előnye, ami azt jelenti, hogy a turbomolekuláris szivattyú hosszabb ideig képes hatékonyan működni, csökkentve a karbantartások és cserék számát.
A turbomolekuláris szivattyúknak azonban vannak korlátai is, például bizonyos gázok alacsony szivattyúzási hatékonysága.Például a turbomolekuláris szivattyúknak alacsony a hidrogén extrakciós hatékonysága, és a turbomolekuláris szivattyúknak is meg kell felelniük bizonyos követelményeknek a gáznyomásra és a hőmérsékletre vonatkozóan.Ezért a gyakorlati alkalmazásokban szükséges a turbomolekuláris szivattyú típusának és működési paramétereinek az adott helyzetnek megfelelő megválasztása a normál és hatékony működés érdekében.
5. Következtetés:
A félvezető gyártási folyamatban a plazma maratógép az egyik nagyon fontos berendezés.A plazmamarató gép vákuumrendszerében a turbomolekuláris szivattyú, mint fő szivattyú létfontosságú szerepet játszik a nagy vákuum és a stabil plazmamaratási folyamat elérésében.A turbomolekuláris szivattyúk nagy szivattyúzási sebességgel, nagy vákuummal, alacsony zajszinttel és optimalizálással rendelkeznek, hogy megfeleljenek a magasabb műszaki követelményeknek.
Általánosságban elmondható, hogy a turbomolekuláris szivattyú szerepe a plazmamarató gépben pótolhatatlan.A félvezetőgyártó iparban az egyik szükséges berendezéssé vált a turbomolekuláris szivattyú, amely fontos szerepet játszik a plazmamaratkozó gép teljesítményének és stabilitásának biztosításában.A félvezető technológia folyamatos fejlődésével és fejlődésével a turbomolekuláris szivattyúk kereslete és felhasználási köre tovább bővül.Ezért a turbomolekuláris szivattyúgyártóknak folyamatosan javítaniuk kell a termék teljesítményét és minőségét, hogy megfeleljenek a félvezetőgyártó ipar nagyobb teljesítményre és stabilabb berendezésekre vonatkozó igényének.
Szerzői jogi megjegyzés:
A GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. támogatja a szellemi tulajdonjogok tiszteletben tartását és védelmét, és egyértelmű forrásokkal jelzi a cikkek forrását.Ha úgy találja, hogy szerzői jogi vagy egyéb problémák merülnek fel a webhely tartalmával kapcsolatban, kérjük, lépjen kapcsolatba velünk, hogy megoldjuk.Elérhetőség:marketing01@gpmcn.com
Feladás időpontja: 2023.10.20