U današnjoj industriji proizvodnje poluvodiča, plazma jetkanje i turbomolekularna pumpa dvije su važne ključne tehnologije.Uređaj za plazma jetkanje bitan je alat u proizvodnji mikroelektroničkih komponenti, dok je turbomolekularna pumpa dizajnirana za visoki vakuum i veliku brzinu pumpanja.U ovom članku raspravljamo o ulozi i važnosti turbomolekularnih pumpi u plazma uređajima za jetkanje.
Sadržaj
1. Princip rada stroja za plazma jetkanje
2. Princip rada turbomolekularne pumpe
3. Primjena turbomolekularne pumpe u stroju za plazma jetkanje
4. Prednosti i ograničenja turbomolekularnih pumpi
5. Zaključak
1. Princip rada stroja za plazma jetkanje:
Plazma jetkač je alat za obradu materijala korištenjem plazme u vakuumskoj komori.Plazma je skup nabijenih čestica nastalih ionizacijom plina.Gustoća i smjer gibanja plazme mogu se kontrolirati pomoću visokofrekventnih električnih ili magnetskih polja.Tijekom plazma jetkanja, plazma udara u površinu radnog materijala i podiže ga ili nagriza, stvarajući željenu strukturu.
Međutim, tijekom plazma jetkanja stvara se velika količina ispušnog plina.Ovi ispušni plinovi uključuju radne materijale i nečistoće u plinu, itd., koje je potrebno ispustiti kroz vakuumski sustav.Stoga stroj za plazma jetkanje treba učinkovit vakuumski sustav kako bi se osigurala stabilnost i točnost procesa jetkanja.
2. Princip rada turbomolekularne pumpe:
Turbomolekularne pumpe su jedne od najčešće korištenih pumpi velike brzine pumpanja u vakuumskim sustavima.Djeluje tako da okreće niz rotirajućih rotora velike brzine za ispumpavanje plina iz vakuumske komore i izbacivanje plina u atmosferu.U turbomolekularnoj pumpi plin prvo ulazi u pomoćnu pumpu gdje se komprimira u područje visokog tlaka prije nego što se pošalje u turbomolekularnu pumpu.
U turbomolekularnoj pumpi plin se pumpa kroz rotirajući impeler, dok se u molekularnoj pumpi plin razgrađuje na manje molekule.Turbomolekularne pumpe mogu osigurati visoki vakuum, a njihova brzina pumpanja može doseći 500~6000 L/s.Za strojeve za plazma jetkanje koji zahtijevaju visoki vakuum, turbomolekularne pumpe su neizostavan dio.
3. Primjena turbomolekularne pumpe u stroju za plazma jetkanje:
Turbomolekularne pumpe naširoko se koriste u strojevima za plazma jetkanje.U vakuumskom sustavu stroja za plazma jetkanje, turbomolekularna pumpa se obično koristi kao glavna pumpa za postizanje visokog vakuuma.Kada plazma udari o površinu, proizvodi veliku količinu ispušnog plina, uključujući zaostale sirovine i produkte kemijske reakcije.Ove ispušne plinove treba brzo i učinkovito ispumpati iz vakuumske komore kako bi se osigurala stabilnost i pouzdanost procesa plazma jetkanja.
Velika brzina pumpanja i visoki vakuum turbomolekularnih pumpi čine ih idealnim pumpama.U plazma jetkaču, turbomolekularna pumpa se obično nalazi u zasebnoj pumpnoj jedinici radi lakše kontrole vakuuma i tlaka.U isto vrijeme, kako bi se zaštitila turbomolekularna pumpa, potrebno je ugraditi sloj mehaničke pumpe i ventil za smanjenje tlaka ispred turbomolekularne pumpe kako bi se izbjegao prekomjerni tlak i oštećenje turbomolekularne pumpe.
4. Prednosti i ograničenja turbomolekularnih pumpi:
Turbomolekularne pumpe imaju mnoge prednosti, poput velike brzine pumpanja, visokog vakuuma, niske razine buke i visoke pouzdanosti.Velika brzina pumpanja turbomolekularne pumpe može povećati stupanj vakuuma, au isto vrijeme može smanjiti vrijeme pumpanja, čime se povećava učinkovitost proizvodnje.Nizak nivo buke i visoka pouzdanost turbomolekularne pumpe također je jedna od njenih prednosti, što znači da turbomolekularna pumpa može održavati učinkovit rad dulje vrijeme, smanjujući broj održavanja i zamjena.
Međutim, turbomolekularne pumpe također imaju neka ograničenja, kao što je niska učinkovitost pumpanja za određene plinove.Na primjer, turbomolekularne pumpe imaju nisku učinkovitost ekstrakcije vodika, a turbomolekularne pumpe također imaju određene zahtjeve za tlak i temperaturu plina.Stoga je u praktičnim primjenama potrebno odabrati vrstu i radne parametre turbomolekularne pumpe prema specifičnoj situaciji kako bi se osigurao njezin normalan i učinkovit rad.
5. Zaključak:
U procesu proizvodnje poluvodiča, stroj za plazma jetkanje jedna je od vrlo važnih oprema.U vakuumskom sustavu stroja za plazma jetkanje, turbomolekularna pumpa, kao glavna pumpa, igra vitalnu ulogu u postizanju visokog vakuuma i stabilnog procesa plazma jetkanja.Turbomolekularne pumpe imaju veliku brzinu pumpanja, visoki vakuum, nisku razinu buke i optimizaciju za ispunjavanje viših tehničkih zahtjeva.
Općenito govoreći, uloga turbomolekularne pumpe u stroju za plazma jetkanje je nezamjenjiva.U industriji proizvodnje poluvodiča, turbomolekularna pumpa je postala jedna od potrebnih uređaja, koja igra važnu ulogu u osiguravanju performansi i stabilnosti stroja za plazma jetkanje.Kontinuiranim razvojem i napretkom tehnologije poluvodiča, potražnja i opseg uporabe turbomolekularnih pumpi će se i dalje širiti.Stoga proizvođači turbomolekularnih pumpi moraju kontinuirano poboljšavati performanse i kvalitetu proizvoda kako bi zadovoljili zahtjeve industrije proizvodnje poluvodiča za većom izvedbom i stabilnijom opremom.
Obavijest o autorskim pravima:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. zagovara poštivanje i zaštitu prava intelektualnog vlasništva i navodi izvor članaka s jasnim izvorima.Ako ustanovite da postoje problemi s autorskim pravima ili drugi problemi u sadržaju ove web stranice, obratite nam se kako bismo to riješili.Kontakt podaci:marketing01@gpmcn.com
Vrijeme objave: 20. listopada 2023