Amin'ny indostrian'ny famokarana semiconductor ankehitriny, ny plasma etcher sy ny turbomolecular paompy dia teknolojia lehibe roa.Plasma etcher dia fitaovana tena ilaina amin'ny fanamboarana singa microelectronic, raha ny paompy turbomolecular dia natao ho an'ny banga avo sy ny hafainganam-pandehan'ny paompy.Ato amin'ity lahatsoratra ity isika dia miresaka momba ny anjara asa sy ny maha zava-dehibe ny turbomolecular paompy amin'ny plasma etchers.
Votoaty
1. Ny fitsipiky ny fiasan'ny plasma etching machine
2. Ny fitsipiky ny fiasan'ny turbomolecular paompy
3. Fampiharana ny turbomolecular paompy amin'ny plasma etching milina
4. Tombontsoa sy fetran'ny paompy turbomolecular
5. Fehiny
1. Ny fitsipiky ny fiasan'ny plasma etching machine:
Plasma etcher dia fitaovana fanodinana fitaovana amin'ny fampiasana plasma ao anaty efitrano banga.Ny Plasma dia fitambarana poti-javatra misy entana novokarin'ny ionization entona.Ny hakitroky sy ny lalan'ny fihetsiky ny plasma dia azo fehezina amin'ny alàlan'ny sahan-jiro na magnetika avo lenta.Mandritra ny etching plasma, misy plasma mamely ny endrik'ilay fitaovana miasa ary manaisotra azy na manimba azy, mamorona ny rafitra irina.
Na izany aza, be dia be ny entona entona mivoaka mandritra ny etching plasma.Ireo entona mivoaka ireo dia ahitana fitaovana miasa sy loto ao anaty entona, sns, izay mila avoaka amin'ny alàlan'ny rafitra vacuum.Noho izany, ny milina etching plasma dia mila rafitra banga mahomby mba hiantohana ny fahamarinan-toerana sy ny fahamarinan'ny fizotran'ny etching.
2. Ny fitsipiky ny fiasan'ny turbomolecular paompy:
Ny paompy turbomolecular dia iray amin'ireo paompy haingam-pandeha ambony indrindra ampiasaina amin'ny rafitra banga.Izy io dia miasa amin'ny fanodinkodinana andiana impeller mihodinkodina haingam-pandeha mba hanondrahana ny entona mivoaka avy ao amin'ny efitrano banga ary hamoaka ny entona mankany amin'ny atmosfera.Ao amin'ny paompy turbomolecular, ny entona dia miditra amin'ny paompy backing aloha izay atsipazo ao anaty faritra misy tosidra ambony alohan'ny handefasana azy any amin'ny paompy turbomolecular.
Ao amin'ny paompy turbomolecular, ny entona dia entina amin'ny alàlan'ny impeller mihodina, raha ao anaty paompy molekiola kosa ny entona dia rava ho molekiola kely kokoa.Ny paompy turbomolecular dia afaka manome banga avo, ary ny hafainganam-pandehan'ny paompy dia mety hahatratra 500 ~ 6000 L / s.Ho an'ny milina etching plasma izay mitaky banga avo, ny paompy turbomolecular dia ampahany tena ilaina.
3. Fampiharana ny turbomolecular paompy amin'ny plasma etching milina:
Ny paompy turbomolecular dia be mpampiasa amin'ny milina etching plasma.Ao amin'ny rafitra banga amin'ny milina etching plasma, ny paompy turbomolecular dia matetika ampiasaina ho paompy lehibe hanampy amin'ny fanatrarana ny banga avo.Rehefa mamely eny ambonin'ny tany ny plasma, dia mamoaka entona setroka be dia be, anisan'izany ny akora sisa tavela sy ny vokatra simika.Ireo entona setroka ireo dia mila avoaka avy ao amin'ny efitrano banga haingana sy mahomby mba hiantohana ny fahamarinan-toerana sy ny fahatokisana ny fizotran'ny etching plasma.
Ny hafainganam-pandehan'ny paompy sy ny banga avo amin'ny paompy turbomolecular dia mahatonga azy ireo ho paompy tsara indrindra.Ao amin'ny etcher plasma, ny paompy turbomolecular dia matetika apetraka ao amin'ny vondrona paompy mitokana ho an'ny fanaraha-maso mora ny banga sy ny tsindry.Mandritra izany fotoana izany, mba hiarovana ny turbomolecular paompy, dia ilaina ny mametraka sosona ny mekanika paompy sy ny tsindry mampihena ny tsindry eo anoloan'ny turbomolecular paompy mba hisorohana ny fanerena tafahoatra sy ny fahasimbana ny turbomolecular paompy.
4. Tombontsoa sy fetran'ny paompy turbomolecular:
Ny paompy turbomolecular dia manana tombony maro, toy ny hafainganam-pandehan'ny paompy, ny banga avo, ny tabataba ambany ary ny fahatokisana avo.Ny haingam-pamokarana avo lenta amin'ny paompy turbomolecular dia afaka mampitombo ny mari-pahaizana vacuum, ary amin'ny fotoana iray ihany koa dia mety hampihena ny fotoana paompy, ka hampitombo ny fahombiazan'ny famokarana.Ny tabataba ambany sy ny fahatokisana avo lenta amin'ny paompy turbomolecular dia iray amin'ireo tombony azony, izay midika fa ny paompy turbomolecular dia afaka mitazona asa mahomby mandritra ny fotoana lava kokoa, mampihena ny isan'ny fikojakojana sy fanoloana.
Na izany aza, misy fetrany ihany koa ny paompy turbomolecular, toy ny fahombiazan'ny paompy ambany ho an'ny entona sasany.Ohatra, ny paompy turbomolecular dia manana fahaiza-manao fitrandrahana ambany ho an'ny hydrogène, ary ny paompy turbomolecular koa dia manana fepetra sasany momba ny tsindry sy ny mari-pana.Noho izany, amin'ny fampiharana azo ampiharina, dia ilaina ny mifidy ny karazana sy ny masontsivana miasa ny turbomolecular paompy araka ny toe-javatra manokana mba hiantohana ny ara-dalàna sy mahomby asa.
5. Fehiny:
Ao amin'ny dingana famokarana semiconductor, ny milina etching plasma dia iray amin'ireo fitaovana tena ilaina.Ao amin'ny rafitra banga ny milina etching plasma, ny turbomolecular paompy, toy ny tena paompy, mitana anjara toerana lehibe eo amin'ny fanatanterahana ny banga avo sy ny stable plasma etching dingana.Ny paompy turbomolecular dia manana haingam-pamokarana avo lenta, banga avo, tabataba ambany ary fanatsarana mba hamenoana ny fepetra ara-teknika ambony.
Amin'ny ankapobeny, ny anjara asan'ny turbomolecular paompy ao amin'ny plasma etching milina dia tsy azo soloina.Ao amin'ny indostrian'ny famokarana semiconductor, ny paompy turbomolecular dia lasa iray amin'ireo fitaovana ilaina, izay mitana anjara toerana lehibe amin'ny fiantohana ny fahombiazan'ny milina etching plasma.Miaraka amin'ny fivoarana mitohy sy ny fivoaran'ny teknolojia semiconductor, dia hiitatra hatrany ny fangatahana sy ny sakan'ny fampiasana paompy turbomolecular.Noho izany, ny mpanamboatra paompy turbomolecular dia mila manatsara hatrany ny fahombiazan'ny vokatra sy ny kalitao mba hanomezana fahafaham-po ny fangatahan'ny indostrian'ny famokarana semiconductor amin'ny fampandehanana avo lenta sy fitaovana azo antoka kokoa.
Fampandrenesana momba ny zon'ny mpamorona:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. dia manohana ny fanajana sy fiarovana ny zon'ny fananana ara-tsaina ary manondro ny loharanon'ny lahatsoratra misy loharano mazava.Raha hitanao fa misy copyright na olana hafa amin'ny votoatin'ity tranonkala ity dia mifandraisa aminay mba hiatrehana izany.Antsipiriany ifandraisana:marketing01@gpmcn.com
Fotoana fandefasana: Oct-20-2023