នៅក្នុងឧស្សាហកម្មផលិត semiconductor នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ ម៉ាស៊ីនបូមប្លាស្មា និង turbomolecular pump គឺជាបច្ចេកវិទ្យាសំខាន់ពីរ។ម៉ាស៊ីនបូមប្លាស្មាគឺជាឧបករណ៍សំខាន់មួយក្នុងការផលិតសមាសធាតុមីក្រូអេឡិចត្រូនិច ខណៈពេលដែលស្នប់ turbomolecular ត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ម៉ាស៊ីនបូមធូលី និងល្បឿនបូមខ្ពស់។នៅក្នុងអត្ថបទនេះ យើងពិភាក្សាអំពីតួនាទី និងសារៈសំខាន់នៃស្នប់ turbomolecular នៅក្នុងប្លាស្មា etchers ។
មាតិកា
1. គោលការណ៍ការងាររបស់ម៉ាស៊ីនប្លាស្មា
2. គោលការណ៍ការងារនៃស្នប់ turbomolecular
3. ការអនុវត្តស្នប់ turbomolecular នៅក្នុងម៉ាស៊ីន etching ប្លាស្មា
4. គុណសម្បត្តិ និងដែនកំណត់នៃស្នប់ turbomolecular
5. សេចក្តីសន្និដ្ឋាន
1. គោលការណ៍ការងាររបស់ម៉ាស៊ីនប្លាស្មា៖
ប្លាស្មា etcher គឺជាឧបករណ៍សម្រាប់កែច្នៃវត្ថុធាតុដើមដោយប្រើប្លាស្មានៅក្នុងបន្ទប់ខ្វះចន្លោះ។ប្លាស្មាគឺជាបណ្តុំនៃភាគល្អិតដែលត្រូវបានចោទប្រកាន់ដែលផលិតដោយ ionization ឧស្ម័ន។ដង់ស៊ីតេនិងទិសដៅនៃចលនានៃប្លាស្មាអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយវាលអគ្គីសនីឬម៉ាញេទិកដែលមានប្រេកង់ខ្ពស់។កំឡុងពេលឆ្លាក់ប្លាស្មា ប្លាស្មាមួយវាយលុកលើផ្ទៃនៃសម្ភារៈធ្វើការ ហើយលើកវាចេញ ឬបំផ្លាញវា បង្កើតបានជារចនាសម្ព័ន្ធដែលចង់បាន។
ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ បរិមាណឧស្ម័នផ្សងច្រើនត្រូវបានបង្កើតកំឡុងពេលប្លាស្មា។ឧស្ម័នហត់នឿយទាំងនេះរួមមាន សម្ភារៈធ្វើការ និងភាពមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងឧស្ម័នជាដើម ដែលចាំបាច់ត្រូវបញ្ចេញតាមប្រព័ន្ធបូមធូលី។ដូច្នេះម៉ាស៊ីន etching plasma ត្រូវការប្រព័ន្ធបូមធូលីដែលមានប្រសិទ្ធភាព ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាព និងភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការ etching ។
2. គោលការណ៍ការងារនៃស្នប់ turbomolecular:
ម៉ាស៊ីនបូម Turbomolecular គឺជាម៉ាស៊ីនបូមដែលមានល្បឿនលឿនបំផុតមួយដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាទូទៅបំផុតនៅក្នុងប្រព័ន្ធបូមធូលី។វាដំណើរការដោយការបង្វិលសំណុំនៃប្រដាប់បង្វិលដែលមានល្បឿនលឿន ដើម្បីបូមឧស្ម័នចេញពីបន្ទប់បូមធូលី និងបណ្តេញឧស្ម័នទៅក្នុងបរិយាកាស។នៅក្នុងស្នប់ turbomolecular ឧស្ម័នដំបូងចូលទៅក្នុងស្នប់ខាងក្រោយដែលវាត្រូវបានបង្ហាប់ចូលទៅក្នុងតំបន់ដែលមានសម្ពាធខ្ពស់មុនពេលបញ្ជូនទៅស្នប់ turbomolecular ។
នៅក្នុងស្នប់ turbomolecular ឧស្ម័នត្រូវបានបូមតាមរយៈ impeller បង្វិល ខណៈពេលដែលនៅក្នុងស្នប់ម៉ូលេគុលឧស្ម័នត្រូវបានបំបែកទៅជាម៉ូលេគុលតូចជាង។ម៉ាស៊ីនបូម Turbomolecular អាចផ្តល់នូវការបូមធូលីខ្ពស់ ហើយល្បឿនបូមរបស់ពួកគេអាចឈានដល់ 500 ~ 6000 L/s ។សម្រាប់ម៉ាស៊ីនផ្សាំប្លាស្មាដែលត្រូវការម៉ាស៊ីនបូមធូលីខ្លាំង ម៉ាស៊ីនបូម turbomolecular គឺជាផ្នែកមួយដែលមិនអាចខ្វះបាន។
3. ការអនុវត្តស្នប់ turbomolecular នៅក្នុងម៉ាស៊ីន etching ប្លាស្មា៖
ម៉ាស៊ីនបូម Turbomolecular ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងម៉ាស៊ីនប្លាស្មា។នៅក្នុងប្រព័ន្ធបូមធូលីនៃម៉ាស៊ីនប្លាស្មា ម៉ាស៊ីនបូមទឹក turbomolecular ជាធម្មតាត្រូវបានគេប្រើជាស្នប់មេ ដើម្បីជួយសម្រេចបាននូវភាពទំនេរខ្ពស់។នៅពេលដែលប្លាស្មាប៉ះលើផ្ទៃ វានឹងបង្កើតឧស្ម័នផ្សងយ៉ាងច្រើន រួមទាំងវត្ថុធាតុដើមដែលនៅសេសសល់ និងផលិតផលប្រតិកម្មគីមី។ឧស្ម័នផ្សងទាំងនេះត្រូវបូមចេញពីបន្ទប់បូមធូលីឱ្យបានលឿន និងមានប្រសិទ្ធភាព ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាព និងភាពជឿជាក់នៃដំណើរការប្លាស្មា។
ល្បឿនបូមខ្ពស់ និងភាពទំនេរខ្ពស់នៃស្នប់ turbomolecular ធ្វើឱ្យពួកគេបូមបានល្អ។នៅក្នុងប្លាស្មា ស្នប់ turbomolecular ជាធម្មតាត្រូវបានដាក់ក្នុងអង្គភាពបូមដាច់ដោយឡែក ដើម្បីងាយស្រួលក្នុងការគ្រប់គ្រងម៉ាស៊ីនបូមធូលី និងសម្ពាធ។ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ដើម្បីការពារស្នប់ turbomolecular វាចាំបាច់ត្រូវដំឡើងស្រទាប់បូមមេកានិច និងសន្ទះបិទបើកនៅពីមុខស្នប់ turbomolecular ដើម្បីជៀសវាងសម្ពាធលើស និងការខូចខាតដល់ស្នប់ turbomolecular ។
4. គុណសម្បត្តិ និងដែនកំណត់នៃស្នប់ turbomolecular៖
ម៉ាស៊ីនបូម Turbomolecular មានគុណសម្បត្តិជាច្រើនដូចជា ល្បឿនបូមខ្ពស់ បូមធូលីខ្ពស់ សំលេងរំខានទាប និងភាពជឿជាក់ខ្ពស់។ល្បឿនបូមខ្ពស់នៃស្នប់ turbomolecular អាចបង្កើនកម្រិតខ្វះចន្លោះ ហើយក្នុងពេលតែមួយអាចកាត់បន្ថយពេលវេលាបូម ដោយហេតុនេះបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម។សំលេងរំខានទាបនិងភាពជឿជាក់ខ្ពស់នៃស្នប់ turbomolecular ក៏ជាគុណសម្បត្តិមួយរបស់វាផងដែរ ដែលមានន័យថាស្នប់ turbomolecular អាចរក្សាប្រតិបត្តិការប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពក្នុងរយៈពេលយូរ ដោយកាត់បន្ថយចំនួននៃការថែទាំ និងការជំនួស។
ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ម៉ាស៊ីនបូម turbomolecular ក៏មានដែនកំណត់មួយចំនួនផងដែរ ដូចជាប្រសិទ្ធភាពបូមទាបសម្រាប់ឧស្ម័នមួយចំនួន។ឧទាហរណ៍ ម៉ាស៊ីនបូម turbomolecular មានប្រសិទ្ធភាពទាញយកទាបសម្រាប់អ៊ីដ្រូសែន ហើយម៉ាស៊ីនបូម turbomolecular ក៏មានតម្រូវការជាក់លាក់សម្រាប់សម្ពាធឧស្ម័ន និងសីតុណ្ហភាពផងដែរ។ដូច្នេះក្នុងការអនុវត្តជាក់ស្តែង ចាំបាច់ត្រូវជ្រើសរើសប្រភេទ និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការនៃស្នប់ turbomolecular តាមស្ថានភាពជាក់លាក់ ដើម្បីធានាបាននូវប្រតិបត្តិការធម្មតា និងប្រសិទ្ធភាពរបស់វា។
៥.សេចក្តីសន្និដ្ឋាន៖
នៅក្នុងដំណើរការផលិត semiconductor ម៉ាស៊ីន etching plasma គឺជាឧបករណ៍ដ៏សំខាន់បំផុតមួយ។នៅក្នុងប្រព័ន្ធបូមធូលីរបស់ម៉ាស៊ីនប្លាស្មា ស្នប់ turbomolecular ដែលជាស្នប់មេ ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការសម្រេចបាននូវដំណើរការបូមធូលីខ្ពស់ និងស្ថេរភាពប្លាស្មា។ម៉ាស៊ីនបូម Turbomolecular មានល្បឿនបូមខ្ពស់ បូមធូលីខ្ពស់ សំលេងរំខានទាប និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាព ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការបច្ចេកទេសខ្ពស់។
និយាយជាទូទៅតួនាទីរបស់ស្នប់ turbomolecular នៅក្នុងម៉ាស៊ីន etching plasma គឺមិនអាចជំនួសបានទេ។នៅក្នុងឧស្សាហកម្មផលិត semiconductor ម៉ាស៊ីនបូម turbomolecular បានក្លាយជាឧបករណ៍ចាំបាច់មួយ ដែលដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការធានានូវដំណើរការ និងស្ថេរភាពនៃម៉ាស៊ីនប្លាស្មា។ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍ និងវឌ្ឍនភាពជាបន្តបន្ទាប់នៃបច្ចេកវិទ្យា semiconductor តម្រូវការ និងវិសាលភាពនៃការប្រើប្រាស់ស្នប់ turbomolecular នឹងបន្តពង្រីក។ដូច្នេះហើយ ក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមទឹក turbomolecular ចាំបាច់ត្រូវកែលម្អដំណើរការ និងគុណភាពផលិតផលជាបន្តបន្ទាប់ ដើម្បីបំពេញតម្រូវការឧស្សាហកម្មផលិត semiconductor សម្រាប់ដំណើរការខ្ពស់ជាង និងឧបករណ៍មានស្ថេរភាពជាងមុន។
ការជូនដំណឹងអំពីសិទ្ធិអ្នកនិពន្ធ៖
ក្រុមហ៊ុន GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. តស៊ូមតិការគោរព និងការពារកម្មសិទ្ធិបញ្ញា និងបង្ហាញពីប្រភពនៃអត្ថបទដែលមានប្រភពច្បាស់លាស់។ប្រសិនបើអ្នករកឃើញថាមានការរក្សាសិទ្ធិ ឬបញ្ហាផ្សេងទៀតនៅក្នុងខ្លឹមសារនៃគេហទំព័រនេះ សូមទាក់ទងមកយើងខ្ញុំដើម្បីដោះស្រាយវា។ព័ត៌មានទំនាក់ទំនង៖marketing01@gpmcn.com
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២០-តុលា ឆ្នាំ ២០២៣