আজকের সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন শিল্পে, প্লাজমা ইচার এবং টার্বোমলিকুলার পাম্প দুটি গুরুত্বপূর্ণ মূল প্রযুক্তি।একটি প্লাজমা এচার হল মাইক্রোইলেক্ট্রনিক উপাদান তৈরির একটি অপরিহার্য হাতিয়ার, যখন একটি টার্বোমলিকুলার পাম্প উচ্চ ভ্যাকুয়াম এবং উচ্চ পাম্পিং গতির জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।এই নিবন্ধে, আমরা প্লাজমা ইচারে টার্বোমলিকুলার পাম্পের ভূমিকা এবং গুরুত্ব নিয়ে আলোচনা করব।
বিষয়বস্তু
1. প্লাজমা এচিং মেশিনের কাজের নীতি
2. টার্বোমলিকুলার পাম্পের কাজের নীতি
3. প্লাজমা এচিং মেশিনে টার্বোমলিকুলার পাম্পের প্রয়োগ
4. টার্বোমলিকুলার পাম্পের সুবিধা এবং সীমাবদ্ধতা
5। উপসংহার
1. প্লাজমা এচিং মেশিনের কাজের নীতি:
একটি প্লাজমা এচার একটি ভ্যাকুয়াম চেম্বারে প্লাজমা ব্যবহার করে উপকরণ প্রক্রিয়াকরণের একটি সরঞ্জাম।প্লাজমা হল গ্যাস আয়নাইজেশন দ্বারা উত্পাদিত চার্জযুক্ত কণার একটি সংগ্রহ।প্লাজমার গতির ঘনত্ব এবং দিক উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি বৈদ্যুতিক বা চৌম্বক ক্ষেত্র দ্বারা নিয়ন্ত্রিত হতে পারে।প্লাজমা এচিং এর সময়, একটি প্লাজমা কার্যকারী উপাদানের পৃষ্ঠে আঘাত করে এবং এটিকে সরিয়ে দেয় বা এটিকে ক্ষয় করে, পছন্দসই কাঠামো তৈরি করে।
যাইহোক, প্লাজমা এচিং এর সময় প্রচুর পরিমাণে নিষ্কাশন গ্যাস উৎপন্ন হয়।এই নিষ্কাশন গ্যাসগুলির মধ্যে রয়েছে কাজের উপকরণ এবং গ্যাসের অমেধ্য ইত্যাদি, যা ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের মাধ্যমে নিষ্কাশন করা প্রয়োজন।তাই, এচিং প্রক্রিয়ার স্থায়িত্ব এবং নির্ভুলতা নিশ্চিত করতে প্লাজমা এচিং মেশিনের একটি দক্ষ ভ্যাকুয়াম সিস্টেম প্রয়োজন।
2. টার্বোমলিকুলার পাম্পের কাজের নীতি:
টারবোমলিকুলার পাম্পগুলি ভ্যাকুয়াম সিস্টেমে সর্বাধিক ব্যবহৃত উচ্চ পাম্পিং গতির পাম্পগুলির মধ্যে একটি।এটি ভ্যাকুয়াম চেম্বার থেকে গ্যাসকে পাম্প করতে এবং বায়ুমণ্ডলে গ্যাস বের করে দেওয়ার জন্য উচ্চ-গতির ঘূর্ণায়মান ইম্পেলারগুলির একটি সেট ঘোরানোর মাধ্যমে কাজ করে।একটি টার্বোমলিকুলার পাম্পে, গ্যাস প্রথমে একটি ব্যাকিং পাম্পে প্রবেশ করে যেখানে এটি টার্বোমলিকুলার পাম্পে পাঠানোর আগে একটি উচ্চ-চাপের অঞ্চলে সংকুচিত হয়।
একটি টার্বোমলিকুলার পাম্পে, গ্যাস একটি ঘূর্ণায়মান ইম্পেলারের মাধ্যমে পাম্প করা হয়, যখন একটি আণবিক পাম্পে গ্যাসটি ছোট অণুতে ভেঙে যায়।Turbomolecular পাম্প উচ্চ ভ্যাকুয়াম প্রদান করতে পারে, এবং তাদের পাম্পিং গতি 500 ~ 6000 L/s পৌঁছতে পারে।প্লাজমা এচিং মেশিনগুলির জন্য যেগুলির জন্য উচ্চ ভ্যাকুয়াম প্রয়োজন, টার্বোমলিকুলার পাম্পগুলি একটি অপরিহার্য অংশ।
3. প্লাজমা এচিং মেশিনে টার্বোমলিকুলার পাম্পের প্রয়োগ:
টার্বোমলিকুলার পাম্প প্লাজমা এচিং মেশিনে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।একটি প্লাজমা এচিং মেশিনের ভ্যাকুয়াম সিস্টেমে, একটি টার্বোমলিকুলার পাম্প সাধারণত উচ্চ ভ্যাকুয়াম অর্জনে সাহায্য করার জন্য প্রধান পাম্প হিসাবে ব্যবহৃত হয়।যখন প্লাজমা পৃষ্ঠে আঘাত করে, তখন এটি অবশিষ্ট কাঁচামাল এবং রাসায়নিক বিক্রিয়া পণ্য সহ প্রচুর পরিমাণে নিষ্কাশন গ্যাস উৎপন্ন করে।প্লাজমা এচিং প্রক্রিয়ার স্থায়িত্ব এবং নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করতে এই নিষ্কাশন গ্যাসগুলিকে দ্রুত এবং দক্ষতার সাথে ভ্যাকুয়াম চেম্বার থেকে পাম্প করা দরকার।
টার্বোমলিকুলার পাম্পের উচ্চ পাম্পিং গতি এবং উচ্চ ভ্যাকুয়াম তাদের আদর্শ পাম্প করে তোলে।একটি প্লাজমা এচারে, টারবোমলিকুলার পাম্প সাধারণত ভ্যাকুয়াম এবং চাপ নিয়ন্ত্রণের জন্য একটি পৃথক পাম্প ইউনিটে স্থাপন করা হয়।একই সময়ে, টার্বোমলিকুলার পাম্পকে রক্ষা করার জন্য, টার্বোমলিকুলার পাম্পের অতিরিক্ত চাপ এবং ক্ষতি এড়াতে টার্বোমলিকুলার পাম্পের সামনে যান্ত্রিক পাম্পের একটি স্তর এবং একটি চাপ হ্রাসকারী ভালভ ইনস্টল করা প্রয়োজন।
4. টার্বোমলিকুলার পাম্পের সুবিধা এবং সীমাবদ্ধতা:
টার্বোমলিকুলার পাম্পের অনেক সুবিধা রয়েছে, যেমন উচ্চ পাম্পিং গতি, উচ্চ ভ্যাকুয়াম, কম শব্দ এবং উচ্চ নির্ভরযোগ্যতা।টার্বোমোলিকুলার পাম্পের উচ্চ পাম্পিং গতি ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি বাড়াতে পারে এবং একই সময়ে পাম্পিং সময় কমাতে পারে, যার ফলে উত্পাদন দক্ষতা বৃদ্ধি পায়।টার্বোমলিকুলার পাম্পের কম শব্দ এবং উচ্চ নির্ভরযোগ্যতাও এর অন্যতম সুবিধা, যার মানে হল যে টার্বোমলিকুলার পাম্প দীর্ঘ সময়ের জন্য দক্ষ অপারেশন বজায় রাখতে পারে, রক্ষণাবেক্ষণ এবং প্রতিস্থাপনের সংখ্যা হ্রাস করে।
যাইহোক, টার্বোমলিকুলার পাম্পেরও কিছু সীমাবদ্ধতা রয়েছে, যেমন নির্দিষ্ট গ্যাসের জন্য কম পাম্পিং দক্ষতা।উদাহরণস্বরূপ, টার্বোমলিকুলার পাম্পগুলির হাইড্রোজেনের জন্য কম নিষ্কাশন দক্ষতা রয়েছে এবং টার্বোমলিকুলার পাম্পগুলিরও গ্যাসের চাপ এবং তাপমাত্রার জন্য নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।অতএব, ব্যবহারিক অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে, নির্দিষ্ট পরিস্থিতি অনুসারে টার্বোমোলিকুলার পাম্পের ধরন এবং কাজের পরামিতিগুলি নির্বাচন করা প্রয়োজন যাতে এটির স্বাভাবিক এবং দক্ষ অপারেশন নিশ্চিত করা যায়।
5। উপসংহার:
সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়ায়, প্লাজমা এচিং মেশিনটি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ সরঞ্জামগুলির মধ্যে একটি।প্লাজমা এচিং মেশিনের ভ্যাকুয়াম সিস্টেমে, প্রধান পাম্প হিসাবে টার্বোমলিকুলার পাম্প উচ্চ ভ্যাকুয়াম এবং স্থিতিশীল প্লাজমা এচিং প্রক্রিয়া অর্জনে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে।টার্বোমলিকুলার পাম্পগুলির উচ্চ পাম্পিং গতি, উচ্চ ভ্যাকুয়াম, কম শব্দ এবং উচ্চ প্রযুক্তিগত প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য অপ্টিমাইজেশন রয়েছে।
সাধারণভাবে বলতে গেলে, প্লাজমা এচিং মেশিনে টার্বোমলিকুলার পাম্পের ভূমিকা অপরিবর্তনীয়।সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন শিল্পে, টার্বোমলিকুলার পাম্প একটি প্রয়োজনীয় সরঞ্জাম হয়ে উঠেছে, যা প্লাজমা এচিং মেশিনের কর্মক্ষমতা এবং স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে।সেমিকন্ডাক্টর প্রযুক্তির ক্রমাগত বিকাশ এবং অগ্রগতির সাথে, টার্বোমলিকুলার পাম্পগুলির চাহিদা এবং সুযোগ প্রসারিত হতে থাকবে।অতএব, টার্বোমলিকুলার পাম্প নির্মাতাদের উচ্চ কর্মক্ষমতা এবং আরও স্থিতিশীল সরঞ্জামের জন্য সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন শিল্পের চাহিদা মেটাতে পণ্যের কার্যক্ষমতা এবং গুণমানকে ক্রমাগত উন্নত করতে হবে।
কপিরাইট নোটিশ:
GPM ইন্টেলিজেন্ট টেকনোলজি (গুয়াংডং) কোং, লিমিটেড. মেধা সম্পত্তি অধিকারের প্রতি শ্রদ্ধা ও সুরক্ষার পক্ষে এবং স্পষ্ট উত্স সহ নিবন্ধগুলির উত্স নির্দেশ করে৷আপনি যদি খুঁজে পান যে এই ওয়েবসাইটের বিষয়বস্তুতে কপিরাইট বা অন্যান্য সমস্যা আছে, তাহলে এটি মোকাবেলা করতে আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন।যোগাযোগের তথ্য:marketing01@gpmcn.com
পোস্টের সময়: অক্টোবর-20-2023