In l'industria di a fabricazione di semiconduttori d'oghje, l'incisione di plasma è a pompa turbomolecular sò duie tecnulugia chjave impurtanti.Un incisore di plasma hè un strumentu essenziale in a fabricazione di cumpunenti microelettronici, mentre chì una pompa turbomolecular hè pensata per un altu vacuum è una alta velocità di pompa.In questu articulu, discutemu u rolu è l'impurtanza di e pompe turbomolecular in incisori di plasma.
Cuntinutu
1. Principiu di travagliu di plasma incisione machine
2. Principiu di travagliu di pompa turbomolecular
3. Applicazione di pompa turbomolecular in plasma incisione machine
4. Vantaghji è limitazioni di pumps turbomolecular
5. Cunclusioni
1. Principiu di travagliu di a macchina di incisione plasma:
Un incisore di plasma hè un strumentu per trasfurmà materiali utilizendu plasma in una camera di vacuum.U plasma hè una cullizzioni di particelle cariche prodotte da l'ionizazione di gas.A densità è a direzzione di u muvimentu di plasma pò esse cuntrullata da campi elettrici o magnetichi d'alta frequenza.Durante l'incisione di plasma, un plasma colpisce a superficia di u materiale di travagliu è l'eleva o l'erode, creendu a struttura desiderata.
Tuttavia, una grande quantità di gas di scarico hè generata durante l'incisione di plasma.Questi gasi di scarico includenu materiali di travagliu è impurità in u gasu, etc., chì anu da esse scaricati attraversu u sistema di vacuum.Dunque, a macchina di incisione di plasma hà bisognu di un sistema di vacuum efficiente per assicurà a stabilità è a precisione di u prucessu di incisione.
2. Principiu di travagliu di a pompa turbomolecular:
I pompe turbomoleculari sò una di e pompe di alta velocità di pompaggio più comunemente usate in sistemi di vacuum.Funziona spinning un inseme di impellers rotanti d'alta velocità per pompà u gasu fora di a camera di vacuum è espulsà u gasu in l'atmosfera.In una pompa turbomolecular, u gasu entra prima in una pompa di sustegnu induve hè cumpressu in una regione d'alta pressione prima di esse mandatu à a pompa turbomolecular.
In una pompa turbomolecular, u gasu hè pompatu attraversu un impeller rotativu, mentri in una pompa moleculare u gasu hè spartutu in molécule più chjuche.Pompe turbomolecular ponu furnisce un altu vacuum, è a so vitezza di pumping pò ghjunghje à 500 ~ 6000 L / s.Per e macchine di incisione di plasma chì necessitanu un vacuum altu, e pompe turbomoleculari sò una parte indispensabile.
3. Applicazione di a pompa turbomolecular in a macchina di incisione di plasma:
E pompe turbomoleculari sò largamente usate in e macchine di incisione di plasma.In u sistema di vacuum di una macchina di incisione di plasma, una pompa turbomolecular hè generalmente usata cum'è pompa principale per aiutà à ottene un altu vacuum.Quandu u plasma tocca a superficia, pruduce una grande quantità di gas di scarico, cumprese materie prime residuali è prudutti di reazzione chimica.Questi gasi di scarico anu da esse pompati fora di a camera di vacuum rapidamente è in modu efficiente per assicurà a stabilità è l'affidabilità di u prucessu di incisione di plasma.
L'alta velocità di pumping è l'altu vacuum di e pompe turbomoleculari facenu pompe ideali.In un incisore di plasma, a pompa turbomolecular hè generalmente posta in una unità di pompa separata per un cuntrollu faciule di vacuum è pressione.À u listessu tempu, per prutege a pompa turbomolecular, hè necessariu installà una strata di pompa meccanica è una valvula di riduzzione di pressione davanti à a pompa turbomolecular per evità pressione eccessiva è danni à a pompa turbomolecular.
4. Vantaghji è limitazioni di pompe turbomolecular:
Pompe turbomolecular anu parechji vantaghji, cum'è alta vitezza di pumping, high vacuum, low noise, è alta affidabilità.L'alta vitezza di pumping di a pompa turbomolecular pò aumentà u gradu di vacuum, è à u stessu tempu pò riduce u tempu di pumping, aumentendu cusì l'efficienza di a produzzione.U bassu rumore è l'alta affidabilità di a pompa turbomolecular hè ancu unu di i so vantaghji, chì significa chì a pompa turbomolecular pò mantene un funziunamentu efficiente per un periudu di tempu più longu, riducendu u numeru di mantenimentu è rimpiazzamentu.
Tuttavia, e pompe turbomolecular anu ancu alcune limitazioni, cum'è una bassa efficienza di pumping per certi gasi.Per esempiu, e pompe turbomolecular anu una bassa efficienza d'estrazione per l'idrogenu, è e pompe turbomolecular anu ancu certi requisiti per a pressione di gasu è a temperatura.Per quessa, in l'applicazioni pratiche, hè necessariu di selezziunà u tipu è i paràmetri di travagliu di a pompa turbomolecular secondu a situazione specifica per assicurà u so funziunamentu normale è efficiente.
5.Conclusioni:
In u prucessu di fabricazione di semiconduttori, a macchina di incisione di plasma hè unu di l'equipaggiu assai impurtante.In u sistema di vacuum di a machina di incisione di plasma, a pompa turbomolecular, cum'è a pompa principale, ghjoca un rolu vitale in ottene u prucessu di incisione di plasma stabile è stabile.E pompe turbomoleculari anu una velocità di pompa alta, un vacuum altu, un rumore bassu è ottimisazione per risponde à esigenze tecniche più elevate.
In generale, u rolu di a pompa turbomolecular in a macchina di incisione di plasma hè insustituibile.In l'industria di a fabricazione di semiconduttori, a pompa turbomolecular hè diventata unu di l'equipaggiu necessariu, chì ghjoca un rolu impurtante per assicurà a prestazione è a stabilità di a macchina di incisione di plasma.Cù u sviluppu cuntinuu è u prugressu di a tecnulugia di semiconductor, a dumanda è u scopu di l'usu di pompe turbomolecular cuntinuà à espansione.Dunque, i pruduttori di pompe turbomoleculari anu bisognu di migliurà continuamente u rendiment è a qualità di u produttu per risponde à a dumanda di l'industria di a fabricazione di semiconduttori per un rendimentu più altu è un equipamentu più stabile.
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Tempu di post: 20-ottu-2023