Дар саноати имрӯзаи истеҳсоли нимноқилҳо, плазмаи плазма ва насоси турбомолекулавӣ ду технологияи муҳими калидӣ мебошанд.Этчери плазма як асбоби муҳим дар сохтани ҷузъҳои микроэлектронӣ мебошад, дар ҳоле ки насоси турбомолекулярӣ барои вакууми баланд ва суръати баланди насос пешбинӣ шудааст.Дар ин мақола, мо нақш ва аҳамияти насосҳои турбомолекулярӣ дар плазмаҳоро баррасӣ мекунем.
Мундариҷа
1. Принсипи кори мошини etching плазма
2. Принсипи кори насоси турбомолекулярӣ
3. Татбиқи насоси турбомолекулярӣ дар мошини etching плазма
4. Афзалиятҳо ва маҳдудиятҳои насосҳои турбомолекулярӣ
5. Хулоса
1. Принсипи кори мошини etching плазма:
Этчери плазма асбобест барои коркарди мавод бо истифода аз плазма дар камераи вакуумӣ.Плазма маҷмӯи зарраҳои заряднокест, ки дар натиҷаи ионизатсияи газ ба вуҷуд меоянд.Зичӣ ва самти ҳаракати плазмаро метавон тавассути майдонҳои баландбасомади электрикӣ ё магнитӣ идора кард.Дар ваќти пошидани плазма плазма ба сатњи масолењи корї зада, онро мебардорад ё эрозия мекунад ва сохтори заруриро ба вуљуд меорад.
Бо вуҷуди ин, ҳангоми пошидани плазма миқдори зиёди гази ихроҷшуда ба вуҷуд меояд.Ин газҳои ихроҷшуда маводи корӣ ва ифлосҳои газ ва ғайраро дар бар мегиранд, ки бояд тавассути системаи вакуумӣ хориҷ карда шаванд.Аз ин рӯ, барои таъмини устуворӣ ва саҳеҳии раванди etching ба мошини плазма ба системаи самараноки вакуум ниёз дорад.
2. Принсипи кори насоси турбомолекулярӣ:
Насосҳои турбомолекулярӣ яке аз насосҳои баландсуръати насосӣ дар системаҳои вакуумӣ мебошанд.Вай бо рохи чархзании мачмуи импеллерхои чархзанандаи баландсуръат кор мекунад, то ки газро аз камераи вакуумй бароварда, газро ба атмосфера хорич кунад.Дар насоси турбомолекулярӣ, газ аввал ба насоси пуштибонӣ ворид мешавад, ки он пеш аз фиристодан ба насоси турбомолекулярӣ ба минтақаи фишори баланд фишурда мешавад.
Дар насоси турбомолекулярӣ газ тавассути чархи даврзананда ҷорӣ мешавад, дар насоси молекулавӣ бошад, газ ба молекулаҳои хурдтар тақсим карда мешавад.Насосҳои турбомолекулярӣ метавонанд вакууми баландро таъмин кунанд ва суръати насоси онҳо ба 500 ~ 6000 л / с мерасад.Барои мошинҳои пошидани плазма, ки вакууми баландро талаб мекунанд, насосҳои турбомолекулярӣ қисми ҷудонашаванда мебошанд.
3. Татбиқи насоси турбомолекулярӣ дар мошини etching плазма:
Насосҳои турбомолекулярӣ дар мошинҳои плазма ба таври васеъ истифода мешаванд.Дар системаи вакууми як мошини плазмаи хунрезӣ, насоси турбомолекулярӣ одатан ҳамчун насоси асосӣ барои ба даст овардани вакууми баланд истифода мешавад.Вақте ки плазма ба рӯи замин меафтад, аз он миқдори зиёди гази ихроҷшуда, аз ҷумла ашёи хоми боқимонда ва маҳсулоти реаксияи химиявӣ ба вуҷуд меояд.Ин газҳои ихроҷшударо аз камераи вакуумӣ зуд ва самаранок баровардан лозим аст, то устуворӣ ва эътимоднокии раванди коркарди плазма таъмин карда шавад.
Суръати баланди насос ва вакууми баланди насосҳои турбомолекулярӣ онҳоро насосҳои идеалӣ месозад.Дар плазма насоси турбомолекулярӣ одатан дар як воҳиди насоси алоҳида ҷойгир карда мешавад, то ки вакуум ва фишорро идора кунад.Дар баробари ин барои мухофизат намудани насоси турбомолекулярй дар назди насоси турбомолекулярй як кабати насоси механикй ва клапани пасткунандаи фишор гузоштан лозим аст, то ки фишори зиёд ва вайрон шудани насоси турбомолекулярй рох надихад.
4. Афзалиятҳо ва маҳдудиятҳои насосҳои турбомолекулярӣ:
Насосҳои турбомолекулярӣ бартариҳои зиёд доранд, ба монанди суръати баланди насос, вакууми баланд, садои паст ва эътимоднокии баланд.Суръати баланди насосии насоси турбомолекулярӣ метавонад дараҷаи вакуумро баланд бардорад ва дар айни замон метавонад вақти обкаширо кам кунад ва ба ин васила самаранокии истеҳсолотро баланд бардорад.Садои паст ва эътимоднокии баланди насоси турбомолекулярӣ низ яке аз бартариҳои он аст, ки ин маънои онро дорад, ки насоси турбомолекулярӣ метавонад кори самаранокро барои муддати тӯлонӣ нигоҳ дошта, шумораи нигоҳдорӣ ва ивазкуниро кам кунад.
Аммо, насосҳои турбомолекулярӣ инчунин баъзе маҳдудиятҳо доранд, ба монанди самаранокии пасти насос барои газҳои муайян.Масалан, насосҳои турбомолекулярӣ самаранокии пасти истихроҷи гидроген доранд ва насосҳои турбомолекулярӣ инчунин барои фишор ва ҳарорати газ талаботи муайян доранд.Аз ин рӯ, дар татбиқи амалӣ навъ ва параметрҳои кори насоси турбомолекуляриро мувофиқи вазъияти мушаххас интихоб кардан лозим аст, то кори мӯътадил ва самараноки онро таъмин кунад.
5. Хулоса:
Дар раванди истеҳсоли нимноқилҳо, мошини плазмакунии плазма яке аз таҷҳизоти хеле муҳим аст.Дар системаи вакууми мошини абрешимкунии плазма насоси турбомолекулярӣ ҳамчун насоси асосӣ барои ноил шудан ба вакууми баланд ва раванди пошидани плазмаи устувор нақши муҳим мебозад.Насосҳои турбомолекулярӣ дорои суръати баланди насос, вакууми баланд, садои паст ва оптимизатсия барои қонеъ кардани талаботи олии техникӣ мебошанд.
Умуман, нақши насоси турбомолекулярӣ дар мошини плазмакунии плазма ивазнашаванда аст.Дар саноати нимноқилӣ насоси турбомолекулярӣ яке аз таҷҳизотҳои зарурӣ гардид, ки дар таъмини кор ва устувории мошини плазмакунии плазма нақши муҳим мебозад.Бо рушди муттасил ва пешрафти технологияи нимноқилҳо, талабот ва доираи истифодаи насосҳои турбомолекулярӣ боз ҳам васеъ мешавад.Аз ин рӯ, истеҳсолкунандагони насосҳои турбомолекулярӣ бояд фаъолият ва сифати маҳсулотро пайваста такмил диҳанд, то талаботи саноати нимноқилро ба кори баландтар ва таҷҳизоти устувортар қонеъ гардонанд.
Огоҳии ҳуқуқи муаллиф:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd аз эҳтиром ва ҳифзи ҳуқуқи моликияти зеҳнӣ ҳимоят мекунад ва манбаи мақолаҳоро бо сарчашмаҳои равшан нишон медиҳад.Агар шумо дарёфт кунед, ки дар мундариҷаи ин вебсайт ҳуқуқи муаллиф ё мушкилоти дигар вуҷуд дорад, лутфан бо мо тамос гиред, то онро ҳал кунем.Маълумот барои тамос:marketing01@gpmcn.com
Вақти фиристодан: октябр-20-2023