Во денешната индустрија за производство на полупроводници, плазма резбарот и турбомолекуларната пумпа се две важни клучни технологии.Плазма граварот е суштинска алатка во производството на микроелектронски компоненти, додека турбомолекуларната пумпа е дизајнирана за висок вакуум и голема брзина на пумпање.Во оваа статија, ќе разговараме за улогата и важноста на турбомолекуларните пумпи во плазма етеровите.
содржина
1. Принцип на работа на машината за офорт со плазма
2. Принцип на работа на турбомолекуларната пумпа
3. Примена на турбомолекуларна пумпа во машина за плазма офорт
4. Предности и ограничувања на турбомолекуларните пумпи
5. Заклучок
1. Принцип на работа на машината за офорт со плазма:
Плазма граварот е алатка за обработка на материјали со користење на плазма во вакуумска комора.Плазмата е збир на наелектризирани честички произведени со јонизација на гас.Густината и насоката на движење на плазмата може да се контролираат со високофреквентни електрични или магнетни полиња.За време на плазма офорт, плазма удира на површината на работниот материјал и го крева или го еродира, создавајќи ја саканата структура.
Сепак, голема количина на издувни гасови се генерира за време на плазма офорт.Овие издувни гасови вклучуваат работни материјали и нечистотии во гасот итн., кои треба да се испуштаат преку вакуумскиот систем.Затоа, на машината за офорт со плазма ѝ треба ефикасен вакуумски систем за да се обезбеди стабилност и точност на процесот на офорт.
2. Принцип на работа на турбомолекуларната пумпа:
Турбомолекуларните пумпи се едни од најчесто користените пумпи со голема брзина на пумпање во вакуумските системи.Работи на тој начин што врти множество ротирачки кола со голема брзина за да го испумпува гасот од вакуумската комора и да го исфрли гасот во атмосферата.Во турбомолекуларната пумпа, гасот прво влегува во потпорната пумпа каде што се компресира во регион со висок притисок пред да се испрати до турбомолекуларната пумпа.
Во турбомолекуларната пумпа, гасот се пумпа преку ротирачко коло, додека во молекуларната пумпа гасот се разложува на помали молекули.Турбомолекуларните пумпи можат да обезбедат висок вакуум, а нивната брзина на пумпање може да достигне 500~6000 L/s.За машините за офорт со плазма кои бараат висок вакуум, турбомолекуларните пумпи се незаменлив дел.
3. Примена на турбомолекуларна пумпа во машина за офорт со плазма:
Турбомолекуларните пумпи се широко користени во машините за офорт со плазма.Во вакуумскиот систем на машината за офорт со плазма, обично се користи турбомолекуларна пумпа како главна пумпа за да помогне да се постигне висок вакуум.Кога плазмата ќе ја погоди површината, таа произведува голема количина на издувни гасови, вклучително и резидуални суровини и производи од хемиска реакција.Овие издувни гасови треба брзо и ефикасно да се испумпуваат од вакуумската комора за да се обезбеди стабилност и сигурност на процесот на плазма офорт.
Високата брзина на пумпање и високиот вакуум на турбомолекуларните пумпи ги прават идеални пумпи.Во плазма офорт, турбомолекуларната пумпа обично се става во посебна пумпна единица за лесна контрола на вакуумот и притисокот.Во исто време, за да се заштити турбомолекуларната пумпа, неопходно е да се инсталира слој механичка пумпа и вентил за намалување на притисокот пред турбомолекуларната пумпа за да се избегне прекумерен притисок и оштетување на турбомолекуларната пумпа.
4. Предности и ограничувања на турбомолекуларните пумпи:
Турбомолекуларните пумпи имаат многу предности, како што се голема брзина на пумпање, висок вакуум, низок шум и висока доверливост.Високата брзина на пумпање на турбомолекуларната пумпа може да го зголеми степенот на вакуум, а во исто време може да го намали времето на пумпање, а со тоа да ја зголеми ефикасноста на производството.Нискиот шум и големата доверливост на турбомолекуларната пумпа се исто така една од нејзините предности, што значи дека турбомолекуларната пумпа може да одржува ефикасна работа подолг временски период, намалувајќи го бројот на одржување и замена.
Сепак, турбомолекуларните пумпи имаат и некои ограничувања, како што е ниската ефикасност на пумпање за одредени гасови.На пример, турбомолекуларните пумпи имаат ниска ефикасност на екстракција на водород, а турбомолекуларните пумпи исто така имаат одредени барања за притисок и температура на гасот.Затоа, во практична примена, неопходно е да се изберат типот и работните параметри на турбомолекуларната пумпа според специфичната ситуација за да се обезбеди нејзино нормално и ефикасно функционирање.
5.Заклучок:
Во процесот на производство на полупроводници, машината за офорт со плазма е една од многу важната опрема.Во вакуумскиот систем на машината за офорт со плазма, турбомолекуларната пумпа, како главна пумпа, игра витална улога во постигнувањето на висок вакуум и стабилен процес на плазма офорт.Турбомолекуларните пумпи имаат голема брзина на пумпање, висок вакуум, низок шум и оптимизација за исполнување на повисоки технички барања.
Општо земено, улогата на турбомолекуларната пумпа во машината за офорт на плазма е незаменлива.Во индустријата за производство на полупроводници, турбомолекуларната пумпа стана една од потребната опрема, која игра важна улога во обезбедувањето на перформансите и стабилноста на машината за офорт со плазма.Со континуираниот развој и напредок на технологијата на полупроводници, побарувачката и опсегот на употреба на турбомолекуларните пумпи ќе продолжат да се прошируваат.Затоа, производителите на турбомолекуларни пумпи треба постојано да ги подобруваат перформансите и квалитетот на производот за да се задоволат барањата на индустријата за производство на полупроводници за повисоки перформанси и постабилна опрема.
Известување за авторски права:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. се залага за почитување и заштита на правата на интелектуална сопственост и го означува изворот на написите со јасни извори.Доколку откриете дека има проблеми со авторските права или други проблеми во содржината на оваа веб-локација, ве молиме контактирајте не за да се справиме со тоа.Контакт информации:marketing01@gpmcn.com
Време на објавување: Октомври-20-2023 година