Dina industri manufaktur semikonduktor ayeuna, echer plasma sareng pompa turbomolekul mangrupikeun dua téknologi konci anu penting.Plasma echer mangrupikeun alat penting dina fabrikasi komponén mikroéléktronik, sedengkeun pompa turbomolekul dirancang pikeun vakum anu luhur sareng laju ngompa anu luhur.Dina tulisan ieu, urang bahas peran sareng pentingna pompa turbomolekul dina etchers plasma.
eusi
1. Prinsip kerja mesin etching plasma
2. Prinsip kerja pompa turbomolecular
3. Aplikasi tina pompa turbomolecular dina mesin etching plasma
4. Kaunggulan jeung watesan pompa turbomolecular
5. Kacindekan
1. Prinsip kerja mesin etching plasma:
Plasma echer mangrupikeun alat pikeun ngolah bahan ku ngagunakeun plasma dina kamar vakum.Plasma nyaéta kumpulan partikel muatan anu dihasilkeun ku ionisasi gas.Kapadetan sareng arah gerak plasma tiasa dikontrol ku médan listrik atanapi magnét frékuénsi luhur.Salila etching plasma, hiji plasma narajang beungeut bahan gawé sarta lifts eta kaluar atawa erodes eta, nyieun struktur dipikahoyong.
Sanajan kitu, jumlah badag gas haseup dihasilkeun salila etching plasma.Gas haseup ieu kalebet bahan damel sareng najis dina gas, sareng sajabana, anu kedah dikaluarkeun tina sistem vakum.Ku alatan éta, mesin etching plasma perlu sistem vakum efisien pikeun mastikeun stabilitas jeung akurasi prosés etching.
2. Prinsip kerja pompa turbomolecular:
Pompa turbomolekul mangrupikeun salah sahiji pompa laju pompa anu paling sering dianggo dina sistem vakum.Gawéna ku spinning sakumpulan impeller puteran-speed tinggi pikeun ngompa gas kaluar tina chamber vakum sarta ngaluarkeun gas kana atmosfir.Dina pompa turbomolekul, gas mimiti asup ka pompa backing dimana eta dikomprés kana wewengkon tekanan tinggi saméméh dikirim ka pompa turbomolecular.
Dina pompa turbomolekul, gas dipompa ngaliwatan impeller puteran, sedengkeun dina pompa molekular gas direcah jadi molekul leutik.pompa turbomolecular bisa nyadiakeun vakum tinggi, sarta speed ngompa maranéhna bisa ngahontal 500 ~ 6000 L / s.Pikeun mesin etching plasma anu merlukeun vakum tinggi, pompa turbomolecular mangrupa bagian indispensable.
3. Aplikasi tina pompa turbomolecular dina mesin etching plasma:
Pompa Turbomolecular loba dipaké dina mesin etching plasma.Dina sistem vakum mesin etching plasma, pompa turbomolecular biasana dipaké salaku pompa utama pikeun mantuan ngahontal vakum tinggi.Nalika plasma pencét permukaan, éta ngahasilkeun sajumlah ageung gas haseup, kalebet bahan baku sésa-sésa sareng produk réaksi kimiawi.Gas haseup ieu kedah dipompa kaluar tina kamar vakum gancang sareng éfisién pikeun mastikeun stabilitas sareng réliabilitas prosés etching plasma.
Laju ngompa anu luhur sareng vakum anu luhur tina pompa turbomolekul ngajantenkeun aranjeunna pompa idéal.Dina echer plasma, pompa turbomolecular biasana disimpen dina unit pompa misah pikeun kadali vakum sarta tekanan gampang.Dina waktu nu sarua, dina raraga ngajaga pompa turbomolecular, perlu pikeun masang lapisan pompa mékanis jeung klep ngurangan tekanan di hareup pompa turbomolecular pikeun nyegah tekanan kaleuleuwihan sarta karuksakan kana pompa turbomolecular.
4. Kaunggulan jeung keterbatasan pompa turbomolecular:
Pompa Turbomolecular gaduh seueur kaunggulan, sapertos laju ngompa anu luhur, vakum anu luhur, noise anu rendah, sareng reliabilitas anu luhur.Laju ngompa tinggi tina pompa turbomolecular bisa ningkatkeun gelar vakum, sarta dina waktos anu sareng bisa ngurangan waktu ngompa, kukituna ngaronjatkeun efisiensi produksi.Noise lemah sareng reliabiliti tinggi tina pompa turbomolecular oge salah sahiji kaunggulan na, nu hartina pompa turbomolecular bisa ngajaga operasi efisien pikeun periode nu leuwih lila, ngurangan jumlah pangropéa sarta ngagantian.
Tapi, pompa turbomolekul ogé gaduh sababaraha watesan, sapertos efisiensi ngompa rendah pikeun gas-gas anu tangtu.Salaku conto, pompa turbomolekul gaduh efisiensi ékstraksi anu rendah pikeun hidrogén, sareng pompa turbomolekul ogé ngagaduhan syarat anu tangtu pikeun tekanan sareng suhu gas.Kukituna, dina aplikasi praktis, perlu milih jinis sareng parameter kerja pompa turbomolekul dumasar kana kaayaan spésifik pikeun mastikeun operasi normal sareng éfisiénna.
5. Kacindekan:
Dina prosés manufaktur semikonduktor, mesin etching plasma mangrupa salah sahiji parabot pohara penting.Dina sistem vakum mesin etching plasma, pompa turbomolecular, salaku pompa utama, muterkeun hiji peran penting dina achieving vakum tinggi na stabil prosés etching plasma.Pompa Turbomolecular gaduh laju ngompa anu luhur, vakum anu luhur, noise anu lemah sareng optimasi pikeun nyumponan syarat téknis anu langkung luhur.
Umumna disebutkeun, peran pompa turbomolecular dina mesin etching plasma teu bisa diganti.Dina industri manufaktur semikonduktor, pompa turbomolecular geus jadi salah sahiji parabot diperlukeun, nu muterkeun hiji peran penting dina mastikeun kinerja sarta stabilitas mesin etching plasma.Kalayan ngembangkeun kontinyu sareng kamajuan téknologi semikonduktor, paménta sareng ruang lingkup pamakean pompa turbomolekul bakal terus dilegakeun.Ku alatan éta, pabrik pompa turbomolecular kudu terus ngaronjatkeun kinerja produk jeung kualitas pikeun minuhan paménta industri manufaktur semikonduktor pikeun kinerja luhur jeung alat nu leuwih stabil.
Bewara hak cipta:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. ngajengkeun hormat sareng panyalindungan hak cipta intelektual sareng nunjukkeun sumber tulisan anu sumberna jelas.Lamun manggihan yén aya hak cipta atawa masalah sejenna dina eusi ramatloka ieu, mangga ngahubungan kami pikeun nungkulan eta.Inpormasi kontak:marketing01@gpmcn.com
waktos pos: Oct-20-2023