Günümüzün yarı iletken imalat endüstrisinde, plazma dağlayıcı ve turbomoleküler pompa iki önemli anahtar teknolojidir.Plazma aşındırıcı, mikroelektronik bileşenlerin üretiminde önemli bir araçtır; turbomoleküler pompa ise yüksek vakum ve yüksek pompalama hızı için tasarlanmıştır.Bu yazıda plazma dağlayıcılarda turbomoleküler pompaların rolünü ve önemini tartışıyoruz.
İçerik
1. Plazma aşındırma makinesinin çalışma prensibi
2. Turbomoleküler pompanın çalışma prensibi
3. Plazma aşındırma makinesinde turbomoleküler pompanın uygulanması
4. Turbomoleküler pompaların avantajları ve sınırlamaları
5. Sonuç
1. Plazma aşındırma makinesinin çalışma prensibi:
Plazma dağlayıcı, bir vakum odasında plazma kullanarak malzemeleri işlemek için kullanılan bir araçtır.Plazma, gaz iyonizasyonuyla üretilen yüklü parçacıkların bir topluluğudur.Plazmanın yoğunluğu ve hareket yönü, yüksek frekanslı elektrik veya manyetik alanlarla kontrol edilebilir.Plazma aşındırma sırasında, bir plazma çalışma malzemesinin yüzeyine çarpar ve onu kaldırır veya aşındırarak istenen yapıyı oluşturur.
Ancak plazma aşındırma sırasında büyük miktarda egzoz gazı üretilir.Bu egzoz gazları, vakum sistemi yoluyla boşaltılması gereken çalışma malzemelerini ve gazdaki vb. yabancı maddeleri içerir.Bu nedenle, plazma aşındırma makinesinin, aşındırma işleminin stabilitesini ve doğruluğunu sağlamak için verimli bir vakum sistemine ihtiyacı vardır.
2. Turbomoleküler pompanın çalışma prensibi:
Turbomoleküler pompalar, vakum sistemlerinde en yaygın kullanılan yüksek pompalama hızlı pompalardan biridir.Gazı vakum odasından dışarı pompalamak ve gazı atmosfere atmak için bir dizi yüksek hızlı dönen pervaneyi döndürerek çalışır.Bir turbomoleküler pompada, gaz ilk önce bir destek pompasına girer ve burada turbomoleküler pompaya gönderilmeden önce yüksek basınç bölgesine sıkıştırılır.
Turbomoleküler bir pompada gaz, dönen bir pervane aracılığıyla pompalanırken, moleküler bir pompada gaz daha küçük moleküllere bölünür.Turbomoleküler pompalar yüksek vakum sağlayabilir ve pompalama hızları 500~6000 L/s'ye ulaşabilir.Yüksek vakum gerektiren plazma aşındırma makineleri için turbomoleküler pompalar vazgeçilmez bir parçadır.
3. Plazma aşındırma makinesinde turbomoleküler pompanın uygulanması:
Turbomoleküler pompalar plazma aşındırma makinelerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.Bir plazma aşındırma makinesinin vakum sisteminde, yüksek vakumun elde edilmesine yardımcı olmak için genellikle ana pompa olarak bir turbomoleküler pompa kullanılır.Plazma yüzeye çarptığında, artık hammaddeler ve kimyasal reaksiyon ürünleri de dahil olmak üzere büyük miktarda egzoz gazı üretir.Plazma aşındırma işleminin stabilitesini ve güvenilirliğini sağlamak için bu egzoz gazlarının vakum odasından hızlı ve verimli bir şekilde pompalanması gerekir.
Turbomoleküler pompaların yüksek pompalama hızı ve yüksek vakumu onları ideal pompalar haline getirir.Bir plazma dağlayıcıda turbomoleküler pompa, vakum ve basıncın kolay kontrolü için genellikle ayrı bir pompa ünitesine yerleştirilir.Aynı zamanda turbomoleküler pompayı korumak amacıyla, aşırı basıncı ve turbomoleküler pompanın zarar görmesini önlemek için turbomoleküler pompanın önüne bir kat mekanik pompa ve basınç düşürücü valf takılması gerekir.
4. Turbomoleküler pompaların avantajları ve sınırlamaları:
Turbomoleküler pompaların yüksek pompalama hızı, yüksek vakum, düşük gürültü ve yüksek güvenilirlik gibi birçok avantajı vardır.Turbomoleküler pompanın yüksek pompalama hızı, vakum derecesini artırabilir ve aynı zamanda pompalama süresini kısaltarak üretim verimliliğini artırabilir.Turbomoleküler pompanın düşük gürültüsü ve yüksek güvenilirliği de avantajlarından biridir; bu, turbomoleküler pompanın daha uzun süre verimli çalışmasını sağlayarak bakım ve değiştirme sayısını azaltabileceği anlamına gelir.
Bununla birlikte, turbomoleküler pompaların belirli gazlar için düşük pompalama verimliliği gibi bazı sınırlamaları da vardır.Örneğin, turbomoleküler pompalar hidrojen için düşük ekstraksiyon verimliliğine sahiptir ve turbomoleküler pompaların ayrıca gaz basıncı ve sıcaklık açısından belirli gereksinimleri vardır.Bu nedenle pratik uygulamalarda, normal ve verimli çalışmasını sağlamak için turbomoleküler pompanın tipini ve çalışma parametrelerini özel duruma göre seçmek gerekir.
5. Sonuç:
Yarı iletken üretim sürecinde plazma aşındırma makinesi çok önemli ekipmanlardan biridir.Plazma aşındırma makinesinin vakum sisteminde, ana pompa olarak turbomoleküler pompa, yüksek vakum ve stabil plazma aşındırma işleminin elde edilmesinde hayati bir rol oynar.Turbomoleküler pompalar, daha yüksek teknik gereksinimleri karşılamak için yüksek pompalama hızına, yüksek vakuma, düşük gürültüye ve optimizasyona sahiptir.
Genel olarak konuşursak, plazma aşındırma makinesindeki turbomoleküler pompanın rolü yeri doldurulamaz.Yarı iletken imalat endüstrisinde, plazma aşındırma makinesinin performansının ve stabilitesinin sağlanmasında önemli bir rol oynayan turbomoleküler pompa, gerekli ekipmanlardan biri haline gelmiştir.Yarı iletken teknolojisinin sürekli gelişmesi ve ilerlemesiyle birlikte, turbomoleküler pompalara olan talep ve kullanım kapsamı genişlemeye devam edecektir.Bu nedenle, turbomoleküler pompa üreticilerinin, yarı iletken üretim endüstrisinin daha yüksek performans ve daha kararlı ekipman talebini karşılamak için ürün performansını ve kalitesini sürekli olarak iyileştirmesi gerekmektedir.
Telif hakkı bildirimi:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. fikri mülkiyet haklarına saygı gösterilmesini ve korunmasını savunur ve makalelerin kaynağını açık kaynaklarla belirtir.Bu web sitesinin içeriğinde telif hakkı veya başka sorunlar olduğunu tespit ederseniz, lütfen bu sorunu çözmek için bizimle iletişime geçin.İletişim bilgileri:marketing01@gpmcn.com
Gönderim zamanı: 20 Ekim 2023