आजको अर्धचालक निर्माण उद्योगमा, प्लाज्मा एचर र टर्बोमोलेकुलर पम्प दुई महत्त्वपूर्ण प्रमुख प्रविधिहरू हुन्।प्लाज्मा एचर माइक्रोइलेक्ट्रोनिक कम्पोनेन्टहरूको निर्माणमा एक आवश्यक उपकरण हो, जबकि टर्बोमोलेकुलर पम्प उच्च भ्याकुम र उच्च पम्पिंग गतिको लागि डिजाइन गरिएको हो।यस लेखमा, हामी प्लाज्मा ईचरहरूमा टर्बोमोलिक्युलर पम्पहरूको भूमिका र महत्त्वबारे छलफल गर्छौं।
सामग्री
1. प्लाज्मा नक्काशी मिसिन को कार्य सिद्धान्त
2. टर्बोमोलेकुलर पम्प को कार्य सिद्धान्त
3. प्लाज्मा इचिङ मेसिनमा टर्बोमोलेकुलर पम्पको प्रयोग
4. टर्बोमोलेकुलर पम्पहरूको फाइदा र सीमितताहरू
5. निष्कर्ष
1. प्लाज्मा नक्काशी मिसिन को कार्य सिद्धान्त:
प्लाज्मा एचर भ्याकुम चेम्बरमा प्लाज्मा प्रयोग गरेर सामग्री प्रशोधन गर्ने उपकरण हो।प्लाज्मा ग्यास आयनीकरण द्वारा उत्पादित चार्ज कणहरूको संग्रह हो।प्लाज्माको गतिको घनत्व र दिशा उच्च आवृत्तिको विद्युतीय वा चुम्बकीय क्षेत्रहरूद्वारा नियन्त्रण गर्न सकिन्छ।प्लाज्मा नक्काशीको समयमा, प्लाज्माले काम गर्ने सामग्रीको सतहमा प्रहार गर्दछ र यसलाई हटाउँछ वा यसलाई मेटाउँछ, इच्छित संरचना सिर्जना गर्दछ।
यद्यपि, प्लाज्मा नक्काशीको समयमा ठूलो मात्रामा निकास ग्यास उत्पन्न हुन्छ।यी निकास ग्यासहरूमा काम गर्ने सामग्री र ग्यासमा रहेका अशुद्धताहरू समावेश हुन्छन्, जसलाई भ्याकुम प्रणाली मार्फत डिस्चार्ज गर्न आवश्यक हुन्छ।तसर्थ, प्लाज्मा इचिङ मेसिनलाई नक्काशी प्रक्रियाको स्थिरता र शुद्धता सुनिश्चित गर्न कुशल भ्याकुम प्रणाली चाहिन्छ।
2. टर्बोमोलेकुलर पम्प को कार्य सिद्धान्त:
टर्बोमोलेकुलर पम्पहरू भ्याकुम प्रणालीहरूमा सबैभन्दा धेरै प्रयोग हुने उच्च पम्पिङ स्पीड पम्पहरू मध्ये एक हो।यसले भ्याकुम चेम्बरबाट ग्यास पम्प गर्न र वायुमण्डलमा ग्यास बाहिर निकाल्न उच्च-गति घुम्ने इम्पेलरहरूको सेट घुमाएर काम गर्छ।टर्बोमोलेकुलर पम्पमा, ग्यास पहिले ब्याकिङ पम्पमा प्रवेश गर्छ जहाँ यसलाई टर्बोमोलेकुलर पम्पमा पठाउनु अघि उच्च-दबाव क्षेत्रमा संकुचित गरिन्छ।
टर्बोमोलेकुलर पम्पमा, ग्यास घुमाउने इम्पेलर मार्फत पम्प गरिन्छ, जबकि आणविक पम्पमा ग्यासलाई साना अणुहरूमा विभाजन गरिन्छ।टर्बोमोलेकुलर पम्पहरूले उच्च वैक्यूम प्रदान गर्न सक्छ, र तिनीहरूको पम्पिङ गति 500 ~ 6000 L/s पुग्न सक्छ।उच्च भ्याकुम चाहिने प्लाज्मा इचिङ मेसिनहरूको लागि, टर्बोमोलेकुलर पम्पहरू अपरिहार्य भाग हुन्।
3. प्लाज्मा इचिङ मेसिनमा टर्बोमोलेकुलर पम्पको प्रयोग:
टर्बोमोलेकुलर पम्पहरू प्लाज्मा इचिङ मेसिनहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।प्लाज्मा एचिङ मेसिनको भ्याकुम प्रणालीमा, टर्बोमोलेकुलर पम्प सामान्यतया उच्च भ्याकुम प्राप्त गर्न मद्दत गर्न मुख्य पम्पको रूपमा प्रयोग गरिन्छ।जब प्लाज्मा सतहमा हिट हुन्छ, यसले अवशिष्ट कच्चा माल र रासायनिक प्रतिक्रिया उत्पादनहरू सहित ठूलो मात्रामा निकास ग्यास उत्पादन गर्दछ।यी निकास ग्याँसहरू प्लाज्मा नक्काशी प्रक्रियाको स्थिरता र विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्न भ्याकुम चेम्बरबाट छिटो र कुशलतापूर्वक पम्प गर्न आवश्यक छ।
उच्च पम्पिङ गति र टर्बोमोलेकुलर पम्पहरूको उच्च भ्याकुमले तिनीहरूलाई आदर्श पम्पहरू बनाउँछ।प्लाज्मा एचरमा, टर्बोमोलेकुलर पम्प सामान्यतया भ्याकुम र दबाबको सजिलो नियन्त्रणको लागि छुट्टै पम्प इकाईमा राखिन्छ।एकै समयमा, टर्बोमोलेकुलर पम्पको सुरक्षा गर्न, टर्बोमोलेकुलर पम्पको अत्याधिक दबाब र क्षतिबाट बच्न टर्बोमोलेकुलर पम्पको अगाडि मेकानिकल पम्पको तह र दबाव घटाउने भल्भ स्थापना गर्न आवश्यक छ।
4. टर्बोमोलेकुलर पम्पहरूको फाइदा र सीमाहरू:
टर्बोमोलेकुलर पम्पका धेरै फाइदाहरू छन्, जस्तै उच्च पम्पिङ गति, उच्च भ्याकुम, कम आवाज, र उच्च विश्वसनीयता।टर्बोमोलेकुलर पम्पको उच्च पम्पिङ गतिले भ्याकुम डिग्री बढाउन सक्छ, र एकै समयमा पम्पिङ समय घटाउन सक्छ, जसले गर्दा उत्पादन क्षमता बढ्छ।टर्बोमोलेकुलर पम्पको कम आवाज र उच्च विश्वसनीयता पनि यसको फाइदाहरू मध्ये एक हो, जसको मतलब यो हो कि टर्बोमोलेकुलर पम्पले लामो समयको लागि कुशल सञ्चालन कायम राख्न सक्छ, मर्मत र प्रतिस्थापनको संख्या घटाउँदै।
यद्यपि, टर्बोमोलेकुलर पम्पहरूमा पनि केही सीमितताहरू छन्, जस्तै निश्चित ग्यासहरूको लागि कम पम्पिङ दक्षता।उदाहरण को लागी, टर्बोमोलेकुलर पम्पहरुमा हाइड्रोजन को लागी कम निकासी दक्षता छ, र टर्बोमोलेकुलर पम्पहरु को ग्यास दबाव र तापमान को लागी केहि आवश्यकताहरु छन्।त्यसकारण, व्यावहारिक अनुप्रयोगहरूमा, टर्बोमोलेकुलर पम्पको प्रकार र काम गर्ने मापदण्डहरू विशिष्ट परिस्थिति अनुसार यसको सामान्य र प्रभावकारी सञ्चालन सुनिश्चित गर्न आवश्यक छ।
5. निष्कर्ष:
अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा, प्लाज्मा नक्काशी मेसिन एक धेरै महत्त्वपूर्ण उपकरण हो।प्लाज्मा इचिङ मेसिनको भ्याकुम प्रणालीमा, टर्बोमोलेकुलर पम्प, मुख्य पम्पको रूपमा, उच्च भ्याकुम र स्थिर प्लाज्मा नक्काशी प्रक्रिया प्राप्त गर्न महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ।टर्बोमोलेकुलर पम्पहरूमा उच्च पम्पिङ गति, उच्च भ्याकुम, कम आवाज र उच्च प्राविधिक आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलन हुन्छ।
सामान्यतया, प्लाज्मा इचिङ मेसिनमा टर्बोमोलेकुलर पम्पको भूमिका अपूरणीय छ।अर्धचालक निर्माण उद्योगमा, टर्बोमोलेकुलर पम्प आवश्यक उपकरणहरू मध्ये एक भएको छ, जसले प्लाज्मा इचिंग मेसिनको प्रदर्शन र स्थिरता सुनिश्चित गर्न महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ।अर्धचालक प्रविधिको निरन्तर विकास र प्रगतिको साथ, टर्बोमोलेकुलर पम्पहरूको प्रयोगको माग र दायरा विस्तार गर्न जारी रहनेछ।तसर्थ, टर्बोमोलेकुलर पम्प निर्माताहरूले उच्च प्रदर्शन र थप स्थिर उपकरणहरूको लागि अर्धचालक निर्माण उद्योगको माग पूरा गर्न लगातार उत्पादन प्रदर्शन र गुणस्तर सुधार गर्न आवश्यक छ।
प्रतिलिपि अधिकार सूचना:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd ले बौद्धिक सम्पत्ति अधिकारको सम्मान र संरक्षणको वकालत गर्दछ र स्पष्ट स्रोतहरू भएका लेखहरूको स्रोतलाई संकेत गर्दछ।यदि तपाईंले यस वेबसाइटको सामग्रीमा प्रतिलिपि अधिकार वा अन्य समस्याहरू फेला पार्नुभयो भने, कृपया यसलाई समाधान गर्न हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।सम्पर्क जानकारी:marketing01@gpmcn.com
पोस्ट समय: अक्टोबर-20-2023