Бүгінгі жартылай өткізгіштерді өндіру өнеркәсібінде плазмалық эфир және турбомолекулярлық сорғы екі маңызды негізгі технология болып табылады.Плазмалық еріткіш микроэлектрондық компоненттерді жасауда маңызды құрал болып табылады, ал турбомолекулярлық сорғы жоғары вакуумға және жоғары айдау жылдамдығына арналған.Бұл мақалада біз плазмалық эфирлердегі турбомолекулярлық сорғылардың рөлі мен маңыздылығын талқылаймыз.
Мазмұны
1. Плазмалық оюлау машинасының жұмыс принципі
2. Турбомолекулалық насостың жұмыс принципі
3. Турбомолекулярлық сорғыны плазмалық оюлау машинасында қолдану
4. Турбомолекулярлық сорғылардың артықшылықтары мен шектеулері
5. Қорытынды
1. Плазмалық оюлау машинасының жұмыс принципі:
Плазмалық еріткіш - вакуумдық камерада плазманы қолдану арқылы материалдарды өңдеуге арналған құрал.Плазма - газды иондау нәтижесінде пайда болатын зарядталған бөлшектердің жиынтығы.Плазма қозғалысының тығыздығы мен бағытын жоғары жиілікті электр немесе магнит өрістерімен басқаруға болады.Плазмалық оюлау кезінде плазма жұмыс материалының бетіне соғылып, оны көтеріп немесе оны эрозияға ұшыратып, қажетті құрылымды жасайды.
Дегенмен, плазмадан тазарту кезінде пайдаланылған газдың көп мөлшері пайда болады.Бұл пайдаланылған газдарға вакуумдық жүйе арқылы шығаруды қажет ететін жұмыс материалдары мен газдағы қоспалар және т.б.Сондықтан, плазмалық оюлау машинасына ою процесінің тұрақтылығы мен дәлдігін қамтамасыз ету үшін тиімді вакуумдық жүйе қажет.
2. Турбомолекулалық сорғының жұмыс принципі:
Турбомолекулярлық сорғылар вакуумдық жүйелерде жиі қолданылатын жоғары жылдамдықты сорғылардың бірі болып табылады.Ол вакуумдық камерадан газды айдау және газды атмосфераға шығару үшін жоғары жылдамдықты айналмалы дөңгелектер жинағын айналдыру арқылы жұмыс істейді.Турбомолекулярлық сорғыда газ алдымен турбомолекулярлық сорғыға жіберілмес бұрын жоғары қысымды аймаққа сығылған тірек сорғыға түседі.
Турбомолекулалық сорғыда газ айналмалы жұмыс дөңгелегі арқылы айдалады, ал молекулалық сорғыда газ кішірек молекулаларға ыдырайды.Турбомолекулярлық сорғылар жоғары вакуумды қамтамасыз ете алады және олардың айдау жылдамдығы 500~6000 л/с жетуі мүмкін.Жоғары вакуумды қажет ететін плазмалық ою машиналары үшін турбомолекулалық сорғылар таптырмас бөлік болып табылады.
3. Турбомолекулярлық сорғыны плазмалық оюлау машинасында қолдану:
Турбомолекулярлық сорғылар плазмалық оюлау машиналарында кеңінен қолданылады.Плазмалық өңдеу машинасының вакуумдық жүйесінде жоғары вакуумға қол жеткізуге көмектесетін негізгі сорғы ретінде турбомолекулярлық сорғы әдетте пайдаланылады.Плазма бетіне түскенде, қалдық шикізат пен химиялық реакция өнімдерін қоса алғанда, көп мөлшерде пайдаланылған газдар шығарады.Бұл пайдаланылған газдарды вакуумдық камерадан тез және тиімді сорып алу қажет, бұл плазмалық ою процесінің тұрақтылығы мен сенімділігін қамтамасыз етеді.
Турбомолекулярлық сорғылардың жоғары айдау жылдамдығы және жоғары вакуумы оларды тамаша сорғылар етеді.Плазмалық еріткіште турбомолекулярлық сорғы әдетте вакуум мен қысымды оңай басқару үшін бөлек сорғы қондырғысына орналастырылады.Бұл ретте турбомолекулярлық сорғыны қорғау үшін шамадан тыс қысымды және турбомолекулярлық сорғыны зақымдауды болдырмау үшін турбомолекулярлық сорғы алдында механикалық сорғы қабатын және қысымды төмендететін клапанды орнату қажет.
4. Турбомолекулярлық сорғылардың артықшылықтары мен шектеулері:
Турбомолекулярлық сорғылардың жоғары айдау жылдамдығы, жоғары вакуум, төмен шу және жоғары сенімділік сияқты көптеген артықшылықтары бар.Турбомолекулярлық сорғының жоғары айдау жылдамдығы вакуумдық дәрежесін арттыруы мүмкін және сонымен бірге айдау уақытын қысқартады, осылайша өндіріс тиімділігін арттырады.Турбомолекулярлық сорғының төмен шуы және жоғары сенімділігі де оның артықшылықтарының бірі болып табылады, бұл турбомолекулярлық сорғы ұзақ уақыт бойы тиімді жұмыс істей алады, техникалық қызмет көрсету және ауыстыру санын азайтады.
Дегенмен, турбомолекулярлық сорғылардың кейбір шектеулері бар, мысалы, белгілі бір газдар үшін төмен сорғы тиімділігі.Мысалы, турбомолекулярлық сорғылардың сутегі үшін экстракция тиімділігі төмен, ал турбомолекулярлық сорғыларда газ қысымы мен температурасына да белгілі талаптар қойылады.Сондықтан практикалық қолдануда оның қалыпты және тиімді жұмысын қамтамасыз ету үшін нақты жағдайға сәйкес турбомолекулярлық сорғының түрі мен жұмыс параметрлерін таңдау қажет.
5. Қорытынды:
Жартылай өткізгішті өндіру процесінде плазмалық ою машинасы өте маңызды жабдықтың бірі болып табылады.Плазмалық сызу машинасының вакуумдық жүйесінде турбомолекулярлық сорғы негізгі сорғы ретінде жоғары вакуумды және тұрақты плазманы өңдеу процесіне қол жеткізуде маңызды рөл атқарады.Турбомолекулярлық сорғылар жоғары айдау жылдамдығына, жоғары вакуумға, төмен шуға және жоғары техникалық талаптарды қанағаттандыру үшін оңтайландыруға ие.
Жалпы айтқанда, плазмалық ою машинасында турбомолекулярлық сорғының рөлі алмастырылмайды.Жартылай өткізгішті өндіру өнеркәсібінде турбомолекулярлық сорғы плазмалық ою машинасының өнімділігі мен тұрақтылығын қамтамасыз етуде маңызды рөл атқаратын қажетті жабдықтың біріне айналды.Жартылай өткізгіштер технологиясының үздіксіз дамуы мен прогрессімен турбомолекулярлық сорғылардың сұранысы мен қолдану аясы кеңейе береді.Сондықтан турбомолекулярлық сорғы өндірушілері жартылай өткізгіштерді өндіру өнеркәсібінің жоғары өнімділікке және тұрақты жабдыққа сұранысын қанағаттандыру үшін өнімнің өнімділігі мен сапасын үздіксіз жақсартуы керек.
Авторлық құқық туралы ескерту:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. зияткерлік меншік құқықтарын құрметтеу мен қорғауды жақтайды және анық дереккөздері бар мақалалардың көзін көрсетеді.Осы веб-сайттың мазмұнында авторлық құқық немесе басқа мәселелер бар екенін байқасаңыз, оны шешу үшін бізге хабарласыңыз.Байланыс ақпараты:marketing01@gpmcn.com
Хабарлама уақыты: 20 қазан-2023 ж