في صناعة تصنيع أشباه الموصلات اليوم، يعد حفر البلازما والمضخة التوربينية الجزيئية من التقنيات الرئيسية المهمة.يعد جهاز حفر البلازما أداة أساسية في تصنيع المكونات الإلكترونية الدقيقة، في حين تم تصميم المضخة الجزيئية التوربينية للفراغ العالي وسرعة الضخ العالية.في هذه المقالة، نناقش دور وأهمية المضخات الجزيئية التوربينية في محفورات البلازما.
محتوى
1. مبدأ عمل آلة النقش بالبلازما
2. مبدأ عمل المضخة التربينية الجزيئية
3. تطبيق المضخة التربينية الجزيئية في آلة النقش بالبلازما
4. مزايا وقيود المضخات الجزيئية التوربينية
5. الخلاصة
1. مبدأ العمل لآلة الحفر بالبلازما:
آلة حفر البلازما هي أداة لمعالجة المواد باستخدام البلازما في غرفة مفرغة.البلازما عبارة عن مجموعة من الجزيئات المشحونة الناتجة عن تأين الغاز.يمكن التحكم في كثافة واتجاه حركة البلازما بواسطة مجالات كهربائية أو مغناطيسية عالية التردد.أثناء الحفر بالبلازما، تضرب البلازما سطح مادة العمل وترفعها أو تؤدي إلى تآكلها، مما يؤدي إلى إنشاء الهيكل المطلوب.
ومع ذلك، يتم إنشاء كمية كبيرة من غاز العادم أثناء حفر البلازما.تشتمل غازات العادم هذه على مواد العمل والشوائب الموجودة في الغاز، وما إلى ذلك، والتي يجب تفريغها من خلال نظام التفريغ.ولذلك، فإن آلة الحفر بالبلازما تحتاج إلى نظام فراغ فعال لضمان استقرار ودقة عملية الحفر.
2. مبدأ عمل المضخة التربينية الجزيئية:
تعد المضخات التوربينية الجزيئية واحدة من المضخات عالية السرعة الأكثر استخدامًا في أنظمة التفريغ.إنه يعمل عن طريق تدوير مجموعة من الدفاعات الدوارة عالية السرعة لضخ الغاز من غرفة التفريغ وطرد الغاز إلى الغلاف الجوي.في المضخة التوربينية الجزيئية، يدخل الغاز أولاً إلى مضخة مساندة حيث يتم ضغطه في منطقة الضغط العالي قبل إرساله إلى المضخة الجزيئية التوربينية.
في المضخة التوربينية الجزيئية، يتم ضخ الغاز من خلال دافعة دوارة، بينما في المضخة الجزيئية يتم تقسيم الغاز إلى جزيئات أصغر.يمكن أن توفر المضخات التوربينية الجزيئية فراغًا عاليًا، ويمكن أن تصل سرعة ضخها إلى 500~6000 لتر/ثانية.بالنسبة لآلات الحفر بالبلازما التي تتطلب فراغًا عاليًا، تعد المضخات الجزيئية التوربينية جزءًا لا غنى عنه.
3. تطبيق المضخة التربينية الجزيئية في آلة النقش بالبلازما:
تستخدم المضخات التوربينية الجزيئية على نطاق واسع في آلات حفر البلازما.في نظام التفريغ لآلة النقش بالبلازما، عادة ما يتم استخدام المضخة التوربينية الجزيئية كمضخة رئيسية للمساعدة في تحقيق فراغ عالي.عندما تضرب البلازما السطح، فإنها تنتج كمية كبيرة من غاز العادم، بما في ذلك المواد الخام المتبقية ومنتجات التفاعل الكيميائي.يجب ضخ غازات العادم هذه من غرفة التفريغ بسرعة وكفاءة لضمان استقرار وموثوقية عملية النقش بالبلازما.
إن سرعة الضخ العالية والفراغ العالي للمضخات الجزيئية التوربينية تجعلها مضخات مثالية.في آلة حفر البلازما، يتم عادةً وضع المضخة التربينية الجزيئية في وحدة ضخ منفصلة لسهولة التحكم في الفراغ والضغط.في الوقت نفسه، من أجل حماية المضخة التوربينية الجزيئية، من الضروري تركيب طبقة من المضخة الميكانيكية وصمام تخفيض الضغط أمام المضخة التوربينية الجزيئية لتجنب الضغط الزائد وتلف المضخة التوربينية الجزيئية.
4. مزايا وقيود المضخات الجزيئية التوربينية:
تتمتع المضخات التوربينية الجزيئية بالعديد من المزايا، مثل سرعة الضخ العالية، والفراغ العالي، والضوضاء المنخفضة، والموثوقية العالية.يمكن لسرعة الضخ العالية للمضخة التوربينية الجزيئية أن تزيد من درجة الفراغ، وفي الوقت نفسه يمكن أن تقلل من وقت الضخ، وبالتالي زيادة كفاءة الإنتاج.يعد انخفاض مستوى الضجيج والموثوقية العالية للمضخة التوربينية الجزيئية أيضًا إحدى مزاياها، مما يعني أن المضخة الجزيئية التوربينية يمكنها الحفاظ على التشغيل الفعال لفترة أطول من الوقت، مما يقلل من عدد عمليات الصيانة والاستبدال.
ومع ذلك، فإن المضخات الجزيئية التوربينية لها أيضًا بعض القيود، مثل انخفاض كفاءة الضخ لبعض الغازات.على سبيل المثال، تتمتع المضخات الجزيئية التوربينية بكفاءة منخفضة في استخلاص الهيدروجين، كما أن للمضخات الجزيئية التوربينية أيضًا متطلبات معينة لضغط الغاز ودرجة حرارته.لذلك، في التطبيقات العملية، من الضروري تحديد النوع ومعلمات العمل للمضخة التوربينية الجزيئية وفقًا للحالة المحددة لضمان تشغيلها الطبيعي والفعال.
5. الخلاصة:
في عملية تصنيع أشباه الموصلات، تعد آلة النقش بالبلازما واحدة من المعدات المهمة جدًا.في نظام الفراغ لآلة نقش البلازما، تلعب المضخة التوربينية الجزيئية، باعتبارها المضخة الرئيسية، دورًا حيويًا في تحقيق عملية نقش بلازما عالية الفراغ ومستقرة.تتميز المضخات التوربينية الجزيئية بسرعة ضخ عالية، وفراغ عالي، وضوضاء منخفضة، وتحسين لتلبية المتطلبات الفنية الأعلى.
بشكل عام، دور المضخة التوربينية الجزيئية في آلة الحفر بالبلازما لا يمكن الاستغناء عنه.في صناعة تصنيع أشباه الموصلات، أصبحت المضخة التوربينية الجزيئية واحدة من المعدات الضرورية، والتي تلعب دورًا مهمًا في ضمان أداء واستقرار آلة الحفر بالبلازما.مع التطور المستمر والتقدم في تكنولوجيا أشباه الموصلات، سيستمر الطلب ونطاق استخدام المضخات الجزيئية التوربينية في التوسع.لذلك، يحتاج مصنعو المضخات التوربينية الجزيئية إلى تحسين أداء المنتج وجودته بشكل مستمر لتلبية طلب صناعة تصنيع أشباه الموصلات على أداء أعلى ومعدات أكثر استقرارًا.
حقوق التأليف:
تدعو شركة GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. إلى احترام وحماية حقوق الملكية الفكرية وتشير إلى مصدر المقالات بمصادر واضحة.إذا وجدت أن هناك حقوق الطبع والنشر أو مشاكل أخرى في محتوى هذا الموقع، يرجى الاتصال بنا للتعامل معها.معلومات الاتصال:marketing01@gpmcn.com
وقت النشر: 20 أكتوبر 2023