Fl-industrija tal-manifattura tas-semikondutturi tal-lum, l-inċiżur tal-plażma u l-pompa turbomolekulari huma żewġ teknoloġiji ewlenin importanti.Etcher tal-plażma huwa għodda essenzjali fil-fabbrikazzjoni ta 'komponenti mikroelettroniċi, filwaqt li pompa turbomolekulari hija mfassla għal vakwu għoli u veloċità għolja ta' ippumpjar.F'dan l-artikolu, niddiskutu r-rwol u l-importanza tal-pompi turbomolekulari fl-inċiżuri tal-plażma.
Kontenut
1. Prinċipju ta 'ħidma tal-magna tal-inċiżjoni tal-plażma
2. Prinċipju ta 'ħidma tal-pompa turbomolekulari
3. Applikazzjoni ta 'pompa turbomolekulari fil-magna tal-inċiżjoni tal-plażma
4. Vantaġġi u limitazzjonijiet ta 'pompi turbomolekulari
5. Konklużjoni
1. Prinċipju ta 'ħidma tal-magna tal-inċiżjoni tal-plażma:
Etcher tal-plażma huwa għodda għall-ipproċessar ta 'materjali billi tuża plażma f'kamra tal-vakwu.Il-plażma hija ġabra ta 'partiċelli ċċarġjati prodotti mill-jonizzazzjoni tal-gass.Id-densità u d-direzzjoni tal-moviment tal-plażma jistgħu jiġu kkontrollati minn kampijiet elettriċi jew manjetiċi ta 'frekwenza għolja.Waqt l-inċiżjoni tal-plażma, plażma tolqot il-wiċċ tal-materjal tax-xogħol u tneħħiha jew tnaqqarha, u toħloq l-istruttura mixtieqa.
Madankollu, ammont kbir ta 'gass ta' l-egżost huwa ġġenerat waqt l-inċiżjoni tal-plażma.Dawn il-gassijiet tal-egżost jinkludu materjali tax-xogħol u impuritajiet fil-gass, eċċ., Li jeħtieġ li jiġu skarikati permezz tas-sistema tal-vakwu.Għalhekk, il-magna tal-inċiżjoni tal-plażma teħtieġ sistema ta 'vakwu effiċjenti biex tiżgura l-istabbiltà u l-eżattezza tal-proċess tal-inċiżjoni.
2. Prinċipju ta 'ħidma tal-pompa turbomolekulari:
Il-pompi turbomolekulari huma wieħed mill-pompi b'veloċità għolja ta 'ippumpjar l-aktar użati b'mod komuni fis-sistemi tal-vakwu.Taħdem billi ddawwar sett ta 'impellers li jduru b'veloċità għolja biex tippompja l-gass mill-kamra tal-vakwu u tkeċċi l-gass fl-atmosfera.F'pompa turbomolekulari, il-gass l-ewwel jidħol f'pompa ta 'rinforz fejn jiġi kkompressat f'reġjun ta' pressjoni għolja qabel ma jintbagħat lill-pompa turbomolekulari.
F'pompa turbomolekulari, il-gass jiġi ppumpjat permezz ta 'impeller li jdur, filwaqt li f'pompa molekulari l-gass jinqasam f'molekuli iżgħar.Pompi turbomolekulari jistgħu jipprovdu vakwu għoli, u l-veloċità tal-ippumpjar tagħhom tista 'tilħaq 500 ~ 6000 L/s.Għal magni tal-inċiżjoni tal-plażma li jeħtieġu vakwu għoli, pompi turbomolekulari huma parti indispensabbli.
3. Applikazzjoni ta 'pompa turbomolekulari fil-magna tal-inċiżjoni tal-plażma:
Il-pompi turbomolekulari jintużaw ħafna fil-magni tal-inċiżjoni tal-plażma.Fis-sistema tal-vakwu ta 'magna tal-inċiżjoni tal-plażma, pompa turbomolekulari normalment tintuża bħala l-pompa ewlenija biex tgħin biex jinkiseb vakwu għoli.Meta l-plażma tolqot il-wiċċ, tipproduċi ammont kbir ta 'gass tal-egżost, inkluż materja prima residwa u prodotti ta' reazzjoni kimika.Dawn il-gassijiet tal-egżost jeħtieġ li jiġu ppumpjati mill-kamra tal-vakwu malajr u b'mod effiċjenti biex jiżguraw l-istabbiltà u l-affidabbiltà tal-proċess tal-inċiżjoni tal-plażma.
Il-veloċità għolja tal-ippumpjar u l-vakwu għoli tal-pompi turbomolekulari jagħmluhom pompi ideali.F'inċiżur tal-plażma, il-pompa turbomolekulari ġeneralment titqiegħed f'unità ta 'pompa separata għal kontroll faċli tal-vakwu u l-pressjoni.Fl-istess ħin, sabiex tiġi protetta l-pompa turbomolekulari, huwa meħtieġ li jiġi installat saff ta 'pompa mekkanika u valv li jnaqqas il-pressjoni quddiem il-pompa turbomolekulari biex tiġi evitata pressjoni eċċessiva u ħsara lill-pompa turbomolekulari.
4. Vantaġġi u limitazzjonijiet tal-pompi turbomolekulari:
Il-pompi turbomolekulari għandhom ħafna vantaġġi, bħal veloċità għolja tal-ippumpjar, vakwu għoli, ħsejjes baxxi, u affidabilità għolja.Il-veloċità għolja tal-ippumpjar tal-pompa turbomolekulari tista 'żżid il-grad tal-vakwu, u fl-istess ħin tista' tnaqqas il-ħin tal-ippumpjar, u b'hekk tiżdied l-effiċjenza tal-produzzjoni.Il-ħoss baxx u l-affidabilità għolja tal-pompa turbomolekulari hija wkoll waħda mill-vantaġġi tagħha, li jfisser li l-pompa turbomolekulari tista 'żżomm tħaddim effiċjenti għal perjodu itwal ta' żmien, tnaqqas in-numru ta 'manutenzjoni u sostituzzjoni.
Madankollu, pompi turbomolekulari għandhom ukoll xi limitazzjonijiet, bħal effiċjenza baxxa tal-ippumpjar għal ċerti gassijiet.Pereżempju, pompi turbomolekulari għandhom effiċjenza baxxa ta 'estrazzjoni għall-idroġenu, u pompi turbomolekulari għandhom ukoll ċerti rekwiżiti għall-pressjoni u t-temperatura tal-gass.Għalhekk, f'applikazzjonijiet prattiċi, huwa meħtieġ li tagħżel it-tip u l-parametri tax-xogħol tal-pompa turbomolekulari skont is-sitwazzjoni speċifika biex tiżgura l-operat normali u effiċjenti tagħha.
5.Konklużjoni:
Fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi, il-magna tal-inċiżjoni tal-plażma hija waħda mit-tagħmir importanti ħafna.Fis-sistema tal-vakwu tal-magna tal-inċiżjoni tal-plażma, il-pompa turbomolekulari, bħala l-pompa prinċipali, għandha rwol vitali fil-kisba ta 'vakwu għoli u proċess stabbli tal-inċiżjoni tal-plażma.Il-pompi turbomolekulari għandhom veloċità għolja ta 'ippumpjar, vakwu għoli, ħsejjes baxxi u ottimizzazzjoni biex jissodisfaw rekwiżiti tekniċi ogħla.
B'mod ġenerali, ir-rwol tal-pompa turbomolekulari fil-magna tal-inċiżjoni tal-plażma huwa insostitwibbli.Fl-industrija tal-manifattura tas-semikondutturi, il-pompa turbomolekulari saret waħda mit-tagħmir meħtieġ, li għandha rwol importanti biex tiżgura l-prestazzjoni u l-istabbiltà tal-magna tal-inċiżjoni tal-plażma.Bl-iżvilupp kontinwu u l-progress tat-teknoloġija tas-semikondutturi, id-domanda u l-ambitu tal-użu tal-pompi turbomolekulari se jkomplu jespandu.Għalhekk, il-manifatturi tal-pompi turbomolekulari jeħtieġ li jtejbu kontinwament il-prestazzjoni u l-kwalità tal-prodott biex jissodisfaw id-domanda tal-industrija tal-manifattura tas-semikondutturi għal prestazzjoni ogħla u tagħmir aktar stabbli.
Avviż dwar id-drittijiet tal-awtur:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd favur ir-rispett u l-protezzjoni tad-drittijiet tal-proprjetà intellettwali u tindika s-sors ta 'artikoli b'sorsi ċari.Jekk issib li hemm drittijiet tal-awtur jew problemi oħra fil-kontenut ta’ din il-websajt, jekk jogħġbok ikkuntattjana biex tittrattaha.Dettalji ta 'kuntatt:marketing01@gpmcn.com
Ħin tal-post: Ottubru-20-2023