დღევანდელი ნახევარგამტარების წარმოების ინდუსტრიაში, პლაზმური ეჩერი და ტურბომოლეკულური ტუმბო ორი მნიშვნელოვანი ძირითადი ტექნოლოგიაა.პლაზმური ეშერი არის აუცილებელი ინსტრუმენტი მიკროელექტრონული კომპონენტების წარმოებაში, ხოლო ტურბომოლეკულური ტუმბო განკუთვნილია მაღალი ვაკუუმისთვის და ტუმბოს მაღალი სიჩქარისთვის.ამ სტატიაში განვიხილავთ ტურბომოლეკულური ტუმბოების როლსა და მნიშვნელობას პლაზმურ ეტერებში.
შინაარსი
1. პლაზმური ოქროვის მანქანის მუშაობის პრინციპი
2. ტურბომოლეკულური ტუმბოს მუშაობის პრინციპი
3. ტურბომოლეკულური ტუმბოს გამოყენება პლაზმური ოქროვის მანქანაში
4. ტურბომოლეკულური ტუმბოების უპირატესობები და შეზღუდვები
5. დასკვნა
1. პლაზმური ჭურჭლის მუშაობის პრინციპი:
პლაზმური ეშერი არის ხელსაწყო მასალების დასამუშავებლად პლაზმის გამოყენებით ვაკუუმ კამერაში.პლაზმა არის დამუხტული ნაწილაკების კოლექცია, რომელიც წარმოიქმნება გაზის იონიზაციის შედეგად.პლაზმის მოძრაობის სიმკვრივე და მიმართულება შეიძლება კონტროლდებოდეს მაღალი სიხშირის ელექტრული ან მაგნიტური ველებით.პლაზმური ჭურვის დროს, პლაზმა ურტყამს სამუშაო მასალის ზედაპირს და აშორებს მას ან ანადგურებს მას, ქმნის სასურველ სტრუქტურას.
თუმცა, დიდი რაოდენობით გამონაბოლქვი აირი წარმოიქმნება პლაზმური ოქროვის დროს.ეს გამონაბოლქვი აირები მოიცავს სამუშაო მასალებს და აირში არსებულ მინარევებს და ა.შ., რომლებიც უნდა მოხდეს ვაკუუმური სისტემის მეშვეობით.ამიტომ, პლაზმური ოქროვის მანქანას სჭირდება ეფექტური ვაკუუმის სისტემა, რათა უზრუნველყოს ოქროვის პროცესის სტაბილურობა და სიზუსტე.
2. ტურბომოლეკულური ტუმბოს მუშაობის პრინციპი:
ტურბომოლეკულური ტუმბოები ერთ-ერთი ყველაზე ხშირად გამოყენებული მაღალი სიჩქარის ტუმბოა ვაკუუმ სისტემებში.იგი მუშაობს მაღალსიჩქარიანი მბრუნავი იმპულერების ნაკრების ტრიალებით, რათა აირი ამოტუმბოს ვაკუუმური კამერიდან და გამოდევნოს გაზი ატმოსფეროში.ტურბომოლეკულურ ტუმბოში გაზი პირველად შედის დამხმარე ტუმბოში, სადაც ის შეკუმშულია მაღალი წნევის რეგიონში, სანამ გაიგზავნება ტურბომოლეკულურ ტუმბოში.
ტურბომოლეკულურ ტუმბოში გაზი იტუმბება მბრუნავი იმპულსით, ხოლო მოლეკულურ ტუმბოში გაზი იშლება პატარა მოლეკულებად.ტურბომოლეკულურ ტუმბოებს შეუძლიათ უზრუნველყონ მაღალი ვაკუუმი და მათი ამოტუმბვის სიჩქარე შეიძლება მიაღწიოს 500-6000 ლ/წმ.პლაზმური ოქროვის მანქანებისთვის, რომლებიც საჭიროებენ მაღალ ვაკუუმს, ტურბომოლეკულური ტუმბოები შეუცვლელი ნაწილია.
3. ტურბომოლეკულური ტუმბოს გამოყენება პლაზმური ჭურვის მანქანაში:
ტურბომოლეკულური ტუმბოები ფართოდ გამოიყენება პლაზმური ოქროვის აპარატებში.პლაზმური ამონაჭრის აპარატის ვაკუუმურ სისტემაში ტურბომოლეკულური ტუმბო ჩვეულებრივ გამოიყენება, როგორც მთავარი ტუმბო, მაღალი ვაკუუმის მისაღწევად.როდესაც პლაზმა ზედაპირზე ხვდება, ის წარმოქმნის დიდი რაოდენობით გამონაბოლქვი აირს, მათ შორის ნარჩენ ნედლეულსა და ქიმიური რეაქციის პროდუქტებს.ამ გამონაბოლქვი აირების ამოტუმბვა უნდა მოხდეს ვაკუუმის კამერიდან სწრაფად და ეფექტურად, რათა უზრუნველვყოთ პლაზმური ჭურვის პროცესის სტაბილურობა და საიმედოობა.
ტუმბოს მაღალი სიჩქარე და ტურბომოლეკულური ტუმბოების მაღალი ვაკუუმი მათ იდეალურ ტუმბოებად აქცევს.პლაზმურ ეჩერში, ტურბომოლეკულური ტუმბო ჩვეულებრივ მოთავსებულია ცალკე ტუმბოს ერთეულში ვაკუუმის და წნევის მარტივი კონტროლისთვის.ამავდროულად, ტურბომოლეკულური ტუმბოს დასაცავად აუცილებელია ტურბომოლეკულური ტუმბოს წინ მექანიკური ტუმბოს ფენის და წნევის შემცირების სარქვლის დაყენება, რათა თავიდან იქნას აცილებული ზედმეტი წნევა და ტურბომოლეკულური ტუმბოს დაზიანება.
4. ტურბომოლეკულური ტუმბოების უპირატესობები და შეზღუდვები:
ტურბომოლეკულურ ტუმბოებს ბევრი უპირატესობა აქვთ, როგორიცაა ტუმბოს მაღალი სიჩქარე, მაღალი ვაკუუმი, დაბალი ხმაური და მაღალი საიმედოობა.ტურბომოლეკულური ტუმბოს მაღალი ტუმბოს სიჩქარემ შეიძლება გაზარდოს ვაკუუმის ხარისხი და ამავდროულად შეამციროს ტუმბოს დრო, რითაც გაზარდოს წარმოების ეფექტურობა.ტურბომოლეკულური ტუმბოს დაბალი ხმაური და მაღალი საიმედოობა ასევე მისი ერთ-ერთი უპირატესობაა, რაც იმას ნიშნავს, რომ ტურბომოლეკულურ ტუმბოს შეუძლია შეინარჩუნოს ეფექტური მუშაობა ხანგრძლივი დროის განმავლობაში, რაც ამცირებს მოვლისა და ჩანაცვლების რაოდენობას.
თუმცა, ტურბომოლეკულურ ტუმბოებს ასევე აქვთ გარკვეული შეზღუდვები, როგორიცაა გარკვეული გაზების ტუმბოს დაბალი ეფექტურობა.მაგალითად, ტურბომოლეკულურ ტუმბოებს აქვთ წყალბადის მოპოვების დაბალი ეფექტურობა, ხოლო ტურბომოლეკულურ ტუმბოებს ასევე აქვთ გარკვეული მოთხოვნები გაზის წნევასა და ტემპერატურაზე.ამიტომ, პრაქტიკულ გამოყენებაში აუცილებელია ტურბომოლეკულური ტუმბოს ტიპისა და სამუშაო პარამეტრების შერჩევა კონკრეტული სიტუაციის მიხედვით მისი ნორმალური და ეფექტური მუშაობის უზრუნველსაყოფად.
5. დასკვნა:
ნახევარგამტარების წარმოების პროცესში, პლაზმური ჭურვის მანქანა არის ერთ-ერთი ძალიან მნიშვნელოვანი მოწყობილობა.პლაზმური ჭურვის აპარატის ვაკუუმურ სისტემაში, ტურბომოლეკულური ტუმბო, როგორც მთავარი ტუმბო, მნიშვნელოვან როლს ასრულებს მაღალი ვაკუუმის და სტაბილური პლაზმური ჭურვის პროცესის მიღწევაში.ტურბომოლეკულურ ტუმბოებს აქვთ მაღალი ტუმბოს სიჩქარე, მაღალი ვაკუუმი, დაბალი ხმაური და ოპტიმიზაცია უმაღლესი ტექნიკური მოთხოვნების დასაკმაყოფილებლად.
ზოგადად რომ ვთქვათ, ტურბომოლეკულური ტუმბოს როლი პლაზმური ოქროვის მანქანაში შეუცვლელია.ნახევარგამტარების წარმოების ინდუსტრიაში, ტურბომოლეკულური ტუმბო გახდა ერთ-ერთი აუცილებელი მოწყობილობა, რომელიც მნიშვნელოვან როლს ასრულებს პლაზმური ჭურვის აპარატის მუშაობისა და სტაბილურობის უზრუნველსაყოფად.ნახევარგამტარული ტექნოლოგიის უწყვეტი განვითარებისა და პროგრესის პირობებში, ტურბომოლეკულური ტუმბოების მოთხოვნილება და გამოყენების სფერო გაგრძელდება.ამიტომ, ტურბომოლეკულური ტუმბოების მწარმოებლებმა მუდმივად უნდა გააუმჯობესონ პროდუქტის შესრულება და ხარისხი, რათა დააკმაყოფილონ ნახევარგამტარული წარმოების ინდუსტრიის მოთხოვნა უფრო მაღალ შესრულებაზე და უფრო სტაბილურ აღჭურვილობაზე.
საავტორო უფლებების შესახებ შეტყობინება:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. მხარს უჭერს ინტელექტუალური საკუთრების უფლებების პატივისცემასა და დაცვას და მიუთითებს სტატიების წყაროს მკაფიო წყაროებით.თუ აღმოაჩენთ, რომ ამ ვებსაიტის შინაარსში არის საავტორო უფლებების ან სხვა პრობლემები, გთხოვთ, დაგვიკავშირდეთ ამ პრობლემის მოსაგვარებლად.Საკონტაქტო ინფორმაცია:marketing01@gpmcn.com
გამოქვეყნების დრო: ოქტ-20-2023