Nan endistri manifakti semi-conducteurs jodi a, plasma grave ak ponp turbomolekilè se de teknoloji kle enpòtan.Yon graveur plasma se yon zouti esansyèl nan fabrikasyon konpozan mikwo-elektwonik, pandan y ap yon ponp turbomolekilè fèt pou gwo vakyòm ak gwo vitès ponpe.Nan atik sa a, nou diskite sou wòl ak enpòtans ponp turbomolekilè nan graveur plasma.
Kontni
1. Prensip travay nan plasma grave machin
2. Prensip k ap travay nan ponp turbomolekilè
3. Aplikasyon nan ponp turbomolekilè nan plasma grave machin
4. Avantaj ak limit nan ponp turbomolekilè
5. Konklizyon
1. Prensip travay nan plasma grave machin:
Yon graveur plasma se yon zouti pou trete materyèl lè l sèvi avèk plasma nan yon chanm vakyòm.Plasma se yon koleksyon patikil chaje ki pwodui pa ionizasyon gaz.Ka dansite a ak direksyon mouvman nan plasma dwe kontwole pa wo-frekans elektrik oswa mayetik jaden.Pandan plasma grave, yon plasma frape sifas la nan materyèl la k ap travay epi leve li oswa erode li, kreye estrikti a vle.
Sepandan, yon gwo kantite gaz echapman pwodwi pandan plasma grave.Gaz echapman sa yo gen ladan materyèl k ap travay ak enpurte nan gaz la, elatriye, ki bezwen egzeyate nan sistèm vakyòm lan.Se poutèt sa, machin nan grave plasma bezwen yon sistèm vakyòm efikas asire estabilite ak presizyon nan pwosesis la grave.
2. Prensip k ap travay nan ponp turbomolekilè:
Ponp turbomolekilè yo se youn nan ponp ki pi souvan itilize gwo vitès ponpe nan sistèm vakyòm.Li travay pa vire yon seri gwo vitès wotasyon impellers pou ponpe gaz la soti nan chanm vakyòm ak ranvwaye gaz la nan atmosfè a.Nan yon ponp turbomolekilè, gaz premye antre nan yon ponp fè bak kote li konprese nan yon rejyon ki wo presyon anvan yo voye l nan ponp turbomolekilè a.
Nan yon ponp turbomolekilè, gaz la ponpe nan yon roue wotasyon, pandan y ap nan yon ponp molekilè gaz la kraze an pi piti molekil.Ponp turbomolekilè ka bay gwo vakyòm, ak vitès ponpe yo ka rive nan 500 ~ 6000 L / s.Pou machin grave plasma ki mande pou gwo vakyòm, ponp turbomolekilè se yon pati endispansab.
3. Aplikasyon ponp turbomolekilè nan machin grave plasma:
Ponp turbomolekilè yo lajman ki itilize nan machin grave plasma.Nan sistèm vakyòm nan yon machin grave plasma, se yon ponp turbomolekilè anjeneral itilize kòm ponp prensipal la ede reyalize vakyòm segondè.Lè plasma a frape sifas la, li pwodui yon gwo kantite gaz echapman, ki gen ladan matyè premyè rezidyèl ak pwodwi reyaksyon chimik.Gaz echapman sa yo bezwen ponpe soti nan chanm vakyòm rapidman ak efikasite pou asire estabilite ak fyab pwosesis plasma a grave.
Gwo vitès ponpe ak gwo vakyòm nan ponp turbomolekilè fè yo ponp ideyal.Nan yon graveur plasma, ponp turbomolekilè a anjeneral mete nan yon inite ponp separe pou kontwòl fasil nan vakyòm ak presyon.An menm tan an, yo nan lòd yo pwoteje ponp turbomolekilè a, li nesesè enstale yon kouch ponp mekanik ak yon tiyo diminye presyon devan ponp turbomolekilè a pou fè pou evite twòp presyon ak domaj nan ponp turbomolekilè a.
4. Avantaj ak limit nan ponp turbomolekilè:
Ponp turbomolekilè gen anpil avantaj, tankou gwo vitès ponpe, gwo vakyòm, bri ki ba, ak segondè fyab.Gwo vitès ponp turbomolekilè a ka ogmante degre vakyòm, epi an menm tan an ka diminye tan ponpe, kidonk ogmante efikasite pwodiksyon an.Bri ki ba ak segondè fyab nan ponp turbomolekilè a se tou youn nan avantaj li yo, ki vle di ke ponp turbomolekilè a ka kenbe operasyon efikas pou yon peryòd tan ki pi long, diminye kantite antretyen ak ranplasman.
Sepandan, ponp turbomolekilè tou gen kèk limit, tankou efikasite ponpe ki ba pou sèten gaz.Pou egzanp, ponp turbomolekilè gen efikasite ekstraksyon ki ba pou idwojèn, ak ponp turbomolekilè gen sèten kondisyon pou presyon gaz ak tanperati.Se poutèt sa, nan aplikasyon pratik, li nesesè yo chwazi kalite a ak paramèt k ap travay nan ponp lan turbomolekilè dapre sitiyasyon an espesifik asire operasyon nòmal ak efikas li yo.
5.Konklizyon:
Nan pwosesis fabrikasyon semi-conducteurs, machin grave plasma a se youn nan ekipman ki enpòtan anpil.Nan sistèm vakyòm nan machin plasma plasma a, ponp turbomolekilè a, kòm ponp prensipal la, jwe yon wòl enpòtan anpil nan reyalize gwo vakyòm ak pwosesis plasma ki estab.Ponp turbomolekilè gen gwo vitès ponpe, gwo vakyòm, bri ki ba ak optimize pou satisfè pi wo kondisyon teknik.
Anjeneral pale, wòl nan ponp turbomolekilè nan machin nan grave plasma se iranplasabl.Nan endistri fabrikasyon semi-conducteurs, ponp turbomolekilè a te vin youn nan ekipman ki nesesè yo, ki jwe yon wòl enpòtan nan asire pèfòmans ak estabilite plasma a grave machin.Avèk devlopman kontinyèl ak pwogrè nan teknoloji semi-conducteurs, demann ak sijè ki abòde itilizasyon ponp turbomolekilè yo ap kontinye elaji.Se poutèt sa, manifaktirè ponp turbomolekilè bezwen kontinyèlman amelyore pèfòmans pwodwi ak bon jan kalite pou satisfè demann endistri manifakti semi-conducteurs pou pi wo pèfòmans ak ekipman ki pi estab.
Avi sou Copyright:
GPM Entelijan Teknoloji (Guangdong) co, Ltd defann respè ak pwoteksyon dwa pwopriyete entelektyèl ak endike sous la nan atik ak sous klè.Si ou jwenn ke gen copyright oswa lòt pwoblèm nan kontni an nan sit entènèt sa a, tanpri kontakte nou fè fas ak li.Enfòmasyon pou kontakte:marketing01@gpmcn.com
Tan pòs: Oct-20-2023