Tänapäeva pooljuhtide tootmistööstuses on plasmasöövitaja ja turbomolekulaarpump kaks olulist võtmetehnoloogiat.Plasmasöövitaja on oluline tööriist mikroelektrooniliste komponentide valmistamisel, samas kui turbomolekulaarpump on mõeldud suure vaakumi ja suure pumpamiskiiruse jaoks.Selles artiklis käsitleme turbomolekulaarsete pumpade rolli ja tähtsust plasmasöövitajates.
Sisu
1. Plasma söövitusmasina tööpõhimõte
2. Turbomolekulaarpumba tööpõhimõte
3. Turbomolekulaarse pumba kasutamine plasmasöövitusmasinas
4. Turbomolekulaarpumpade eelised ja piirangud
5. Järeldus
1. Plasma söövitusmasina tööpõhimõte:
Plasmasöövitaja on tööriist materjalide töötlemiseks, kasutades plasmat vaakumkambris.Plasma on gaasi ioniseerimisel tekkinud laetud osakeste kogum.Plasma tihedust ja liikumissuunda saab juhtida kõrgsageduslike elektri- või magnetväljade abil.Plasma söövitamisel lööb plasma töömaterjali pinnale ja tõstab selle maha või erodeerib selle, luues soovitud struktuuri.
Plasmasöövitamise käigus tekib aga suur hulk heitgaase.Need heitgaasid hõlmavad töömaterjale ja gaasis leiduvaid lisandeid jne, mis tuleb läbi vaakumsüsteemi tühjendada.Seetõttu vajab plasmasöövitusmasin tõhusat vaakumsüsteemi, et tagada söövitusprotsessi stabiilsus ja täpsus.
2. Turbomolekulaarpumba tööpõhimõte:
Turbomolekulaarpumbad on vaakumsüsteemides ühed kõige sagedamini kasutatavad suure kiirusega pumbad.See töötab suurel kiirusel pöörlevate tiivikute pöörlemise teel, et pumbata gaas vaakumkambrist välja ja gaas atmosfääri välja lasta.Turbomolekulaarpumbas siseneb gaas esmalt tugipumpa, kus see pressitakse enne turbomolekulaarpumbasse suunamist kõrgsurvepiirkonda.
Turbomolekulaarpumbas pumbatakse gaas läbi pöörleva tiiviku, molekulaarpumbas aga lagundatakse gaas väiksemateks molekulideks.Turbomolekulaarpumbad võivad pakkuda kõrgvaakumit ja nende pumpamiskiirus võib ulatuda 500–6000 l/s.Kõrget vaakumit nõudvate plasmasöövitusmasinate jaoks on turbomolekulaarpumbad asendamatu osa.
3. Turbomolekulaarse pumba kasutamine plasmasöövitusmasinas:
Turbomolekulaarpumpasid kasutatakse laialdaselt plasmasöövitusmasinates.Plasma söövitusmasina vaakumsüsteemis kasutatakse põhipumbana tavaliselt turbomolekulaarpumpa, mis aitab saavutada kõrgvaakumit.Plasma pinnale sattudes tekitab see suures koguses heitgaase, sealhulgas jääktooraineid ja keemilise reaktsiooni saadusi.Need heitgaasid tuleb kiiresti ja tõhusalt vaakumkambrist välja pumbata, et tagada plasmasöövitusprotsessi stabiilsus ja töökindlus.
Turbomolekulaarpumpade suur pumpamiskiirus ja suur vaakum muudavad need ideaalseteks pumpadeks.Plasmasöövitajas asetatakse turbomolekulaarpump tavaliselt vaakumi ja rõhu hõlpsaks juhtimiseks eraldi pumbaseadmesse.Samal ajal on turbomolekulaarpumba kaitsmiseks vaja paigaldada turbomolekulaarpumba ette mehaanilise pumba kiht ja rõhualandusklapp, et vältida liigset survet ja turbomolekulaarpumba kahjustamist.
4. Turbomolekulaarpumpade eelised ja piirangud:
Turbomolekulaarpumpadel on palju eeliseid, nagu suur pumpamiskiirus, suur vaakum, madal müratase ja kõrge töökindlus.Turbomolekulaarse pumba kõrge pumpamiskiirus võib suurendada vaakumi astet ja samal ajal vähendada pumpamise aega, suurendades seeläbi tootmise efektiivsust.Turbomolekulaarpumba madal müratase ja kõrge töökindlus on ka üks selle eeliseid, mis tähendab, et turbomolekulaarpump suudab tõhusalt töötada pikema aja jooksul, vähendades hoolduste ja vahetuste arvu.
Siiski on turbomolekulaarpumpadel ka mõned piirangud, näiteks teatud gaaside madal pumpamise efektiivsus.Näiteks turbomolekulaarpumpadel on vesiniku ekstraheerimise efektiivsus madal ning turbomolekulaarpumpadel on ka teatud nõuded gaasi rõhu ja temperatuuri suhtes.Seetõttu on praktilistes rakendustes vaja valida turbomolekulaarpumba tüüp ja tööparameetrid vastavalt konkreetsele olukorrale, et tagada selle normaalne ja tõhus töö.
5. Järeldus:
Pooljuhtide tootmisprotsessis on plasmasöövitusmasin üks väga olulisi seadmeid.Plasma söövitusmasina vaakumsüsteemis mängib turbomolekulaarpump peamise pumbana üliolulist rolli kõrgvaakumi ja stabiilse plasmasöövitusprotsessi saavutamisel.Turbomolekulaarpumpadel on kõrge pumpamiskiirus, suur vaakum, madal müratase ja optimeerimine, et vastata kõrgematele tehnilistele nõuetele.
Üldiselt on turbomolekulaarpumba roll plasmasöövitusmasinas asendamatu.Pooljuhtide tootmises on turbomolekulaarpump muutunud üheks vajalikuks seadmeks, mis mängib olulist rolli plasmasöövitusmasina jõudluse ja stabiilsuse tagamisel.Pooljuhttehnoloogia pideva arengu ja edenemisega suureneb nõudlus ja turbomolekulaarpumpade kasutusala jätkuvalt.Seetõttu peavad turbomolekulaarsete pumpade tootjad pidevalt parandama toote jõudlust ja kvaliteeti, et rahuldada pooljuhtide tootmistööstuse nõudlust suurema jõudluse ja stabiilsemate seadmete järele.
Autoriõiguste teatis:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. pooldab intellektuaalomandi õiguste austamist ja kaitset ning osutab artiklite allikale selgete allikatega.Kui leiate, et selle veebisaidi sisus on autoriõiguse või muid probleeme, võtke meiega ühendust, et neid lahendada.Kontaktinfo:marketing01@gpmcn.com
Postitusaeg: 20. oktoober 2023