ယနေ့ခေတ် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်စက်မှုလုပ်ငန်းတွင် ပလာစမာ စုပ်စက်နှင့် တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်များသည် အရေးကြီးသော အဓိကနည်းပညာနှစ်ခုဖြစ်သည်။ပလာစမာ စုပ်ခွက်သည် မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ် အစိတ်အပိုင်းများ ဖန်တီးရာတွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော ကိရိယာတစ်ခုဖြစ်ပြီး တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်ကို လေဟာနယ်နှင့် မြင့်မားသောစုပ်ယူနှုန်းအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ဤဆောင်းပါးတွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် plasma etchers တွင် turbomolecular pumps များ၏ အခန်းကဏ္ဍနှင့် အရေးပါပုံကို ဆွေးနွေးထားပါသည်။
အကြောင်းအရာ
1. plasma etching machine ၏ အလုပ်လုပ်ပုံနိယာမ
2. တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်၏ လုပ်ငန်းဆောင်ရွက်ချက် နိယာမ
3. Plasma etching machine တွင် တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်ကို အသုံးပြုခြင်း။
4. Turbomolecular pumps များ၏ အားသာချက်များနှင့် ကန့်သတ်ချက်များ
5. နိဂုံး
1. plasma etching machine ၏ အလုပ်လုပ်ပုံနိယာမ
ပလာစမာ ခြစ်စက်သည် ဖုန်စုပ်ခန်းအတွင်း ပလာစမာကို အသုံးပြု၍ ပစ္စည်းများ ထုတ်ယူရန်အတွက် ကိရိယာတစ်ခုဖြစ်သည်။ပလာစမာသည် ဓာတ်ငွေ့ အိုင်ယွန်ပြုန်းတီးမှုမှ ထွက်လာသော အားသွင်းအမှုန်အမွှားများ အစုအဝေးတစ်ခုဖြစ်သည်။ပလာစမာ၏ သိပ်သည်းဆနှင့် ရွေ့လျားမှု ဦးတည်ချက်ကို ကြိမ်နှုန်းမြင့် လျှပ်စစ် သို့မဟုတ် သံလိုက်စက်ကွင်းများဖြင့် ထိန်းချုပ်နိုင်သည်။ပလာစမာ ထွင်းထုစဉ်တွင်၊ ပလာစမာသည် အလုပ်လုပ်သော ပစ္စည်း၏ မျက်နှာပြင်ကို ရိုက်ခတ်ပြီး ၎င်းကို လွှင့်ပစ်သည် သို့မဟုတ် တိုက်စားကာ အလိုရှိသော ဖွဲ့စည်းပုံကို ဖန်တီးသည်။
သို့သော်၊ ပလာစမာ etching လုပ်နေစဉ်အတွင်း အိတ်ဇောဓာတ်ငွေ့ အများအပြား ထုတ်ပေးသည်။ဤအိတ်ဇောဓာတ်ငွေ့များတွင် အလုပ်လုပ်သောပစ္စည်းများနှင့် ဓာတ်ငွေ့တွင်းရှိ အညစ်အကြေးများ စသည်တို့ပါဝင်ပြီး လေဟာနယ်စနစ်မှတစ်ဆင့် စွန့်ထုတ်ရန်လိုအပ်ပါသည်။ထို့ကြောင့်၊ etching လုပ်ငန်းစဉ်၏တည်ငြိမ်မှုနှင့်တိကျမှုကိုသေချာစေရန်ပလာစမာ etching စက်သည် ထိရောက်သောလေဟာနယ်စနစ်တစ်ခုလိုအပ်ပါသည်။
2. တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်၏ လုပ်ငန်းဆောင်ရွက်ချက်-
Turbomolecular pumps များသည် လေဟာနယ်စနစ်များတွင် အသုံးအများဆုံး မြင့်မားသော pumping speed pumps များထဲမှ တစ်ခုဖြစ်သည်။၎င်းသည် လေဟာနယ်ခန်းမှ ဓာတ်ငွေ့များကို စုပ်ထုတ်ပြီး ဓာတ်ငွေ့များကို လေထုထဲသို့ တွန်းထုတ်ရန်အတွက် မြန်နှုန်းမြင့် လှည့်ပတ်ထားသော တွန်းစက်များကို လှည့်ခြင်းဖြင့် လုပ်ဆောင်သည်။တာဘိုမိုလီကျူးပန့်တွင်၊ ဓာတ်ငွေ့သည် တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်သို့မပို့မီ ဖိအားမြင့်ဒေသတစ်ခုသို့ ဖိသိပ်ထားသည့် နောက်ခံပန့်ထဲသို့ ပထမဆုံးဝင်ရောက်သည်။
တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်တွင် ဓာတ်ငွေ့ကို လှည့်ပတ်ထားသော impeller မှတဆင့် စုပ်ထုတ်ပြီး မော်လီကျူးပန့်တွင် ဓာတ်ငွေ့ကို သေးငယ်သော မော်လီကျူးများအဖြစ်သို့ ခွဲထုတ်သည်။Turbomolecular ပန့်များသည် မြင့်မားသော လေဟာနယ်ကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး ၎င်းတို့၏စုပ်ထုတ်နှုန်းသည် 500 ~ 6000 L/s သို့ ရောက်ရှိနိုင်သည်။မြင့်မားသောလေဟာနယ်လိုအပ်သောပလာစမာ etching စက်များအတွက် turbomolecular pumps များသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။
3. Plasma etching machine တွင် turbomolecular pump ကို အသုံးပြုခြင်း-
Turbomolecular pumps များကို ပလာစမာ etching စက်များတွင် တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုကြသည်။Plasma etching machine ၏ လေဟာနယ်စနစ်တွင် မြင့်မားသောလေဟာနယ်ရရှိစေရန်အတွက် တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်ကို ပင်မပန့်အဖြစ် အသုံးပြုပါသည်။ပလာစမာသည် မျက်နှာပြင်ကို ထိသောအခါ၊ ကျန်ရှိသော ကုန်ကြမ်းများနှင့် ဓာတုတုံ့ပြန်မှု ထုတ်ကုန်များ အပါအဝင် အိတ်ဇောဓာတ်ငွေ့ အများအပြားကို ထုတ်လုပ်သည်။ဤအိတ်ဇောဓာတ်ငွေ့များကို plasma etching လုပ်ငန်းစဉ်၏တည်ငြိမ်မှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုသေချာစေရန် လေဟာနယ်ခန်းမှ လျင်မြန်ထိရောက်စွာ စုပ်ထုတ်ရန်လိုအပ်ပါသည်။
မြင့်မားသောစုပ်ထုတ်နှုန်းနှင့် တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်များ၏ မြင့်မားသောလေဟာနယ်သည် ၎င်းတို့အား စံပြပန့်များဖြစ်စေသည်။plasma etcher တွင်၊ turbomolecular pump ကို လေဟာနယ်နှင့် ဖိအားကို လွယ်ကူစွာ ထိန်းချုပ်နိုင်စေရန်အတွက် သီးခြားပန့်ယူနစ်တွင် ထားရှိလေ့ရှိသည်။တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်ကို ကာကွယ်ရန်အတွက်၊ တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်ကို အလွန်အကျွံဖိအားနှင့် ထိခိုက်မှုမဖြစ်စေရန် တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်ရှေ့တွင် စက်ပန့်အလွှာနှင့် ဖိအားလျှော့ချသောအဆို့ရှင်ကို တပ်ဆင်ရန် လိုအပ်သည်။
4. Turbomolecular pumps များ၏ အားသာချက်များနှင့် ကန့်သတ်ချက်များ-
Turbomolecular pump များသည် မြင့်မားသော pumping speed, high vacuum, low noise, and high reliability ကဲ့သို့သော အားသာချက်များစွာရှိသည်။တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်၏ မြင့်မားသောစုပ်ထုတ်မှုအမြန်နှုန်းသည် လေဟာနယ်ဒီဂရီကို တိုးစေပြီး တစ်ချိန်တည်းတွင် စုပ်ထုတ်ချိန်ကို လျှော့ချနိုင်ပြီး ထုတ်လုပ်မှု၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို တိုးမြင့်စေနိုင်သည်။တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်၏ ဆူညံသံနိမ့်ခြင်းနှင့် မြင့်မားသောယုံကြည်စိတ်ချရမှုသည် ၎င်း၏အားသာချက်များထဲမှတစ်ခုဖြစ်ပြီး ဆိုလိုသည်မှာ တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်သည် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုနှင့် အစားထိုးမှုအရေအတွက်ကို လျှော့ချနိုင်ပြီး အချိန်ပိုကြာရှည်စွာ ထိရောက်စွာလည်ပတ်မှုကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်သည်။
သို့ရာတွင်၊ တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်များသည် အချို့သောဓာတ်ငွေ့များအတွက် စုပ်ထုတ်မှုထိရောက်မှုနည်းခြင်းကဲ့သို့သော ကန့်သတ်ချက်အချို့ရှိသည်။ဥပမာအားဖြင့်၊ တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်များသည် ဟိုက်ဒရိုဂျင်အတွက် ထုတ်ယူမှုနည်းသော ထိရောက်မှုရှိပြီး တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်များသည် ဓာတ်ငွေ့ဖိအားနှင့် အပူချိန်အတွက် လိုအပ်ချက်အချို့ရှိသည်။ထို့ကြောင့်၊ လက်တွေ့အသုံးချမှုတွင်၊ ၎င်း၏ပုံမှန်နှင့်ထိရောက်သောလည်ပတ်မှုကိုသေချာစေရန်အတွက် တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်၏ အမျိုးအစားနှင့် လုပ်ဆောင်မှုဘောင်များကို တိကျသောအခြေအနေအရ ရွေးချယ်ရန် လိုအပ်ပါသည်။
၅။နိဂုံး-
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ ပလာစမာ ခြစ်စက်သည် အလွန်အရေးကြီးသော စက်ကိရိယာများထဲမှ တစ်ခုဖြစ်သည်။plasma etching machine ၏ လေဟာနယ်စနစ်တွင်၊ ပင်မစုပ်စက်အဖြစ် turbomolecular pump သည် မြင့်မားသောလေဟာနယ်နှင့် တည်ငြိမ်သော ပလာစမာ etching လုပ်ငန်းစဉ်ကိုရရှိရန် အရေးကြီးသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။Turbomolecular ပန့်များသည် ပိုမိုမြင့်မားသော နည်းပညာဆိုင်ရာလိုအပ်ချက်များနှင့် ပြည့်မီရန် မြင့်မားသော စုပ်ယူမှုအမြန်နှုန်း၊ လေဟာနယ် မြင့်မားခြင်း၊
ယေဘုယျအားဖြင့်ပြောရလျှင် ပလာစမာ etching စက်ရှိ တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်၏ အခန်းကဏ္ဍသည် အစားထိုး၍မရပါ။တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်စက်မှုလုပ်ငန်းတွင်၊ တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်သည် ပလာစမာ ခြစ်စက်၏စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေရန်အတွက် အရေးကြီးသောအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်သည့် လိုအပ်သောကိရိယာတစ်ခုဖြစ်လာသည်။ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနည်းပညာ၏ စဉ်ဆက်မပြတ် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုနှင့် တိုးတက်မှုနှင့်အတူ၊ တာဘိုမိုလီကျူလာပန့်များ အသုံးပြုမှု၏ လိုအပ်ချက်နှင့် နယ်ပယ်သည် ဆက်လက် ကျယ်ပြန့်လာမည်ဖြစ်သည်။ထို့ကြောင့်၊ တာဘိုမိုလီကျူးပန့်ထုတ်လုပ်သူများသည် ပိုမိုမြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ပိုမိုတည်ငြိမ်သောစက်ပစ္စည်းများအတွက် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်သည့်စက်မှုလုပ်ငန်း၏လိုအပ်ချက်ကိုဖြည့်ဆည်းရန် ထုတ်ကုန်စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အရည်အသွေးကို စဉ်ဆက်မပြတ်မြှင့်တင်ရန် လိုအပ်ပါသည်။
မူပိုင်ခွင့် သတိပေးချက်-
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. သည် အသိဉာဏ်ပစ္စည်းမူပိုင်ခွင့်များကို လေးစားလိုက်နာကာကွယ်ရန် ထောက်ခံအားပေးပြီး ဆောင်းပါးများ၏ရင်းမြစ်ကို ရှင်းလင်းသောအရင်းအမြစ်များဖြင့် ညွှန်ပြပါသည်။ဤဝဘ်ဆိုက်၏ အကြောင်းအရာတွင် မူပိုင်ခွင့် သို့မဟုတ် အခြားပြဿနာများရှိနေပါက၊ ၎င်းကိုဖြေရှင်းရန် ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။ဆက်သွယ်ရန်အချက်အလက်များ:marketing01@gpmcn.com
စာတိုက်အချိန်- အောက်တိုဘာ-၂၀-၂၀၂၃