በዛሬው ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ኢንዱስትሪ ውስጥ፣ ፕላዝማ ኤቸር እና ቱርቦሞለኩላር ፓምፕ ሁለት ቁልፍ ቴክኖሎጂዎች ናቸው።ፕላዝማ ኤተር የማይክሮ ኤሌክትሮኒካዊ አካላትን ለመሥራት በጣም አስፈላጊ መሣሪያ ሲሆን ቱርቦሞለኩላር ፓምፕ ለከፍተኛ ክፍተት እና ለከፍተኛ የፓምፕ ፍጥነት የተነደፈ ነው።በዚህ ጽሑፍ ውስጥ በፕላዝማ ኤትቸር ውስጥ የ turbomolecular pumps ሚና እና አስፈላጊነት እንነጋገራለን.
ይዘት
1. የፕላዝማ ኢኬሽን ማሽን የሥራ መርህ
2. የ turbomolecular ፓምፕ የስራ መርህ
3. የ turbomolecular ፓምፕ በፕላዝማ ኢክሽን ማሽን ውስጥ መተግበር
4. የ turbomolecular ፓምፖች ጥቅሞች እና ገደቦች
5. መደምደሚያ
1. የፕላዝማ ኢኬሽን ማሽን የሥራ መርህ;
ፕላዝማ ኤተር በቫኩም ክፍል ውስጥ ፕላዝማን በመጠቀም ቁሳቁሶችን ለማቀነባበር መሳሪያ ነው.ፕላዝማ በጋዝ ionization የሚመነጩ የተሞሉ ቅንጣቶች ስብስብ ነው።የፕላዝማ ጥግግት እና የእንቅስቃሴ አቅጣጫ በከፍተኛ ተደጋጋሚ ኤሌክትሪክ ወይም መግነጢሳዊ መስኮች ቁጥጥር ሊደረግ ይችላል።በፕላዝማ ኢክሽን ጊዜ አንድ ፕላዝማ የሚሠራውን ቁሳቁስ ወለል ላይ ይመታል እና ያነሳው ወይም ያበላሸዋል, ይህም የሚፈለገውን መዋቅር ይፈጥራል.
ይሁን እንጂ በፕላዝማ በሚፈጠርበት ጊዜ ከፍተኛ መጠን ያለው የጭስ ማውጫ ጋዝ ይፈጠራል.እነዚህ የጭስ ማውጫ ጋዞች በጋዝ ውስጥ የሚሰሩ ቁሳቁሶችን እና ቆሻሻዎችን ወዘተ ያጠቃልላሉ, ይህም በቫኩም ሲስተም ውስጥ ማስወጣት ያስፈልጋል.ስለዚህ, የፕላዝማ ማሽነሪ ማሽን የማቅለጫ ሂደቱን መረጋጋት እና ትክክለኛነት ለማረጋገጥ ውጤታማ የሆነ የቫኩም ሲስተም ያስፈልገዋል.
2. የ turbomolecular ፓምፕ የሥራ መርህ;
ቱርቦሞለኩላር ፓምፖች በቫኩም ሲስተም ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ ከሚውሉ ከፍተኛ የፓምፕ ፍጥነት ፓምፖች አንዱ ነው።ከቫኩም ክፍል ውስጥ ጋዝ ለማውጣት እና ጋዙን ወደ ከባቢ አየር ለማስወጣት በከፍተኛ ፍጥነት የሚሽከረከሩ ማነቃቂያዎችን በማሽከርከር ይሰራል።በ turbomolecular ፓምፕ ውስጥ, ጋዝ በመጀመሪያ ወደ ቱርቦሞሊኩላር ፓምፕ ከመላኩ በፊት ከፍተኛ ግፊት ባለው ክልል ውስጥ ወደ ተጨመቀ የጀርባ ፓምፕ ይገባል.
በ turbomolecular ፓምፕ ውስጥ, ጋዙ በሚሽከረከረው ኢምፕለር ውስጥ ይጣላል, በሞለኪዩል ፓምፕ ውስጥ ግን ጋዙ ወደ ትናንሽ ሞለኪውሎች ይከፋፈላል.ቱርቦሞሌኩላር ፓምፖች ከፍተኛ ክፍተት ሊሰጡ ይችላሉ, እና የፓምፕ ፍጥነታቸው 500 ~ 6000 ሊ / ሰ ሊደርስ ይችላል.ከፍተኛ ቫክዩም ለሚፈልጉ የፕላዝማ ኢቲንግ ማሽኖች፣ turbomolecular pumps በጣም አስፈላጊ አካል ናቸው።
3. የቱርቦሞለኪውላር ፓምፕን በፕላዝማ ኤክሪንግ ማሽን ውስጥ መተግበር;
ቱርቦሞሌኩላር ፓምፖች በፕላዝማ ኢቲማቲክ ማሽኖች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ.በፕላዝማ ኢቲንግ ማሽን ውስጥ ባለው የቫኪዩም ሲስተም ውስጥ ቱርቦሞሌኩላር ፓምፕ ከፍተኛ ክፍተት ለማግኘት የሚረዳው እንደ ዋና ፓምፕ ሆኖ ያገለግላል።ፕላዝማው ወደ ላይ ሲመታ ቀሪ ጥሬ እቃዎችን እና ኬሚካላዊ ግብረመልሶችን ጨምሮ ከፍተኛ መጠን ያለው የጭስ ማውጫ ጋዝ ያመነጫል።እነዚህ የጭስ ማውጫ ጋዞች የፕላዝማውን የማፍጠጥ ሂደት መረጋጋት እና አስተማማኝነት ለማረጋገጥ ከቫኩም ክፍሉ በፍጥነት እና በብቃት መውጣት አለባቸው።
ከፍተኛ የፓምፕ ፍጥነት እና ከፍተኛ የቱርቦሞለኩላር ፓምፖች በጣም ጥሩ ፓምፖች ያደርጋቸዋል።በፕላዝማ ኤተር ውስጥ, የ turbomolecular ፓምፕ ብዙውን ጊዜ ቫክዩም እና ግፊትን በቀላሉ ለመቆጣጠር በተለየ የፓምፕ ክፍል ውስጥ ይቀመጣል.በተመሳሳይ ጊዜ, የ turbomolecular ፓምፑን ለመከላከል, ከመጠን በላይ ጫና እና በ turbomolecular ፓምፕ ላይ ጉዳት እንዳይደርስ ለመከላከል የሜካኒካል ፓምፕ ንብርብር እና በ turbomolecular ፓምፕ ፊት ለፊት ያለውን ግፊት የሚቀንስ ቫልቭ መትከል አስፈላጊ ነው.
4. የ turbomolecular ፓምፖች ጥቅሞች እና ገደቦች፡-
ቱርቦሞሌኩላር ፓምፖች እንደ ከፍተኛ የፓምፕ ፍጥነት, ከፍተኛ ክፍተት, ዝቅተኛ ድምጽ እና ከፍተኛ አስተማማኝነት የመሳሰሉ ብዙ ጥቅሞች አሉት.የ turbomolecular ፓምፕ ከፍተኛ የፓምፕ ፍጥነት የቫኩም ዲግሪን ሊጨምር ይችላል, እና በተመሳሳይ ጊዜ የፓምፕ ጊዜን ይቀንሳል, በዚህም የምርት ውጤታማነት ይጨምራል.የቱርቦሞሌክላር ፓምፕ ዝቅተኛ ድምጽ እና ከፍተኛ አስተማማኝነትም አንዱ ጠቀሜታው ነው, ይህም ማለት ቱርቦሞሊኩላር ፓምፑ ለረዥም ጊዜ ቀልጣፋ ስራን ይይዛል, የጥገና እና የመተካት ቁጥር ይቀንሳል.
ሆኖም፣ ቱርቦሞሌኩላር ፓምፖችም አንዳንድ ገደቦች አሏቸው፣ ለምሳሌ ለተወሰኑ ጋዞች ዝቅተኛ የፓምፕ ብቃት።ለምሳሌ, turbomolecular pumps ለሃይድሮጂን ዝቅተኛ የማውጣት ቅልጥፍና አላቸው, እና turbomolecular pumps ደግሞ ለጋዝ ግፊት እና የሙቀት መጠን የተወሰኑ መስፈርቶች አሏቸው.ስለዚህ, በተግባራዊ አፕሊኬሽኖች ውስጥ, መደበኛ እና ቀልጣፋ አሠራሩን ለማረጋገጥ የ turbomolecular ፓምፕ አይነት እና የስራ መለኪያዎችን በተለየ ሁኔታ መምረጥ አስፈላጊ ነው.
5. መደምደሚያ፡-
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ, የፕላዝማ ኢኬቲንግ ማሽን በጣም አስፈላጊ ከሆኑ መሳሪያዎች ውስጥ አንዱ ነው.በፕላዝማ ኤክሪንግ ማሽን የቫኩም ሲስተም ውስጥ፣ ቱርቦሞሌኩላር ፓምፑ እንደ ዋናው ፓምፕ ከፍተኛ ክፍተት እና የተረጋጋ የፕላዝማ የማፍጠጥ ሂደትን በማሳካት ረገድ ወሳኝ ሚና ይጫወታል።ቱርቦሞሌኩላር ፓምፖች ከፍተኛ የቴክኒካዊ መስፈርቶችን ለማሟላት ከፍተኛ የፓምፕ ፍጥነት, ከፍተኛ ክፍተት, ዝቅተኛ ድምጽ እና ማመቻቸት አላቸው.
በአጠቃላይ የቱርቦሞለኪውላር ፓምፕ በፕላዝማ ኢክሽን ማሽን ውስጥ ያለው ሚና ሊተካ የማይችል ነው.በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ኢንዱስትሪ ውስጥ የቱርቦሞሌክላር ፓምፑ አስፈላጊ ከሆኑት መሳሪያዎች ውስጥ አንዱ ሆኗል, ይህም የፕላዝማ ኢኬቲንግ ማሽንን አፈፃፀም እና መረጋጋት ለማረጋገጥ ትልቅ ሚና ይጫወታል.የሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂ ቀጣይነት ያለው እድገት እና እድገት, የ turbomolecular pumps አጠቃቀም ፍላጎት እና ወሰን እየሰፋ ይሄዳል.ስለዚህ, turbomolecular ፓምፕ አምራቾች ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ኢንዱስትሪ ከፍተኛ አፈጻጸም እና ይበልጥ የተረጋጋ መሣሪያዎች ፍላጎት ለማሟላት የምርት አፈጻጸም እና ጥራት ያለማቋረጥ ማሻሻል አለባቸው.
የቅጂ መብት ማስታወቂያ፡-
ጂፒኤም ኢንተለጀንት ቴክኖሎጂ(ጓንግዶንግ) ኮበዚህ ድረ-ገጽ ይዘት ላይ የቅጂ መብት ወይም ሌሎች ችግሮች እንዳሉ ካወቁ፣ ችግሩን ለመፍታት እባክዎ ያነጋግሩን።የመገኛ አድራሻ:marketing01@gpmcn.com
የልጥፍ ሰዓት፡- ኦክቶበር-20-2023