Muri iki gihe inganda zikora inganda, plasma etcher na pompe ya turbomolecular ni tekinoroji ebyiri zingenzi.Plasma etcher nigikoresho cyingenzi muguhimba ibice bya microelectronic, mugihe pompe ya turbomolecular yagenewe vacuum nini kandi yihuta yo kuvoma.Muri iki kiganiro, turaganira ku ruhare nakamaro ka pompe ya turbomolecular muri plasma etchers.
Ibirimo
1. Ihame ryakazi ryimashini ya plasma
2. Ihame ryakazi rya pompe ya turbomolecular
3. Gukoresha pompe ya turbomolecular mumashini ya plasma
4. Ibyiza nimbibi za pompe ya turbomolecular
5. Umwanzuro
1. Ihame ryakazi ryimashini itera plasma:
Plasma etcher nigikoresho cyo gutunganya ibikoresho ukoresheje plasma mucyumba cya vacuum.Plasma nicyegeranyo cyibice byashizwemo byakozwe na ionisiyasi.Ubucucike nicyerekezo cyimikorere ya plasma birashobora kugenzurwa numurongo mwinshi w'amashanyarazi cyangwa amashanyarazi.Mugihe cyo gutera plasma, plasma ikubita hejuru yibikoresho bikora ikayizamura cyangwa ikayangiza, igakora imiterere yifuzwa.
Nyamara, umubare munini wa gaze ya gaze itangwa mugihe cyo gutera plasma.Iyi myuka isohoka irimo ibikoresho byakazi n’umwanda muri gaze, nibindi, bigomba gusohoka binyuze muri sisitemu ya vacuum.Kubwibyo, imashini itera plasma ikenera sisitemu ya vacuum ikora neza kugirango habeho ituze nukuri kwimikorere.
2. Ihame ryakazi rya pompe ya turbomolecular:
Amapompe ya Turbomolecular nimwe mubikoreshwa cyane pompe yihuta yo kuvoma muri sisitemu ya vacuum.Ikora mukuzunguruka ibice byihuta byizunguruka kugirango ikure gaze mucyumba cya vacuum kandi yirukane gaze mukirere.Muri pompe ya turbomolecular, gaze ibanza kwinjira muri pompe yinyuma aho ikomekwa mukarere k’umuvuduko mwinshi mbere yo koherezwa kuri pompe ya turbomolecular.
Muri pompe ya turbomolecular, gaze isunikwa binyuze mumuzunguruko, mugihe muri pompe ya molekile gaze yacitsemo molekile nto.Amapompe ya Turbomolecular arashobora gutanga icyuho kinini, kandi umuvuduko wabo wo kuvoma urashobora kugera kuri 500 ~ 6000 L / s.Kumashini ya plasma ikenera icyuho kinini, pompe ya turbomolecular nigice cyingenzi.
3. Gukoresha pompe ya turbomolecular mumashini ya plasma:
Amapompe ya Turbomolecular akoreshwa cyane mumashini ya plasma.Muri sisitemu ya vacuum yimashini ikora plasma, pompe ya turbomolecular isanzwe ikoreshwa nka pompe nyamukuru kugirango ifashe kugera kumyuka myinshi.Iyo plasma ikubise hejuru, itanga gaze nyinshi ya gaze, harimo ibikoresho fatizo bisigaye hamwe nibicuruzwa bivura imiti.Iyi myuka isohoka igomba gusohorwa mucyumba cya vacuum vuba kandi neza kugirango habeho umutekano no kwizerwa mubikorwa bya plasma.
Umuvuduko mwinshi wo kuvoma hamwe na vacuum ndende ya pompe ya turbomolecular ikora pompe nziza.Muri plasma etcher, pompe ya turbomolecular isanzwe ishyirwa mubice bitandukanye bya pompe kugirango igenzure byoroshye vacuum nigitutu.Muri icyo gihe, kugira ngo turinde pompe ya turbomolecular, ni ngombwa gushyiraho urwego rwa pompe ya mashini hamwe n’umuvuduko ugabanya valve imbere ya pompe ya turbomolecular kugirango wirinde umuvuduko ukabije no kwangiza pompe ya turbomolecular.
4. Ibyiza nimbibi za pompe ya turbomolecular:
Amapompe ya Turbomolecular afite ibyiza byinshi, nkumuvuduko mwinshi wo kuvoma, vacuum nyinshi, urusaku ruke, no kwizerwa cyane.Umuvuduko mwinshi wo kuvoma pompe ya turbomolecular irashobora kongera urugero rwa vacuum, kandi mugihe kimwe irashobora kugabanya igihe cyo kuvoma, bityo bikongera umusaruro.Urusaku ruke hamwe no kwizerwa cyane kwa pompe ya turbomolecular nayo ni imwe mu nyungu zayo, bivuze ko pompe ya turbomolecular ishobora gukomeza gukora neza mugihe kirekire, bikagabanya umubare wo kuyitaho no kuyisimbuza.
Nyamara, pompe ya turbomolecular nayo ifite aho igarukira, nko gukora pompe nkeya kuri gaze zimwe.Kurugero, pompe ya turbomolecular ifite ubushobozi buke bwo kuvoma hydrogène, na pompe ya turbomolecular nayo ifite ibyo isabwa kugirango umuvuduko wa gaze n'ubushyuhe.Kubwibyo, mubikorwa bifatika, birakenewe guhitamo ubwoko nibikorwa byakazi bya pompe ya turbomolecular ukurikije ibihe byihariye kugirango tumenye imikorere isanzwe kandi neza.
5.Umwanzuro:
Mubikorwa byo gukora semiconductor, imashini ikora plasma nimwe mubikoresho byingenzi.Muri sisitemu ya vacuum yimashini ya plasma, pompe ya turbomolecular, nka pompe nyamukuru, igira uruhare runini mugushikira icyuho kinini kandi gihamye cya plasma.Amapompe ya Turbomolecular afite umuvuduko mwinshi wo kuvoma, vacuum nyinshi, urusaku ruke hamwe no gutezimbere kugirango byuzuze ibisabwa bya tekiniki.
Muri rusange, uruhare rwa pompe ya turbomolecular mumashini ya plasma yogusimburwa ntisimburwa.Mu nganda zikora semiconductor, pompe ya turbomolecular yabaye kimwe mubikoresho nkenerwa, bigira uruhare runini mugukora neza no guhagarara kwimashini ya plasma ikora.Hamwe niterambere rihoraho hamwe niterambere ryikoranabuhanga rya semiconductor, icyifuzo nubunini bwo gukoresha pompe ya turbomolecular bizakomeza kwaguka.Kubwibyo, uruganda rukora pompe ya turbomolecular rugomba guhora tunoza imikorere yubuziranenge nubuziranenge kugirango uruganda rukora inganda zikenerwa n’ibikorwa bikenerwa n’ibikoresho bihamye.
Imenyekanisha ry'uburenganzira:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co, Ltd. ishyigikiye kubaha no kurengera uburenganzira bwumutungo wubwenge kandi ikerekana inkomoko yingingo zifite isoko isobanutse.Niba ubona ko hari uburenganzira cyangwa ibindi bibazo biri mururu rubuga, nyamuneka twandikire kugirango tubikemure.Amakuru y'itumanaho:marketing01@gpmcn.com
Igihe cyo kohereza: Ukwakira-20-2023