Në industrinë e sotme të prodhimit të gjysmëpërçuesve, gdhendja e plazmës dhe pompa turbomolekulare janë dy teknologji kyçe të rëndësishme.Një gdhendje plazma është një mjet thelbësor në fabrikimin e komponentëve mikroelektronikë, ndërsa një pompë turbomolekulare është projektuar për vakum të lartë dhe shpejtësi të lartë pompimi.Në këtë artikull, ne diskutojmë rolin dhe rëndësinë e pompave turbomolekulare në gdhendjet e plazmës.
përmbajtja
1. Parimi i punës së makinës plazma gravurë
2. Parimi i punës së pompës turbomolekulare
3. Aplikimi i pompës turbomolekulare në makinën e gravurës së plazmës
4. Përparësitë dhe kufizimet e pompave turbomolekulare
5. Përfundim
1. Parimi i punës së makinës së gravurës së plazmës:
Një gdhendje plazme është një mjet për përpunimin e materialeve duke përdorur plazmën në një dhomë vakum.Plazma është një koleksion i grimcave të ngarkuara të prodhuara nga jonizimi i gazit.Dendësia dhe drejtimi i lëvizjes së plazmës mund të kontrollohet nga fusha elektrike ose magnetike me frekuencë të lartë.Gjatë gravimit të plazmës, një plazma godet sipërfaqen e materialit të punës dhe e heq atë ose e gërryen atë, duke krijuar strukturën e dëshiruar.
Megjithatë, një sasi e madhe e gazit të shkarkimit gjenerohet gjatë gravimit të plazmës.Këto gazra të shkarkimit përfshijnë materialet e punës dhe papastërtitë në gaz, etj., të cilat duhet të shkarkohen përmes sistemit të vakumit.Prandaj, makina e gravurës me plazmë ka nevojë për një sistem efikas vakumi për të siguruar stabilitetin dhe saktësinë e procesit të gravurës.
2. Parimi i punës së pompës turbomolekulare:
Pompat turbomolekulare janë një nga pompat me shpejtësi të lartë të pompimit më të përdorura në sistemet vakum.Ai funksionon duke rrotulluar një grup shtytësish rrotullues me shpejtësi të lartë për të pompuar gazin nga dhoma e vakumit dhe për ta nxjerrë gazin në atmosferë.Në një pompë turbomolekulare, gazi fillimisht hyn në një pompë mbështetëse ku ngjeshet në një rajon me presion të lartë përpara se të dërgohet në pompën turbomolekulare.
Në një pompë turbomolekulare, gazi pompohet përmes një shtytëse rrotulluese, ndërsa në një pompë molekulare gazi ndahet në molekula më të vogla.Pompat turbomolekulare mund të ofrojnë vakum të lartë dhe shpejtësia e tyre e pompimit mund të arrijë 500~6000 L/s.Për makineritë e gravurës së plazmës që kërkojnë vakum të lartë, pompat turbomolekulare janë një pjesë e pazëvendësueshme.
3. Aplikimi i pompës turbomolekulare në makinën e gravurës së plazmës:
Pompat turbomolekulare përdoren gjerësisht në makinat e gravurës së plazmës.Në sistemin e vakumit të një makinerie plazma gravurë, një pompë turbomolekulare zakonisht përdoret si pompë kryesore për të ndihmuar në arritjen e vakumit të lartë.Kur plazma godet sipërfaqen, ajo prodhon një sasi të madhe të gazit të shkarkimit, duke përfshirë lëndët e para të mbetura dhe produktet e reaksionit kimik.Këto gazra të shkarkimit duhet të pompohen nga dhoma e vakumit shpejt dhe me efikasitet për të siguruar stabilitetin dhe besueshmërinë e procesit të gravimit të plazmës.
Shpejtësia e lartë e pompimit dhe vakuumi i lartë i pompave turbomolekulare i bëjnë ato pompa ideale.Në një gdhendje plazme, pompa turbomolekulare zakonisht vendoset në një njësi të veçantë pompe për kontroll të lehtë të vakumit dhe presionit.Në të njëjtën kohë, për të mbrojtur pompën turbomolekulare, është e nevojshme të instaloni një shtresë pompë mekanike dhe një valvul reduktuese të presionit përpara pompës turbomolekulare për të shmangur presionin e tepërt dhe dëmtimin e pompës turbomolekulare.
4. Përparësitë dhe kufizimet e pompave turbomolekulare:
Pompat turbomolekulare kanë shumë përparësi, si shpejtësia e lartë e pompimit, vakum i lartë, zhurmë e ulët dhe besueshmëri e lartë.Shpejtësia e lartë e pompimit të pompës turbomolekulare mund të rrisë shkallën e vakumit, dhe në të njëjtën kohë mund të zvogëlojë kohën e pompimit, duke rritur kështu efikasitetin e prodhimit.Zhurma e ulët dhe besueshmëria e lartë e pompës turbomolekulare është gjithashtu një nga avantazhet e saj, që do të thotë se pompa turbomolekulare mund të mbajë funksionimin efikas për një periudhë më të gjatë kohore, duke zvogëluar numrin e mirëmbajtjes dhe zëvendësimit.
Megjithatë, pompat turbomolekulare kanë gjithashtu disa kufizime, siç është efikasiteti i ulët i pompimit për gaze të caktuara.Për shembull, pompat turbomolekulare kanë efikasitet të ulët të nxjerrjes së hidrogjenit, dhe pompat turbomolekulare gjithashtu kanë kërkesa të caktuara për presionin dhe temperaturën e gazit.Prandaj, në aplikimet praktike, është e nevojshme të zgjidhet lloji dhe parametrat e punës së pompës turbomolekulare sipas situatës specifike për të siguruar funksionimin normal dhe efikas të saj.
5. Përfundim:
Në procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesve, makina e gravurës së plazmës është një nga pajisjet shumë të rëndësishme.Në sistemin e vakumit të makinës së gravurës së plazmës, pompa turbomolekulare, si pompa kryesore, luan një rol jetik në arritjen e procesit të gravimit të plazmës me vakum të lartë dhe të qëndrueshëm.Pompat turbomolekulare kanë shpejtësi të lartë pompimi, vakum të lartë, zhurmë të ulët dhe optimizim për të përmbushur kërkesat më të larta teknike.
Në përgjithësi, roli i pompës turbomolekulare në makinën e gravurës së plazmës është i pazëvendësueshëm.Në industrinë e prodhimit të gjysmëpërçuesve, pompa turbomolekulare është bërë një nga pajisjet e nevojshme, e cila luan një rol të rëndësishëm në sigurimin e performancës dhe stabilitetit të makinës së gravurës së plazmës.Me zhvillimin dhe përparimin e vazhdueshëm të teknologjisë së gjysmëpërçuesve, kërkesa dhe fusha e përdorimit të pompave turbomolekulare do të vazhdojë të zgjerohet.Prandaj, prodhuesit e pompave turbomolekulare duhet të përmirësojnë vazhdimisht performancën dhe cilësinë e produktit për të përmbushur kërkesën e industrisë së prodhimit të gjysmëpërçuesve për performancë më të lartë dhe pajisje më të qëndrueshme.
Njoftim për të drejtën e autorit:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. mbron respektimin dhe mbrojtjen e të drejtave të pronësisë intelektuale dhe tregon burimin e artikujve me burime të qarta.Nëse vëreni se ka probleme me të drejtat e autorit ose probleme të tjera në përmbajtjen e kësaj faqeje interneti, ju lutemi na kontaktoni për t'u marrë me të.Informacioni i kontaktit:marketing01@gpmcn.com
Koha e postimit: Tetor-20-2023