آج کی سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ انڈسٹری میں، پلازما ایچر اور ٹربومولیکولر پمپ دو اہم ٹیکنالوجیز ہیں۔مائیکرو الیکٹرانک اجزاء کی تیاری میں پلازما ایچر ایک ضروری ٹول ہے، جبکہ ٹربومولیکولر پمپ ہائی ویکیوم اور ہائی پمپنگ سپیڈ کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔اس مضمون میں، ہم پلازما ایچرز میں ٹربومولیکولر پمپ کے کردار اور اہمیت پر تبادلہ خیال کرتے ہیں۔
مواد
1. پلازما اینچنگ مشین کے کام کرنے والے اصول
2. turbomolecular پمپ کے کام کرنے کے اصول
3. پلازما اینچنگ مشین میں ٹربومولیکولر پمپ کا اطلاق
4. ٹربومولیکولر پمپ کے فوائد اور حدود
5. نتیجہ
1. پلازما اینچنگ مشین کے کام کا اصول:
پلازما ایچر ویکیوم چیمبر میں پلازما کا استعمال کرکے مواد کی پروسیسنگ کا ایک آلہ ہے۔پلازما چارج شدہ ذرات کا مجموعہ ہے جو گیس کے آئنائزیشن سے پیدا ہوتا ہے۔پلازما کی حرکت کی کثافت اور سمت کو ہائی فریکوئنسی برقی یا مقناطیسی شعبوں سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔پلازما اینچنگ کے دوران، ایک پلازما کام کرنے والے مواد کی سطح پر حملہ کرتا ہے اور اسے ہٹا دیتا ہے یا اسے ختم کر دیتا ہے، جس سے مطلوبہ ڈھانچہ بنتا ہے۔
تاہم، پلازما اینچنگ کے دوران ایگزاسٹ گیس کی ایک بڑی مقدار پیدا ہوتی ہے۔ان ایگزاسٹ گیسوں میں کام کرنے والے مواد اور گیس میں موجود نجاست وغیرہ شامل ہیں، جنہیں ویکیوم سسٹم کے ذریعے خارج کرنے کی ضرورت ہے۔لہذا، پلازما ایچنگ مشین کو اینچنگ کے عمل کے استحکام اور درستگی کو یقینی بنانے کے لیے ایک موثر ویکیوم سسٹم کی ضرورت ہے۔
2. ٹربومولیکولر پمپ کے کام کرنے والے اصول:
ٹربومولیکولر پمپ ویکیوم سسٹمز میں سب سے زیادہ استعمال ہونے والے ہائی پمپنگ سپیڈ پمپس میں سے ایک ہیں۔یہ ویکیوم چیمبر سے گیس کو پمپ کرنے اور گیس کو فضا میں خارج کرنے کے لیے تیز رفتار گھومنے والے امپیلرز کے سیٹ کو گھما کر کام کرتا ہے۔ٹربومولیکولر پمپ میں، گیس پہلے بیکنگ پمپ میں داخل ہوتی ہے جہاں اسے ٹربومولیکولر پمپ پر بھیجے جانے سے پہلے ہائی پریشر والے علاقے میں کمپریس کیا جاتا ہے۔
ٹربومولیکولر پمپ میں، گیس کو گھومنے والے امپیلر کے ذریعے پمپ کیا جاتا ہے، جبکہ مالیکیولر پمپ میں گیس کو چھوٹے مالیکیولز میں توڑ دیا جاتا ہے۔ٹربومولیکولر پمپ اعلی ویکیوم فراہم کر سکتے ہیں، اور ان کی پمپنگ کی رفتار 500~6000 L/s تک پہنچ سکتی ہے۔پلازما اینچنگ مشینوں کے لیے جن کے لیے ہائی ویکیوم کی ضرورت ہوتی ہے، ٹربومولیکولر پمپ ایک ناگزیر حصہ ہیں۔
3. پلازما ایچنگ مشین میں ٹربومولیکولر پمپ کا اطلاق:
ٹربومولیکولر پمپ بڑے پیمانے پر پلازما ایچنگ مشینوں میں استعمال ہوتے ہیں۔پلازما ایچنگ مشین کے ویکیوم سسٹم میں، ایک ٹربومولیکولر پمپ عام طور پر ہائی ویکیوم کو حاصل کرنے میں مدد کے لیے مرکزی پمپ کے طور پر استعمال ہوتا ہے۔جب پلازما سطح سے ٹکراتا ہے، تو یہ بڑی مقدار میں ایگزاسٹ گیس پیدا کرتا ہے، بشمول بقایا خام مال اور کیمیائی رد عمل کی مصنوعات۔پلازما اینچنگ کے عمل کے استحکام اور بھروسے کو یقینی بنانے کے لیے ان ایگزاسٹ گیسوں کو ویکیوم چیمبر سے جلدی اور مؤثر طریقے سے پمپ کرنے کی ضرورت ہے۔
تیز پمپنگ کی رفتار اور ٹربومولیکولر پمپوں کا ہائی ویکیوم انہیں مثالی پمپ بناتا ہے۔پلازما ایچر میں، ٹربومولیکولر پمپ کو عام طور پر ویکیوم اور پریشر کے آسان کنٹرول کے لیے الگ پمپ یونٹ میں رکھا جاتا ہے۔ایک ہی وقت میں، ٹربومولیکولر پمپ کی حفاظت کے لیے، ٹربومولیکولر پمپ کے سامنے مکینیکل پمپ کی ایک تہہ اور پریشر کم کرنے والا والو نصب کرنا ضروری ہے تاکہ زیادہ دباؤ اور ٹربومولیکولر پمپ کو پہنچنے والے نقصان سے بچا جا سکے۔
4. ٹربومولیکولر پمپ کے فوائد اور حدود:
ٹربومولیکولر پمپ کے بہت سے فوائد ہیں، جیسے کہ ہائی پمپنگ کی رفتار، ہائی ویکیوم، کم شور، اور اعلی وشوسنییتا۔ٹربومولیکولر پمپ کی تیز رفتار پمپنگ ویکیوم ڈگری کو بڑھا سکتی ہے، اور اسی وقت پمپنگ کے وقت کو کم کر سکتی ہے، اس طرح پیداوار کی کارکردگی میں اضافہ ہوتا ہے۔ٹربومولیکولر پمپ کا کم شور اور اعلی وشوسنییتا بھی اس کے فوائد میں سے ایک ہے، جس کا مطلب ہے کہ ٹربومولیکولر پمپ طویل عرصے تک موثر آپریشن کو برقرار رکھ سکتا ہے، دیکھ بھال اور متبادل کی تعداد کو کم کرتا ہے۔
تاہم، ٹربومولیکولر پمپ کی بھی کچھ حدود ہوتی ہیں، جیسے کہ بعض گیسوں کے لیے پمپنگ کی کم کارکردگی۔مثال کے طور پر، ٹربومولیکولر پمپوں میں ہائیڈروجن کے لیے کم نکالنے کی کارکردگی ہوتی ہے، اور ٹربومولیکولر پمپوں میں گیس کے دباؤ اور درجہ حرارت کے لیے بھی کچھ تقاضے ہوتے ہیں۔لہذا، عملی ایپلی کیشنز میں، ٹربومولیکولر پمپ کی قسم اور کام کرنے والے پیرامیٹرز کو مخصوص صورت حال کے مطابق منتخب کرنا ضروری ہے تاکہ اس کے نارمل اور موثر آپریشن کو یقینی بنایا جا سکے۔
5. نتیجہ:
سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں، پلازما اینچنگ مشین بہت اہم آلات میں سے ایک ہے۔پلازما ایچنگ مشین کے ویکیوم سسٹم میں، ٹربومولیکولر پمپ، اہم پمپ کے طور پر، ہائی ویکیوم اور مستحکم پلازما اینچنگ کے عمل کو حاصل کرنے میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔ٹربومولیکولر پمپوں میں تیز رفتار پمپنگ، ہائی ویکیوم، کم شور اور اعلیٰ تکنیکی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے اصلاح ہوتی ہے۔
عام طور پر، پلازما اینچنگ مشین میں ٹربومولیکولر پمپ کا کردار ناقابل تلافی ہے۔سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ انڈسٹری میں، ٹربومولیکولر پمپ ضروری آلات میں سے ایک بن گیا ہے، جو پلازما اینچنگ مشین کی کارکردگی اور استحکام کو یقینی بنانے میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔سیمی کنڈکٹر ٹکنالوجی کی مسلسل ترقی اور پیشرفت کے ساتھ، ٹربومولیکولر پمپوں کے استعمال کی مانگ اور دائرہ کار میں توسیع ہوتی رہے گی۔لہذا، ٹربومولیکولر پمپ مینوفیکچررز کو اعلی کارکردگی اور زیادہ مستحکم آلات کی سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ انڈسٹری کی مانگ کو پورا کرنے کے لیے مصنوعات کی کارکردگی اور معیار کو مسلسل بہتر بنانے کی ضرورت ہے۔
کاپی رائٹ نوٹس:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. دانشورانہ املاک کے حقوق کے احترام اور تحفظ کی وکالت کرتی ہے اور واضح ذرائع کے ساتھ مضامین کے ماخذ کی نشاندہی کرتی ہے۔اگر آپ کو معلوم ہوتا ہے کہ اس ویب سائٹ کے مواد میں کاپی رائٹ یا دیگر مسائل ہیں، تو براہ کرم اس سے نمٹنے کے لیے ہم سے رابطہ کریں۔رابطے کی معلومات:marketing01@gpmcn.com
پوسٹ ٹائم: اکتوبر 20-2023