Ninu ile-iṣẹ iṣelọpọ semikondokito oni, pilasima etcher ati fifa turbomolecular jẹ awọn imọ-ẹrọ bọtini pataki meji.Pilasima etcher jẹ ohun elo pataki ni iṣelọpọ ti awọn paati microelectronic, lakoko ti a ṣe apẹrẹ fifa turbomolecular fun igbale giga ati iyara fifa soke.Ninu nkan yii, a jiroro lori ipa ati pataki ti awọn ifasoke turbomolecular ni pilasima etchers.
Akoonu
1. Ilana iṣẹ ti ẹrọ etching pilasima
2. Ṣiṣẹda opo ti turbomolecular fifa
3. Ohun elo ti turbomolecular fifa ni pilasima etching ẹrọ
4. Awọn anfani ati awọn idiwọn ti awọn ifasoke turbomolecular
5. Ipari
1. Ilana iṣẹ ti ẹrọ etching pilasima:
Pilasima etcher jẹ ohun elo fun awọn ohun elo sisẹ nipa lilo pilasima ni iyẹwu igbale.Plasma jẹ akojọpọ awọn patikulu ti o gba agbara ti a ṣe nipasẹ ionization gaasi.Iwuwo ati itọsọna ti iṣipopada pilasima le jẹ iṣakoso nipasẹ ina-igbohunsafẹfẹ giga tabi awọn aaye oofa.Lakoko pilasima etching, pilasima kan kọlu dada ti ohun elo ti n ṣiṣẹ ati gbe e kuro tabi sọ ọ nù, ṣiṣẹda eto ti o fẹ.
Sibẹsibẹ, iye nla ti gaasi eefin jẹ ipilẹṣẹ lakoko etching pilasima.Awọn gaasi eefin wọnyi pẹlu awọn ohun elo iṣẹ ati awọn aimọ ninu gaasi, ati bẹbẹ lọ, eyiti o nilo lati yọ kuro nipasẹ eto igbale.Nitorinaa, ẹrọ etching pilasima nilo eto igbale daradara lati rii daju iduroṣinṣin ati deede ti ilana etching.
2. Ilana iṣẹ ti fifa turbomolecular:
Awọn ifasoke Turbomolecular jẹ ọkan ninu awọn ifasoke iyara fifa giga julọ ti a lo julọ ni awọn eto igbale.Ó ń ṣiṣẹ́ nípa yíyí ìtòlẹ́sẹẹsẹ àwọn ohun amúnilọ́wọ̀n-ọ̀rọ̀ yíyí-ga-ga-ga-giga láti fa gaasi jáde láti inú iyẹ̀wù igbale náà kí ó sì lé gaasi náà jáde sínú afẹ́fẹ́.Ninu fifa turbomolecular, gaasi kọkọ wọ inu fifa afẹyinti nibiti o ti wa ni fisinuirindigbindigbin sinu agbegbe ti o ga julọ ṣaaju ki o to firanṣẹ si fifa turbomolecular.
Ni a turbomolecular fifa, gaasi ti wa ni fifa nipasẹ a yiyi impeller, nigba ti ni a molikula fifa gaasi ti wa ni dà si isalẹ sinu kere moleku.Awọn ifasoke Turbomolecular le pese igbale giga, ati iyara fifa wọn le de ọdọ 500 ~ 6000 L / s.Fun awọn ẹrọ etching pilasima ti o nilo igbale giga, awọn ifasoke turbomolecular jẹ apakan ti ko ṣe pataki.
3. Ohun elo ti fifa turbomolecular ninu ẹrọ etching pilasima:
Awọn ifasoke Turbomolecular jẹ lilo pupọ ni awọn ẹrọ etching pilasima.Ninu eto igbale ti ẹrọ etching pilasima, fifa turbomolecular ni a maa n lo bi fifa akọkọ lati ṣe iranlọwọ lati ṣaṣeyọri igbale giga.Nigbati pilasima ba de dada, o ṣe agbejade iye nla ti gaasi eefi, pẹlu awọn ohun elo aise ti o ku ati awọn ọja ifaseyin kemikali.Awọn eefin eefin wọnyi nilo lati fa jade kuro ninu iyẹwu igbale ni iyara ati daradara lati rii daju iduroṣinṣin ati igbẹkẹle ti ilana etching pilasima.
Iyara fifa soke ati igbale giga ti awọn ifasoke turbomolecular ṣe wọn awọn ifasoke to dara julọ.Ninu etcher pilasima, fifa turbomolecular nigbagbogbo ni a gbe sinu ẹrọ fifa lọtọ fun iṣakoso irọrun ti igbale ati titẹ.Ni akoko kanna, lati le daabobo fifa fifa turbomolecular, o jẹ dandan lati fi sori ẹrọ kan Layer ti fifa ẹrọ ati titẹ ti o dinku ni iwaju fifa turbomolecular lati yago fun titẹ pupọ ati ibajẹ si fifa turbomolecular.
4. Awọn anfani ati awọn idiwọn ti awọn ifasoke turbomolecular:
Awọn ifasoke Turbomolecular ni ọpọlọpọ awọn anfani, gẹgẹbi iyara fifa soke, igbale giga, ariwo kekere, ati igbẹkẹle giga.Iyara fifa soke ti fifa turbomolecular le ṣe alekun iwọn igbale, ati ni akoko kanna o le dinku akoko fifa, nitorina jijẹ ṣiṣe iṣelọpọ.Ariwo kekere ati igbẹkẹle giga ti fifa turbomolecular tun jẹ ọkan ninu awọn anfani rẹ, eyi ti o tumọ si pe fifa turbomolecular le ṣetọju iṣẹ ṣiṣe daradara fun igba pipẹ, dinku nọmba itọju ati rirọpo.
Sibẹsibẹ, awọn ifasoke turbomolecular tun ni diẹ ninu awọn idiwọn, gẹgẹbi ṣiṣe fifa kekere fun awọn gaasi kan.Fun apẹẹrẹ, awọn ifasoke turbomolecular ni ṣiṣe isediwon kekere fun hydrogen, ati awọn ifasoke turbomolecular tun ni awọn ibeere kan fun titẹ gaasi ati iwọn otutu.Nitorina, ni awọn ohun elo ti o wulo, o jẹ dandan lati yan iru ati awọn iṣiro iṣẹ-ṣiṣe ti fifa turbomolecular gẹgẹbi ipo pataki lati rii daju pe iṣẹ deede ati ṣiṣe daradara.
5.Ipari:
Ninu ilana iṣelọpọ semikondokito, ẹrọ etching pilasima jẹ ọkan ninu ohun elo pataki pupọ.Ninu eto igbale ti ẹrọ etching pilasima, fifa turbomolecular, bi fifa akọkọ, ṣe ipa pataki ni iyọrisi igbale giga ati ilana etching pilasima iduroṣinṣin.Awọn ifasoke Turbomolecular ni iyara fifa giga, igbale giga, ariwo kekere ati iṣapeye lati pade awọn ibeere imọ-ẹrọ ti o ga julọ.
Ni gbogbogbo, ipa ti fifa turbomolecular ninu ẹrọ etching pilasima jẹ airọpo.Ninu ile-iṣẹ iṣelọpọ semikondokito, fifa turbomolecular ti di ọkan ninu awọn ohun elo pataki, eyiti o ṣe ipa pataki ni idaniloju iṣẹ ati iduroṣinṣin ti ẹrọ etching plasma.Pẹlu idagbasoke ilọsiwaju ati ilọsiwaju ti imọ-ẹrọ semikondokito, ibeere ati ipari ti lilo awọn ifasoke turbomolecular yoo tẹsiwaju lati faagun.Nitorinaa, awọn olupilẹṣẹ fifa turbomolecular nilo lati mu ilọsiwaju ọja ilọsiwaju nigbagbogbo ati didara lati pade ibeere ile-iṣẹ iṣelọpọ semikondokito fun iṣẹ giga ati ohun elo iduroṣinṣin diẹ sii.
Akiyesi aṣẹ-lori-ara:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. ṣe agbero ibowo ati aabo awọn ẹtọ ohun-ini imọ ati tọka orisun ti awọn nkan pẹlu awọn orisun ti o han gbangba.Ti o ba rii pe aṣẹ lori ara tabi awọn iṣoro miiran wa ninu akoonu oju opo wẹẹbu yii, jọwọ kan si wa lati koju rẹ.Ibi iwifunni:marketing01@gpmcn.com
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa-20-2023