У сучасній промисловості виробництва напівпровідників плазмовий травитель і турбомолекулярний насос є двома важливими ключовими технологіями.Плазмовий травитель є важливим інструментом у виготовленні мікроелектронних компонентів, тоді як турбомолекулярний насос розроблений для високого вакууму та високої швидкості накачування.У цій статті ми обговорюємо роль і значення турбомолекулярних насосів у плазмових травильниках.
Зміст
1. Принцип роботи машини плазмового травлення
2. Принцип роботи турбомолекулярного насоса
3. Застосування турбомолекулярного насоса в машині плазмового травлення
4. Переваги та недоліки турбомолекулярних насосів
5. Висновок
1. Принцип роботи машини для плазмового травлення:
Плазмовий травитель — це інструмент для обробки матеріалів за допомогою плазми у вакуумній камері.Плазма - це сукупність заряджених частинок, що утворюються в результаті іонізації газу.Щільністю і напрямком руху плазми можна керувати за допомогою високочастотних електричних або магнітних полів.Під час плазмового травлення плазма потрапляє на поверхню робочого матеріалу і піднімає його або роз’їдає, створюючи потрібну структуру.
Однак під час плазмового травлення утворюється велика кількість вихлопних газів.Ці відпрацьовані гази включають робочі матеріали та домішки в газі тощо, які потрібно скинути через вакуумну систему.Тому машина для плазмового травлення потребує ефективної вакуумної системи для забезпечення стабільності та точності процесу травлення.
2. Принцип роботи турбомолекулярного насоса:
Турбомолекулярні насоси є одними з найбільш часто використовуваних високошвидкісних насосів у вакуумних системах.Він працює шляхом обертання набору високошвидкісних обертових робочих коліс для викачування газу з вакуумної камери та викиду газу в атмосферу.У турбомолекулярному насосі газ спочатку потрапляє в резервний насос, де він стискається в області високого тиску, перш ніж відправлятися до турбомолекулярного насоса.
У турбомолекулярному насосі газ прокачується через робоче колесо, що обертається, тоді як у молекулярному насосі газ розбивається на менші молекули.Турбомолекулярні насоси можуть забезпечувати високий вакуум, а швидкість їх перекачування може досягати 500~6000 л/с.Для машин плазмового травлення, які вимагають високого вакууму, турбомолекулярні насоси є незамінною частиною.
3. Застосування турбомолекулярного насоса в машині плазмового травлення:
Турбомолекулярні насоси широко використовуються в машинах плазмового травлення.У вакуумній системі машини для плазмового травлення турбомолекулярний насос зазвичай використовується як головний насос для досягнення високого вакууму.Коли плазма потрапляє на поверхню, вона виробляє велику кількість вихлопного газу, включаючи залишки сировини та продукти хімічної реакції.Щоб забезпечити стабільність і надійність процесу плазмового травлення, ці вихлопні гази потрібно швидко й ефективно відкачати з вакуумної камери.
Висока швидкість перекачування та високий вакуум турбомолекулярних насосів роблять їх ідеальними насосами.У плазмовому травителі турбомолекулярний насос зазвичай розміщено в окремому насосному блоці для легкого контролю вакууму та тиску.У той же час, щоб захистити турбомолекулярний насос, необхідно встановити шар механічного насоса та редукційний клапан перед турбомолекулярним насосом, щоб уникнути надмірного тиску та пошкодження турбомолекулярного насоса.
4. Переваги та обмеження турбомолекулярних насосів:
Турбомолекулярні насоси мають багато переваг, таких як висока швидкість перекачування, високий вакуум, низький рівень шуму та висока надійність.Висока швидкість відкачування турбомолекулярного насоса може збільшити ступінь вакууму та в той же час може зменшити час відкачування, тим самим підвищуючи ефективність виробництва.Низький рівень шуму та висока надійність турбомолекулярного насоса також є однією з його переваг, що означає, що турбомолекулярний насос може підтримувати ефективну роботу протягом більш тривалого періоду часу, зменшуючи кількість технічного обслуговування та заміни.
Однак турбомолекулярні насоси також мають деякі обмеження, наприклад низьку ефективність перекачування певних газів.Наприклад, турбомолекулярні насоси мають низьку ефективність вилучення водню, а турбомолекулярні насоси також мають певні вимоги до тиску і температури газу.Тому в практичних застосуваннях необхідно підбирати тип і робочі параметри турбомолекулярного насоса відповідно до конкретної ситуації, щоб забезпечити його нормальну та ефективну роботу.
5. Висновок:
У процесі виробництва напівпровідників машина для плазмового травлення є одним із дуже важливих пристроїв.У вакуумній системі машини для плазмового травлення турбомолекулярний насос, як головний насос, відіграє життєво важливу роль у досягненні високого вакууму та стабільного процесу плазмового травлення.Турбомолекулярні насоси мають високу швидкість перекачування, високий вакуум, низький рівень шуму та оптимізацію для задоволення вищих технічних вимог.
Взагалі, роль турбомолекулярного насоса в машині плазмового травлення незамінна.У промисловості виробництва напівпровідників турбомолекулярний насос став одним із необхідних обладнання, яке відіграє важливу роль у забезпеченні продуктивності та стабільності машини для плазмового травлення.З безперервним розвитком і прогресом напівпровідникових технологій попит і сфера використання турбомолекулярних насосів продовжуватимуть розширюватися.Тому виробникам турбомолекулярних насосів необхідно постійно покращувати продуктивність і якість продукції, щоб задовольнити потреби промисловості з виробництва напівпровідників у вищій продуктивності та більш стабільному обладнанні.
Повідомлення про авторські права:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. виступає за повагу та захист прав інтелектуальної власності та вказує джерело статей із чіткими джерелами.Якщо ви виявите, що вміст цього веб-сайту порушує авторські права чи інші проблеми, зв’яжіться з нами, щоб вирішити це.Контактна інформація:marketing01@gpmcn.com
Час публікації: 20 жовтня 2023 р