Бүгүнкү жарым өткөргүч өндүрүш тармагында, плазмалык лейтер жана турбомолекулярдык насос эки маанилүү негизги технологиялар болуп саналат.Плазмалык этчер микроэлектрондук компоненттерди жасоодо маанилүү курал болуп саналат, ал эми турбомолекулярдык насос жогорку вакуум жана насостун жогорку ылдамдыгы үчүн иштелип чыккан.Бул макалада биз турбомолекулярдык насостордун плазмадагы этчердеги ролун жана маанисин талкуулайбыз.
Мазмун
1. Плазмалык оюу машинасынын иштөө принциби
2. Турбомолекулярдык насостун иштөө принциби
3. Турбомолекулярдык насосту плазмадан оюу машинасында колдонуу
4. Турбомолекулярдык насостордун артыкчылыктары жана чектөөлөрү
5. Корутунду
1. Плазмалык оюу машинасынын иштөө принциби:
Плазмалык этчер – вакуумдук камерада плазманы колдонуу менен материалдарды иштетүү үчүн курал.Плазма - газдын иондошуусунун натыйжасында пайда болгон заряддуу бөлүкчөлөрдүн жыйындысы.Плазманын тыгыздыгы жана кыймылынын багыты жогорку жыштыктагы электр же магнит талаасы тарабынан башкарылышы мүмкүн.Плазмалык оюу учурунда плазма жумушчу материалдын бетине тийип, аны көтөрөт же жеп, керектүү структураны жаратат.
Бирок, плазмадан оюу учурунда көп сандагы газдар пайда болот.Бул чыккан газдарга вакуум системасы аркылуу чыгарууга муктаж болгон жумушчу материалдар жана газдагы аралашмалар жана башкалар кирет.Ошондуктан, плазмалык оюу машинасы офорт процессинин туруктуулугун жана тактыгын камсыз кылуу үчүн эффективдүү вакуумдук системага муктаж.
2. Турбомолекулярдык насостун иштөө принциби:
Турбомолекулярдык насостор вакуумдук системаларда эң көп колдонулган жогорку ылдамдыктагы насостордун бири.Ал вакуумдук камерадан газды сордуруу жана газды атмосферага чыгаруу үчүн жогорку ылдамдыктагы айлануучу дөңгөлөктөрдүн топтомун айлантуу аркылуу иштейт.Турбомолекулярдык насосто газ алгач турбомолекулярдык насоско жөнөтүлгөнгө чейин жогорку басымдуу аймакка кысылган көмөкчү насоско кирет.
Турбомолекулярдык насосто газ айлануучу дөңгөлөк аркылуу айдалат, ал эми молекулалык насосто газ майда молекулаларга бөлүнөт.Турбомолекулярдык насостор жогорку вакуумду камсыздай алат жана алардын насостук ылдамдыгы 500 ~ 6000 л/сек жетиши мүмкүн.Жогорку вакуумду талап кылган плазмалык оюу машиналары үчүн турбомолекулярдык насостор ажырагыс бөлүгү болуп саналат.
3. Турбомолекулярдык насостун плазмалык оюу машинасында колдонулушу:
Турбомолекулярдык насостор плазмадан оюу машиналарында кеңири колдонулат.Плазмалык оюу машинасынын вакуумдук системасында турбомолекулярдык насос адатта жогорку вакуумга жетүүгө жардам берүү үчүн негизги насос катары колдонулат.Плазма бетине тийгенде, калдык чийки заттарды жана химиялык реакциянын продуктуларын кошкондо, көп сандагы газдарды чыгарат.Плазманын оцдоо процессинин туруктуулугун жана ишенимдүүлүгүн камсыз кылуу үчүн бул чыккан газдарды вакуумдук камерадан тез жана натыйжалуу чыгаруу керек.
Турбомолекулярдык насостордун жогорку насостук ылдамдыгы жана жогорку вакууму аларды идеалдуу насосторду түзөт.Плазмалык этчерде турбомолекулярдык насос адатта вакуумду жана басымды оңой башкаруу үчүн өзүнчө насостук блокко жайгаштырылат.Ошол эле учурда турбомолекулярдык насосту коргоо үчүн ашыкча басымды жана турбомолекулярдык насосту бузууну болтурбоо үчүн турбомолекулярдык насостун алдына механикалык насостун катмарын жана басымды азайтуучу клапанды орнотуу зарыл.
4. Турбомолекулярдык насостордун артыкчылыктары жана чектөөлөрү:
Турбомолекулярдык насостор насостун жогорку ылдамдыгы, жогорку вакуум, аз ызы-чуу жана жогорку ишенимдүүлүк сыяктуу көптөгөн артыкчылыктарга ээ.турбомолекулярдык насостун жогорку насостук ылдамдыгы вакуум даражасын жогорулатуу, жана ошол эле учурда насостук убакытты кыскартуу, ошону менен өндүрүштүн натыйжалуулугун жогорулатуу мүмкүн.Аз ызы-чуу жана турбомолекулярдык насостун жогорку ишенимдүүлүгү да анын артыкчылыктарынын бири болуп саналат, бул турбомолекулярдык насостун эффективдүү иштешин узак убакытка сактап, тейлөөнүн жана алмаштыруунун санын азайтат.
Бирок, турбомолекулярдык насостор да кээ бир чектөөлөргө ээ, мисалы, айрым газдар үчүн насостун төмөн натыйжалуулугу.Мисалы, турбомолекулярдык насостор суутек үчүн төмөн экстракция натыйжалуулугуна ээ, ал эми турбомолекулярдык насостор да газдын басымы жана температурасы үчүн белгилүү талаптарга ээ.Ошондуктан, практикалык колдонмолордо, анын нормалдуу жана натыйжалуу иштешин камсыз кылуу үчүн конкреттүү кырдаалга ылайык турбомолекулярдык насостун түрүн жана жумушчу параметрлерин тандоо зарыл.
5. Жыйынтык:
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде плазмалык оюу машинасы абдан маанилүү жабдуулардын бири болуп саналат.Плазмалык оюу машинасынын вакуумдук системасында турбомолекулярдык насос негизги насос катары жогорку вакуумдук жана туруктуу плазманы иштетүү процессине жетишүүдө маанилүү роль ойнойт.Турбомолекулярдык насостор жогорку насостук ылдамдыкка, жогорку вакуумга, аз ызы-чууга жана жогорку техникалык талаптарга жооп берүү үчүн оптималдаштырууга ээ.
Жалпысынан алганда, плазма оюу машинасында турбомолекулярдык насостун ролу алмаштырылгыс.Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү тармагында турбомолекулярдык насос зарыл болгон жабдуулардын бири болуп калды, ал плазмадан оюу машинасынын иштешин жана туруктуулугун камсыз кылууда маанилүү роль ойнойт.Жарым өткөргүчтүү технологиянын тынымсыз өнүгүшү жана прогресси менен турбомолекулярдык насостордун суроо-талаптары жана колдонуу чөйрөсү кеңейе берет.Ошондуктан, турбомолекулярдык насос өндүрүүчүлөрү жарым өткөргүч өндүрүшүнүн жогорку өндүрүмдүүлүккө жана туруктуу жабдууларга болгон суроо-талабын канааттандыруу үчүн продуктунун натыйжалуулугун жана сапатын тынымсыз жакшыртуусу керек.
Автордук укук эскертүүсү:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. интеллектуалдык менчик укуктарын урматтоону жана коргоону жактайт жана так булактары бар макалалардын булагын көрсөтөт.Бул веб-сайттын мазмунунда автордук укук же башка көйгөйлөр бар экенин байкасаңыз, аны чечүү үчүн биз менен байланышыңыз.Байланыш маалымат:marketing01@gpmcn.com
Посттун убактысы: 20-окт.2023