A la indústria actual de fabricació de semiconductors, el gravador de plasma i la bomba turbomolecular són dues tecnologies clau importants.Un gravador de plasma és una eina essencial en la fabricació de components microelectrònics, mentre que una bomba turbomolecular està dissenyada per a un alt buit i una gran velocitat de bombeig.En aquest article, parlem del paper i la importància de les bombes turbomoleculars en gravadors de plasma.
Contingut
1. Principi de funcionament de la màquina de gravat per plasma
2. Principi de funcionament de la bomba turbomolecular
3. Aplicació de la bomba turbomolecular a la màquina de gravat per plasma
4. Avantatges i limitacions de les bombes turbomoleculars
5. Conclusió
1. Principi de funcionament de la màquina de gravat per plasma:
Un gravador de plasma és una eina per processar materials utilitzant plasma en una cambra de buit.El plasma és un conjunt de partícules carregades produïdes per ionització de gas.La densitat i la direcció del moviment del plasma es poden controlar mitjançant camps elèctrics o magnètics d'alta freqüència.Durant el gravat amb plasma, un plasma colpeja la superfície del material de treball i l'aixeca o l'erosiona, creant l'estructura desitjada.
Tanmateix, es genera una gran quantitat de gas d'escapament durant el gravat amb plasma.Aquests gasos d'escapament inclouen materials de treball i impureses del gas, etc., que s'han de descarregar a través del sistema de buit.Per tant, la màquina de gravat per plasma necessita un sistema de buit eficient per garantir l'estabilitat i la precisió del procés de gravat.
2. Principi de funcionament de la bomba turbomolecular:
Les bombes turbomoleculars són una de les bombes d'alta velocitat de bombeig més utilitzades en sistemes de buit.Funciona fent girar un conjunt d'impulsors giratoris d'alta velocitat per bombar el gas fora de la cambra de buit i expulsar el gas a l'atmosfera.En una bomba turbomolecular, el gas entra primer a una bomba de suport on es comprimeix en una regió d'alta pressió abans de ser enviat a la bomba turbomolecular.
En una bomba turbomolecular, el gas es bombeja a través d'un impulsor giratori, mentre que en una bomba molecular el gas es descompon en molècules més petites.Les bombes turbomoleculars poden proporcionar un buit elevat i la seva velocitat de bombeig pot arribar als 500 ~ 6000 L/s.Per a les màquines de gravat per plasma que requereixen un buit elevat, les bombes turbomoleculars són una part indispensable.
3. Aplicació de la bomba turbomolecular a la màquina de gravat per plasma:
Les bombes turbomoleculars s'utilitzen àmpliament en màquines de gravat per plasma.En el sistema de buit d'una màquina de gravat per plasma, normalment s'utilitza una bomba turbomolecular com a bomba principal per ajudar a aconseguir un alt buit.Quan el plasma arriba a la superfície, produeix una gran quantitat de gas d'escapament, incloent matèries primeres residuals i productes de reacció química.Aquests gasos d'escapament s'han de bombar fora de la cambra de buit de manera ràpida i eficient per garantir l'estabilitat i la fiabilitat del procés de gravat per plasma.
L'alta velocitat de bombeig i l'alt buit de les bombes turbomoleculars les converteixen en bombes ideals.En un gravador de plasma, la bomba turbomolecular se sol col·locar en una unitat de bomba independent per controlar fàcilment el buit i la pressió.Al mateix temps, per protegir la bomba turbomolecular, cal instal·lar una capa de bomba mecànica i una vàlvula reductora de pressió davant de la bomba turbomolecular per evitar una pressió excessiva i danys a la bomba turbomolecular.
4. Avantatges i limitacions de les bombes turbomoleculars:
Les bombes turbomoleculars tenen molts avantatges, com ara alta velocitat de bombeig, alt buit, baix soroll i alta fiabilitat.L'alta velocitat de bombeig de la bomba turbomolecular pot augmentar el grau de buit i, al mateix temps, pot reduir el temps de bombeig, augmentant així l'eficiència de producció.El baix soroll i l'alta fiabilitat de la bomba turbomolecular també és un dels seus avantatges, el que significa que la bomba turbomolecular pot mantenir un funcionament eficient durant un període de temps més llarg, reduint el nombre de manteniment i substitució.
Tanmateix, les bombes turbomoleculars també tenen algunes limitacions, com ara una baixa eficiència de bombeig per a determinats gasos.Per exemple, les bombes turbomoleculars tenen una baixa eficiència d'extracció d'hidrogen, i les bombes turbomoleculars també tenen certs requisits de pressió i temperatura del gas.Per tant, en aplicacions pràctiques, cal seleccionar el tipus i els paràmetres de treball de la bomba turbomolecular segons la situació específica per garantir el seu funcionament normal i eficient.
5. Conclusió:
En el procés de fabricació de semiconductors, la màquina de gravat per plasma és un dels equips molt importants.En el sistema de buit de la màquina de gravat per plasma, la bomba turbomolecular, com a bomba principal, té un paper vital per aconseguir un procés de gravat de plasma estable i un buit elevat.Les bombes turbomoleculars tenen una alta velocitat de bombeig, alt buit, baix soroll i optimització per satisfer els requisits tècnics més elevats.
En termes generals, el paper de la bomba turbomolecular a la màquina de gravat per plasma és insubstituïble.A la indústria de fabricació de semiconductors, la bomba turbomolecular s'ha convertit en un dels equips necessaris, que té un paper important per garantir el rendiment i l'estabilitat de la màquina de gravat per plasma.Amb el desenvolupament continu i el progrés de la tecnologia de semiconductors, la demanda i l'abast d'ús de les bombes turbomoleculars continuaran expandint-se.Per tant, els fabricants de bombes turbomoleculars han de millorar contínuament el rendiment i la qualitat del producte per satisfer la demanda de la indústria de fabricació de semiconductors de major rendiment i equips més estables.
Avís de drets d'autor:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. defensa el respecte i la protecció dels drets de propietat intel·lectual i indica la font dels articles amb fonts clares.Si trobeu que hi ha problemes de copyright o altres problemes en el contingut d'aquest lloc web, poseu-vos en contacte amb nosaltres per tractar-ho.Informació de contacte:marketing01@gpmcn.com
Hora de publicació: Oct-20-2023