V dnešním průmyslu výroby polovodičů jsou plazmové leptání a turbomolekulární pumpa dvě důležité klíčové technologie.Plazmové leptadlo je základním nástrojem při výrobě mikroelektronických součástek, zatímco turbomolekulární čerpadlo je navrženo pro vysoké vakuum a vysokou rychlost čerpání.V tomto článku diskutujeme o úloze a významu turbomolekulárních čerpadel v plazmových leptacích zařízeních.
Obsah
1. Princip činnosti plazmového leptacího stroje
2. Princip činnosti turbomolekulárního čerpadla
3. Aplikace turbomolekulární pumpy v plazmovém leptacím stroji
4. Výhody a omezení turbomolekulárních vývěv
5. Závěr
1. Princip činnosti plazmového leptacího stroje:
Plazmový leptač je nástroj pro zpracování materiálů pomocí plazmy ve vakuové komoře.Plazma je soubor nabitých částic produkovaných ionizací plynu.Hustotu a směr pohybu plazmatu lze řídit vysokofrekvenčním elektrickým nebo magnetickým polem.Při plazmovém leptání dopadá plazma na povrch pracovního materiálu a nadzvedává jej nebo eroduje, čímž vzniká požadovaná struktura.
Při plazmovém leptání však vzniká velké množství výfukových plynů.Mezi tyto výfukové plyny patří pracovní látky a nečistoty v plynu atd., které je třeba odvádět přes podtlakový systém.Plazmový leptací stroj proto potřebuje účinný vakuový systém, který zajistí stabilitu a přesnost procesu leptání.
2. Princip činnosti turbomolekulárního čerpadla:
Turbomolekulární vývěvy jsou jednou z nejběžněji používaných vysokorychlostních vývěv ve vakuových systémech.Funguje tak, že roztočí sadu vysokorychlostních rotujících oběžných kol, aby odčerpal plyn z vakuové komory a vytlačil plyn do atmosféry.V turbomolekulární pumpě plyn nejprve vstupuje do podpůrné pumpy, kde je stlačen do vysokotlaké oblasti, než je odeslán do turbomolekulární pumpy.
V turbomolekulární vývěvě je plyn čerpán přes rotující oběžné kolo, zatímco v molekulární vývěvě je plyn rozkládán na menší molekuly.Turbomolekulární vývěvy mohou poskytovat vysoké vakuum a jejich rychlost čerpání může dosáhnout 500~6000 l/s.Pro plazmové leptací stroje, které vyžadují vysoké vakuum, jsou turbomolekulární vývěvy nepostradatelnou součástí.
3. Aplikace turbomolekulární pumpy v plazmovém leptacím stroji:
Turbomolekulární vývěvy jsou široce používány v plazmových leptacích strojích.Ve vakuovém systému plazmového leptacího stroje se jako hlavní čerpadlo obvykle používá turbomolekulární vývěva, která pomáhá dosáhnout vysokého vakua.Když plazma dopadne na povrch, produkuje velké množství výfukových plynů, včetně zbytkových surovin a produktů chemických reakcí.Tyto výfukové plyny je třeba rychle a efektivně odčerpat z vakuové komory, aby byla zajištěna stabilita a spolehlivost procesu plazmového leptání.
Vysoká rychlost čerpání a vysoké vakuum z turbomolekulárních vývěv z nich činí ideální vývěvy.V plazmovém leptacím zařízení je turbomolekulární čerpadlo obvykle umístěno v samostatné čerpací jednotce pro snadné ovládání vakua a tlaku.Zároveň je z důvodu ochrany turbomolekulárního čerpadla nutné před turbomolekulární čerpadlo nainstalovat vrstvu mechanického čerpadla a redukčního ventilu, aby nedocházelo k nadměrnému tlaku a poškození turbomolekulárního čerpadla.
4. Výhody a omezení turbomolekulárních čerpadel:
Turbomolekulární vývěvy mají mnoho výhod, jako je vysoká rychlost čerpání, vysoké vakuum, nízká hlučnost a vysoká spolehlivost.Vysoká rychlost čerpání turbomolekulárního čerpadla může zvýšit stupeň vakua a zároveň může zkrátit dobu čerpání, čímž se zvýší efektivita výroby.Nízká hlučnost a vysoká spolehlivost turbomolekulární vývěvy je také jednou z jejích výhod, což znamená, že turbomolekulární vývěva dokáže udržet efektivní provoz po delší dobu, čímž se sníží počet údržby a výměn.
Turbomolekulární vývěvy však mají i určitá omezení, jako je nízká účinnost čerpání určitých plynů.Například turbomolekulární vývěvy mají nízkou účinnost extrakce vodíku a turbomolekulární vývěvy mají také určité požadavky na tlak a teplotu plynu.Proto je v praktických aplikacích nutné volit typ a pracovní parametry turbomolekulárního čerpadla podle konkrétní situace, aby byl zajištěn jeho normální a efektivní provoz.
5. Závěr:
V procesu výroby polovodičů je plazmový leptací stroj jedním z velmi důležitých zařízení.Ve vakuovém systému plazmového leptacího stroje hraje turbomolekulární pumpa jako hlavní pumpa zásadní roli při dosahování vysokého vakua a stabilního procesu plazmového leptání.Turbomolekulární vývěvy mají vysokou rychlost čerpání, vysoké vakuum, nízkou hlučnost a optimalizaci pro splnění vyšších technických požadavků.
Obecně lze říci, že role turbomolekulárního čerpadla v plazmovém leptacím stroji je nezastupitelná.V průmyslu výroby polovodičů se turbomolekulární čerpadlo stalo jedním z nezbytných zařízení, které hraje důležitou roli při zajišťování výkonu a stability plazmového leptacího stroje.S neustálým vývojem a pokrokem polovodičové technologie se bude poptávka a rozsah použití turbomolekulárních vývěv nadále rozšiřovat.Výrobci turbomolekulárních čerpadel proto potřebují neustále zlepšovat výkon a kvalitu produktů, aby vyhověli požadavkům průmyslu výroby polovodičů na vyšší výkon a stabilnější zařízení.
Upozornění na autorská práva:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. prosazuje respektování a ochranu práv duševního vlastnictví a uvádí zdroj článků s jasnými zdroji.Pokud zjistíte, že v obsahu této webové stránky jsou autorská práva nebo jiné problémy, kontaktujte nás, abychom to vyřešili.Kontaktní informace:marketing01@gpmcn.com
Čas odeslání: 20. října 2023