Молекулын цацрагийн эпитаксийн гайхамшигт ертөнц MBE: Вакуум камерын эд ангиудын судалгаа, боловсруулалт ба үйлдвэрлэл

MBE молекулын цацрагийн эпитаксийн төхөөрөмжийн гайхамшигт ертөнцөд тавтай морил!Энэхүү гайхамшигт төхөөрөмж нь орчин үеийн шинжлэх ухаан, технологийн салбарыг хөгжүүлэхэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг олон тооны өндөр чанарын нано хэмжээний хагас дамжуулагч материалыг ургуулж чаддаг.MBE технологийг вакуум орчинд хийх шаардлагатай тул вакуум камерын зайлшгүй эд ангиуд бий болсон.

Өрсөлдөөн

Нэгдүгээр хэсэг: Вакуум эд ангиудын үйл ажиллагаа

Хоёрдугаар хэсэг: Вакуум бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн үйлдвэрлэлийн үйл явц

Гуравдугаар хэсэг: Материалын өсөлтийн технологийн сорилт

Нэгдүгээр хэсэг: Вакуум эд ангиудын үйл ажиллагаа
Түүхээс харахад MBE-ийн тоног төхөөрөмж бий болсон нь урт хугацааны үйл явцыг туулсан.Эрт үеийн фотохимийн ууршилт, хайлах аргуудыг 1950-иад оноос улбаатай боловч эдгээр аргууд нь олон хязгаарлалттай байдаг.Хожим нь молекулын цацрагийн эпитакси үүсч, хамгийн өргөн хэрэглэгддэг арга болж, вакуум хөндийн эд ангиудыг хөгжүүлэх, үйлдвэрлэх шинэ боломжийг олгосон.

MBE төхөөрөмжийн вакуум камер нь материалын өсөлтийн чанар, тогтвортой байдлыг хангах төгс вакуум орчныг бүрдүүлж чадах чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм.Эдгээр вакуум камерууд нь өндөр битүүмжлэл, сайн даралтыг тэсвэрлэх чадвар, дулааны тогтвортой байдлыг шаарддаг бөгөөд тусгай материал, техникээр үйлдвэрлэгддэг.

Вакуум танхим

Өөр нэг чухал бүрэлдэхүүн хэсэг бол вакуум хавхлага бөгөөд битүүмжлэх үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд MBE төхөөрөмж дэх вакуум даралтыг хянадаг.Тоног төхөөрөмжийн өндөр нарийвчлал, найдвартай байдлыг хангахын тулд вакуум хавхлагууд нь маш сайн битүүмжлэх, солих нарийвчлалтай байх ёстой бөгөөд өндөр чанартай материал, үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт техникийг ашиглан үйлдвэрлэгдэх ёстой.

Хоёрдугаар хэсэг: Вакуум бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн үйлдвэрлэлийн үйл явц

Вакуум камерын эд ангиудыг үйлдвэрлэх нь маш нарийн үйлдвэрлэлийн процессыг шаарддаг.Материалыг зөв сонгох, боловсруулах технологи, хэмжээсийн нарийвчлал, гадаргуугийн өнгөлгөө зэрэгт тавигдах шаардлага маш өндөр байдаг.Үүний зэрэгцээ үйлдвэрлэлийн чанар, тогтвортой байдлыг хангахын тулд дэвшилтэт техник, технологи шаардлагатай.Жишээлбэл, материалыг сонгохдоо өндөр температур, бага температур, химийн зэврэлт зэрэг янз бүрийн хүчин зүйлийг харгалзан үзэх шаардлагатай бөгөөд боловсруулах технологи нь хэмжээсийн нарийвчлал, гадаргуугийн өнгөлгөөг хангах шаардлагатай бөгөөд үүнд хүрэхийн тулд дэвшилтэт тоног төхөөрөмж, технологи шаардлагатай.Үүний зэрэгцээ лазер боловсруулалт, цахилгаан химийн боловсруулалт гэх мэт өндөр нарийвчлалтай боловсруулах технологиудаас гадна химийн уурын хуримтлал, физик уурын хуримтлал гэх мэт дэвшилтэт материаллаг шинжлэх ухаан, технологи байдаг.

MBE технологийг тасралтгүй хөгжүүлснээр вакуум камерын эд ангиудын эрэлт хэрэгцээ нэмэгдэж байна.Тэд зөвхөн хагас дамжуулагч материалын өсөлтөд чухал үүрэг гүйцэтгэхээс гадна өндөр чанартай оптик эд анги, хагас дамжуулагч материал үйлдвэрлэх гэх мэт бусад хэрэглээнд ашиглаж болно. Биоанагаах ухаан, материалын өсөлтийн технологид хиймэл эд үйлдвэрлэх, эд эсийн согогийг засах зэрэгт ашиглах боломжтой бөгөөд өргөн хэрэглээний хэтийн төлөвтэй.

Хэрэглээний олон талбараас гадна материалын өсөлтийн технологийн давуу талууд нь энгийн бэлтгэлийн процесс, хүчтэй хяналт, хямд өртөг, хурдан бэлтгэх хурд гэх мэтийг агуулдаг.Эдгээр давуу талууд нь материалын өсөлтийн технологийг өргөн хүрээнд хэрэглэж, ашиглах боломжийг олгодог.

Вакуум камерын эд анги

Гуравдугаар хэсэг: Материалын өсөлтийн технологийн сорилт

Гэсэн хэдий ч материалын өсөлтийн технологи нь өргөдөл гаргах явцад зарим бэрхшээлтэй тулгардаг.Юуны өмнө материалын өсөлтийн үйл явцад температур, даралт, агаар мандал, урвалд орох бодисын агууламж гэх мэт олон хүчин зүйл нөлөөлдөг. Эдгээр хүчин зүйлсийн өөрчлөлт нь материалын өсөлтийн чанарт чухал нөлөө үзүүлэх тул нарийн хяналт шаардлагатай. .Хоёрдугаарт, материалын өсөлтийн явцад жигд бус өсөлт, талст гажиг зэрэг асуудал үүсч болно.Эдгээр асуудлуудыг өсөлтийн явцад цаг тухайд нь тодорхойлж, шийдвэрлэх шаардлагатай бөгөөд эс тэгвээс материалын гүйцэтгэлд сөргөөр нөлөөлнө.

Хэрэглээний олон талбараас гадна материалын өсөлтийн технологийн давуу талууд нь энгийн бэлтгэлийн процесс, хүчтэй хяналт, хямд өртөг, хурдан бэлтгэх хурд гэх мэтийг агуулдаг.Эдгээр давуу талууд нь материалын өсөлтийн технологийг өргөн хүрээнд хэрэглэж, ашиглах боломжийг олгодог.

GPM-ийн вакуум эд анги боловсруулах чадвар:
GPM нь вакуум эд ангиудыг CNC боловсруулах арвин туршлагатай.Бид хагас дамжуулагч, эмнэлгийн тоног төхөөрөмж гэх мэт олон салбарт үйлчлүүлэгчидтэй хамтран ажиллаж, үйлчлүүлэгчдэд өндөр чанартай, нарийн боловсруулалтын үйлчилгээг үзүүлэхийг эрмэлздэг.Бид хэсэг бүр нь хэрэглэгчийн хүлээлт, стандартад нийцэж байгаа эсэхийг баталгаажуулахын тулд чанарын удирдлагын хатуу тогтолцоог хэрэгжүүлдэг.


Шуудангийн цаг: 2023-11-07